【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种接地引脚，用以将基材连接于地面，包括：一引脚主体；以及一套管，支撑该引脚主体，该套管包括一流体通道，以传输流体，并使该流体通道的两侧的压力处于压力平衡。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：大卫·苏若恩，岱尔·K·史东，茂雄·S·大城，亚瑟·P·瑞福，爱德华·D·梅克英特许，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：发明
国别省市：
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