【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种浸没式光刻机浸液液体传送系统中的控制系统的控制方法，其特征在于：浸没式光刻机浸液液体传送系统包括控制系统、水处理分系统、传输控制分系统和位姿调节分系统；其中控制系统和浸没式光刻机之间采用工业总线进行连接，控制系统与水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统之间采用以太网进行数据交换，控制系统分别负责对水处理分系统、传输控制分系统或位姿调节分系统进行时序控制和故障处理的时序控制。
【技术特征摘要】
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