【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种惯性力传感器，其具备：用于对相互正交的X轴、Y轴、Z轴检测惯性力的检测元件，所述检测元件具有支承部和两个第1正交臂，所述第1正交臂具有一端与所述支承部连接的第1臂、和从所述第1臂的另一端向实质上与所述第1臂正交的方向分支的两个第2臂，所述第2臂具有将所述第2臂弯折的弯折部，所述第1臂和所述支承部实质上配置在同一直线上，所述第2臂向Y轴方向驱动振动，通过检测在X轴方向产生的科里奥利力来检测绕Z轴的角速度，通过检测在Z轴方向产生的科里奥利力来检测绕X轴的角速度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：大内智，相泽宏幸，寺田二郎，石田贵巳，佐藤一郎，大越伟生，足森洋平，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。