激光扫描光栅补偿测量齿轮形貌的装置及方法制造方法及图纸

激光扫描光栅补偿测量齿轮形貌的装置及方法属于激光检测技术领域。现有技术测量精度低。本发明专利技术之测量装置指由激光位移传感器和反射镜组成位移零位测量系统；角位移传感器、z向光栅尺、主调节光栅尺及微调节光栅尺分别与专用微处理器连接。在本发明专利技术之测量方法中，标定测量系指将芯轴置于工件承载转台上，转台旋转副拖动芯轴旋转，调整芯轴在工件承载转台上的位置，直到芯轴在全周旋转过程中芯轴柱面与激光位移传感器位移D3始终指示为0，芯轴轴线与转台旋转副轴线重合，将这时的主调节光栅尺、z向光栅尺、微调节光栅尺测量位置作为零位；待测齿轮测量截面待测点的坐标为：z=D1、θ=α；位移零位测量系统归零指调整主调节机构和微调节机构，使待测齿轮测量表面与激光位移传感器的位移D3为0。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光扫描光栅补偿测量齿轮形貌的装置，其工件承载转台（9）由转台旋转副（10）支撑，在转台旋转副（10）下端安装角位移传感器（11），转台旋转副（10）的轴线为测量系z轴，其特征在于，激光位移传感器（7）的位移测量光出口朝向反射镜（8），经反射镜（8）反射的位移测量光轴线位于工件承载转台（9）上方并与z轴垂直；微调节机构（5）一侧接激光位移传感器（7），另一侧接微调节光栅尺（6）；z向调节机构（3）一侧接微调节机构（5）及反射镜（8），另一侧接z向光栅尺（4）；主调节机构（1）一侧接z向调节机构（3），另一侧接主调节光栅尺（2）；由激光位移传感器（7）和反射镜（8）组成位移零位测量系统；角位移传感器（11）、z向光栅尺（4）、主调节光栅尺（2）及微调节光栅尺（6）分别与专用微处理器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏成志，顾元峰，李振辉，张斯程，王恩国，王德民，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：