真空吸头、使用该真空吸头的真空吸附装置和工作台制造方法及图纸

本发明专利技术的真空吸头也能够适用于大型的液晶显示屏，即使吸附对象上存在起伏和弯曲，也能够确实地吸附吸附对象。在吸头内设轴保持吸盘，通过吸孔给排吸盘内的气体。壳体通过第一和第二弹簧对轴向移动自如地保持轴。吸盘由弹簧弹性支持，因而，能够确实地吸附有起伏和弯曲的吸附对象。该真空吸头可用于真空吸附装置和工作台上。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空吸头、使用该真空吸头的真空吸附装置和工作台
本专利技术涉及用于吸附及运送玻璃板、液晶显示屏基板、树脂板状成形品、金属薄板等吸附对象时的真空吸头和通过一个或多个真空吸头吸附吸附对象的真空吸附装置及工作台。
技术介绍
作为吸附对象的一例的液晶显示屏，在两张玻璃基板之间夹入粒状的间隔基，在保持着间隙同时用粘接剂(密封剂)粘合周边部而形成液晶显示屏基板，在该基板的间隙注入液晶。用于各个显示装置的液晶显示屏，按照其用途，显示尺寸大不相同。特别是电视接收机用和监视器用的液晶显示屏年年大型化，用于液晶显示屏的玻璃基板也有年年大型化并且薄型化的倾向。多个液晶显示屏基板通过分割大型母液晶显示屏基板制造。在分割这种大型母液晶显示屏基板制造液晶显示屏基板的工艺流程中，为了在各个工序间吸附运送液晶显示屏基板，使用真空吸附装置。这种真空吸附装置有一个或多个吸盘。液晶显示屏基板是粘合两张约0.5mm～0.7mm的薄板玻璃制成的，这种液晶显示屏基板容易弯曲。因此，为运送特大型液晶显示屏基板，必须使用多个吸盘吸附液晶显示屏基板的各部位进行运送。在此，说明现在的真空吸头。在下述说明中以液晶显示屏基板作为吸附对象的一例进行说明。图1是发表于专利文献1的现在的例1的吸盘的结构图。该吸盘51由半球形的橡胶制的吸盘51a和连接于该吸盘51a上部的吸引管51b构成。该吸盘51不限于用于液晶显示屏基板，而且以树脂板状成形品和金属制薄板等作为吸附对象，广泛用于吸附这些物件。可是，在用现有例1的吸盘51吸附液晶显示屏基板时，玻璃面弯曲而在玻璃基板间的间隔中产生偏移，恐怕在液晶显示屏基-->板中产生次品。图2是表示该发表于专利文献1的吸盘61的结构的剖面图。以该吸盘61作为现有例2。吸盘62是由感光树脂材料制的圆盘形吸盘，在中央部设上下方向贯通的吸入口62c。还在该吸盘62的吸附面侧设多个凸部，外周边部设置用于保持气密、与凸部同高度的平台面。该凸部经光刻处理感光树脂材料(AFP)而成。增强层63是粘合层，以使受到外力而不变形。磁片64是与吸盘62同径的薄片。两面粘接片65是用于粘合磁片64与增强层63的粘接片。在这些部件63～65上，在与吸入口62c对应的位置设孔Q。铁制保持件66外径与磁片64相同，在其中央部设置支持该保持部件本身用的支持部件66a。还在支持部件66a穿进吸引管67。吸引管67连接有没图示的真空泵。把这样形成的吸盘62压接在平坦的液晶显示屏基板上，通过吸入口62c进行抽真空。这样，吸盘61能够不使液晶显示屏基板变形，用吸盘62吸附。吸盘62用软质材料制成，因此，即使在液晶显示屏基板上有一些弯曲吸附功能也高。可是，当使用上述现有例1的吸盘51或现有例2的吸盘61想运送大型的液晶显示屏基板时，由基板的自重在液显示屏基板上产生大弯曲。为了防止这样的弯曲，必须在液晶显示屏基板上提高吸盘的配置密度。因此，考虑把大型液晶显示屏基板放置于工作台，向下一个工序移送液晶显示屏基板。为了使运送机从工作台上把大型液晶显示屏用吸盘吸附并保持，必须在运送机上对应液晶显示屏基板的形状，以最适当的间隔配置多个吸盘。此时，各吸盘的吸附高度必须保持在规定的精度。另外，当在液晶显示屏基板的表面有起伏时，液晶显示屏基板的吸附面的法线方向，因其部位不同而各异。因此，当多个吸盘的中心轴向全部固定在相同方向时，有可能产生吸盘与液晶显示屏基板的间隔不能成为规定值或产生间隙造成吸附不良。因此，以吸盘(以下随该文献称为吸附盘)的中心轴向能够随吸附对象的表面变化的、即自由摇头的吸附装置为现有例3进行说明。图3是表示发表于专利文献2的真空吸盘的结构的剖面图。该真空吸-->盘在吸附盘71的周围配置垫72，使用支持棒74自由摇头保持吸附盘71和垫72。在前端部为球形的支持棒74内设置与真空泵连接的空气通孔75a，同时，还在吸附盘71上设置空气通孔75b。而且通过空气通孔75b形成用吸附盘71和垫72围成的空间S能够排气或吸气。在空气通孔75a内安装弹簧79，且插入滑阀77。而且，对滑阀77的尖端部安装延伸到垫72的端面的传感棒78。还把保持吸附盘71的支持体73的中心部挖通成球形，自由摇头保持支持棒74的球部。当使该吸附装置接触吸附对象时，传感棒78就与吸附对象的表面接触，滑阀77抵抗弹簧79的弹力，被向上提升。此时空气通孔75a与75b连通，由真空泵抽出空间S的空气。这样，保持空间S为真空状态。另外，在真空吸附装置设多个吸盘的例在专利文献3中发表(没图示)。这是以母液晶显示屏基板作为吸附对象的例。该真空吸附装置吸附运送放置于工作台的母液晶显示屏基板。该真空吸附装置的特征是设置倾斜调节器，能够调节使多个吸盘与母液晶显示屏基板的表面平行。图4表示发表于专利文献3的现有例4中的真空吸附装置80的结构的剖面图。延设片81延伸设置在垂直于移动台的移动方向，在其上安装汽缸82。在延设片81的下方设置水平支持板83。在水平支持板83的下方与其平行安装吸引固定部件84。汽缸82以两根轴85作为导向棒，上下移动水平支持板83。4根轴86贯穿固定于吸引固定部件84的水平支持板83上。通过调节螺母88，经由弹簧87调节吸引固定部件84自体的水平方向的均衡。还在吸引固定部件84的4个角部安装4个倾斜调节器89。而且，在工作台91上放置母液晶显示屏基板90。由这样的结构，能够通过每个倾斜调节器89调节吸引固定部件84相对工作台91表面的间隔，这样，把倾斜的吸引固定部件84调节为水平。吸引固定部件84内部有空洞。在吸引固定部件84的下面安装多个吸盘92。该吸盘92的结构与图2所示的现有例2相同。-->以下，说明预先平行固定工作台91和多个吸盘92的方法。通过向工作台91的表面驱动汽缸82，使吸引固定部件84下降。而且，把吸盘92设定在与工作台面的间隔保持在1～2mm的位置。然后，把水平仪放在吸引固定部件84的上面，调节4个倾斜调节器89中的倾斜调节杆89a的下端位置，使吸引固定部件84成为水平。用没图示的位置检测器检测此时4个倾斜调节杆89a的下端位置，存储在没图示的第一位置存储器内。然后，把要吸附运送的母液晶显示屏基板90放置在工作台91上。而且，通过电机89b的驱动把吸引固定部件84定位，使吸盘92处于吸引固定母液晶显示屏基板90的最合适的高度。用位置检测器检测此时的4个倾斜调节杆89a的下端位置，存储在没图示的第二位置存储器。通过这样的设定，在每次运送母液晶显示屏基板90时，对新的母液晶显示屏基板90，能够自动定位吸盘92。当母液晶显示屏基板90的厚度改变时，只要基于其值变更第二位置存储器的值就可以。专利文献1：特开平11-19838号公报；专利文献2：实开昭48-45064号公报；专利文献3：国际特许公开号WO 03/049909 A1。专利技术要解决的课题运送玻璃基板时，如果玻璃基板的一边尺寸是1m，设定起伏容许范围，例如是2mm～20mm为理想。另外，吸附对象是粘合玻璃基板时，以其厚度是1.0mm～1.4mm为对象。保持运送这样薄弱的粘合玻璃基板的真空吸附装置，必须不能冲击玻璃基板，能够应对吸附对象表面的起伏。由于现有例2的吸盘没有摇头功能，因而不能够应对大型玻璃基板表面的起伏。现有例3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空吸头，其特征在于，具有：接触吸附对象的吸附面、用于真空吸附的吸盘；在一方端部保持上述吸盘、同时在上述吸盘内设置吸排气体用的吸排气孔的轴；限制上述轴的移动范围而能够微动地保持该轴的具有筒形空间的壳体部；在上述壳体部内、在上述壳体部的轴向和与该轴向倾斜的方向自由微动地弹性支撑上述轴的弹性支持部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-11-21 392157/20031.一种真空吸头，其特征在于，具有：接触吸附对象的吸附面、用于真空吸附的吸盘；在一方端部保持上述吸盘、同时在上述吸盘内设置吸排气体用的吸排气孔的轴；限制上述轴的移动范围而能够微动地保持该轴的具有筒形空间的壳体部；在上述壳体部内、在上述壳体部的轴向和与该轴向倾斜的方向自由微动地弹性支撑上述轴的弹性支持部。2.如权利要求1所述的真空吸头，其特征在于，上述轴具有设于上述壳体部内的大致中间位置的凸台形台阶部；上述壳体部具有：在内侧有自由变形地保持上述弹性支持部件用的空间的筒形部；保留第一开口、封住上述筒形部的一个端部的第一壳体盖板；保留第二开口、封住上述筒形部的另一个端部的第二壳体盖板；上述弹性支持部具有：保持在上述第一壳体盖板与上述台阶部之间的第一弹簧；被保持在上述第二壳体盖板与上述台阶部之间的第二弹簧。3.如权利要求2所述的真空吸头，其特征在于，上述第一弹簧和上述第二弹簧是螺旋弹簧；上述第一和第二开口的口径大于上述轴的外径，小于上述第一弹簧和上述第二弹簧的外径。4.如权利要求2所述的真空吸头，其特征在于，上述吸盘位于上述第二开口侧；在上述吸盘处于无负荷状态，上述第一弹簧的压缩力大于上述第二弹簧的压缩力。5.如权利要求1所述的真空吸头，其特征在于，上述吸盘具有使用板状部件的真空吸盘，其设置：在其一面形成很多独立的凸部和凹部...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]