【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械手应用领域，尤其涉及一种提高机械手示教效率的方法。
技术介绍
目前，在很多制造业中多采用机械手实现生产制造的自动化。半导体制造业也不例外，其中的很多制造环节都需要机械手自动完成硅片的传输工作。在硅片的曝光过程中就需要机械手从不同的片库中取片和放片完成传输工作。这些不同的片库包括废片库、收片库、供片库。不同片库中都包含数个可存片的槽，片库的安装方式有发散状和非发散状两种。对片库的示教方式根据片库的安装方式也分为发散状和非发散状。传统的示教方法都是在安装机械手后进行一次校准，确定一主坐标系。整个示教过程中主坐标位置保持不变。在发散状安装片库的情况下，当片库的安装位置出现误差时，示教过程中需要以片库中心为轴水平旋转片库，以重定位其安装位置；在非发散状安装片库的情况下，当片库的安装位置出现误差时，传统示教过程无法直接解决水平向、垂向与纵向的旋转误差，唯一的办法只有调整片库或机械手的安装位置，由于调整的是多个片库和机械手的相对位置因而使得测量和安装步骤异常的繁琐。综上所述，传统的示教方法都无法简单快速解决片库安装误差对机械手传输的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种提高机械手示教效率的方法，通过示教过程，就可简单而快速解决片库安装误差对机械手传输的影响。为了达到上述目的，本专利技术的提高机械手示教效率的方法，所述机械手需在片库中进行取片和放片操作，所述片库包含有数个按顺序编号的可存片的槽，它-->包括以下步骤：步骤1：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构；步骤2：分别示教机械手在自定义坐标系下位于片...
【技术保护点】
一种提高机械手示教效率的方法，所述机械手需在片库中进行取片和放片操作，所述片库包含有数个按顺序编号的可存片的槽，其特征在于，它包括以下步骤：步骤１：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构； 步骤２：分别示教机械手在自定义坐标系下位于片库中最低槽和最高槽的取片或放片位置；步骤３：通过最低槽或最高槽的取片或放片位置可计算出机械手在片库中间槽的每个槽的取片或放片动作的相关位置。
【技术特征摘要】
1.一种提高机械手示教效率的方法，所述机械手需在片库中进行取片和放片操作，所述片库包含有数个按顺序编号的可存片的槽，其特征在于，它包括以下步骤：步骤1：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构；步骤2：分别示教机械手在自定义坐标系下位于片库中最低槽和最高槽的取片或放片位置；步骤3：通过最低槽或最高槽的取片或放片位置可计算出机械手在片库中间槽的每个槽的取片或放片动作的相关位置。2.如权利要求1所述的提高机械手示教效率的方法，其特征在于：在步骤1中，所述自定义坐标系需机械手示教片库的物理坐标系中三个位置以确定自定义参考坐标系的数据结构。3.如权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文刚，胡海峰，李若庆，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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