一种具有绝缘套圈的弹性探针制造技术

一种具有绝缘套圈的弹性探针，涉及到芯片测试座中的弹性探针。包括针筒、设置在针筒内部上、下端的上测试针体和下测试针体、设置在针筒内部中间部位的弹簧；在上测试针体的外面设置凹槽，用以安装及固定第一绝缘套圈；在针筒的外面设置卡勾，用以安装及固定第二绝缘套圈；为了便于装配第二绝缘套圈，每个卡勾上均设置倒角。两个绝缘套圈能够使探针更稳定的固定在探针定位孔内。弹性探针在压缩循环过程中，两个绝缘套圈能够使探针在探针定位孔内垂直移动，不会倾斜。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体行业，特别涉及到芯片测试座中的弹性探针。
技术介绍
半导体芯片在研发和批量生产过程中，必须经过电气方面的性能测试，以检验芯片是否能满足电气性能的要求。芯片测试座是测试装置中的关键部件:它为芯片在测试时提供定位；传递芯片及测试线路板之间的电子讯号及电流。测试座性能的优劣直接影响芯片测试的可靠性和准确性。测试座主要包括芯片固定板，探针保持板和连接芯片与测试线路板之间的弹性探针。测试座的主要作用是定位测试芯片和弹性探针，为了避免弹性探针之间的短路，大多数的测试座都是由绝缘塑料制成。弹性探针起到传导电流和信号的作用，传统的探针都是由金属材料组成。、如附图4和附图5所示，通常弹性探针有四个部件:针筒(101)、设置在针筒内部(101)上、下端的上测试针体(102)和下测试针体(103)、设置在针筒(101)内部中间部位的弹簧(104)。在外力的作用下，弹性探针有两种不同的移动方式:一种是单动式，上测试针体(102)和针筒(101) —起移动；另一种是双动式，上、下针体(102)、(103)移动，针筒(101)不动。通过弹性探针的移动，由上测试针体(102)、针筒(101)和下测试针体(103)来传导电流信号。近年来，随着芯片测试频率和带宽不断提高，要求其探针测试座也要能满足高频测试下的需求。为此，已经开发出完全由金属材料组成的高频测试座及其弹性探针。此类弹性探针已有两种应用形式:—仅在上测试针体上设置一个绝缘套圈，此种探针在压缩循环过程中易歪斜，造成不良的测试结果。—在上测试针体和针筒上各设置一个绝缘套圈，此种弹性探针在压缩循环过程中可以保持垂直，但是在多次压缩循环后，下绝缘套圈会上下滑动，造成不稳定的测试结果。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术中的不足，提供一种新的具有绝缘套圈的弹性探针。探针可以稳定地插在定位孔中，既可以垂直移动，也不会发生倾斜；不仅安装起来很方便，还可以防止套圈松动滑落。本技术是通过以下的技术措施来实现的。一种具有绝缘套圈的弹性探针，包括针筒、设置在所述的针筒内部上、下端的上测试针体和下测试针体、设置在所述的针筒内部中间部位的弹簧，还包括:设置在所述的上测试针体外面的第一绝缘套圈，设置在所述的针筒外面的第二绝缘套圈，在所述的针筒外面设置固定所述的第二绝缘套圈的两个卡勾。在所述的上测试针体的外面设置固定所述的第一绝缘套圈的凹槽。在所述的卡勾上均设置便于装配所述的第二绝缘套圈的倒角。构成所述的第一绝缘套圈、所述的第二绝缘套圈材料是特氟龙材料。本技术采用上述技术措施后，上测试针体上的凹槽固定第一绝缘套圈，从上测试针体顶部或底部推压第一绝缘套圈，即可固定于凹槽；针筒外面的两个卡勾固定第二绝缘套圈，从针筒顶部或底部推压第二绝缘套圈进两个卡勾所形成的槽内，即可加以固定，防止第二绝缘套圈在多次压缩循环后松动滑落。卡勾上的倒角便于第二绝缘套圈的装配。两个绝缘套圈能够使探针更稳定的固定在探针定位孔内。弹性探针在压缩循环过程中，上测试针体和针筒带动两个绝缘套圈一起上下移动，两个绝缘套圈能够使探针在探针定位孔内垂直移动，不会倾斜。附图说明附图1为本技术实施例的结构示意图。附图2为附图1中的A部放大图。附图3为附图1中的B部放大图。附图4为现有技术中单动式弹性探针的结构示意图。附图5为现有技术中双动式弹性探针的结构示意图。图中:1为上测试针体,2为针筒,3为下测试针体,4为弹簧，5为第一绝缘套圈,6为凹槽，7为第二绝缘套圈，8为卡勾，9为卡勾上的倒角。101为现有技术中的针筒，102为现有技术中的上测试针体，103为现有技术中的下测试针体，104为现有技术中的弹簧。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。实施例 如图1一图3所示，一种具有绝缘套圈的弹性探针，包括针筒2、设置在针筒2内部上、下端的上测试针体I和下测试针体3、设置在针筒2内部中间部位的弹簧4 ；在上测试针体I的外面设置凹槽6，用以安装及固定第一绝缘套圈5 ;在针筒2的外面设置第二绝缘套圈7，在针筒2的外面设置卡勾8，用以安装及固定第二绝缘套圈7 ;为了便于将第二绝缘套圈7装配在针筒2上，每个卡勾8上均设置倒角9。构成第一绝缘套圈5、第二绝缘套圈的材料7是特氟龙材料。从上测试针体I顶部或底部推压第一绝缘套圈5进凹槽6，即可将其固定于凹槽6之内；从针筒2顶部或底部推压第二绝缘套圈7进两个卡勾8所形成的槽内，也可将第二绝缘套圈8加以固定。两个绝缘套圈能够使探针更稳定的固定在探针定位孔内。弹性探针在压缩循环过程中，上测试针体I和针筒2带动两个绝缘套圈(5和7)—起上下移动，两个绝缘套圈(5和7)能够使探针在探针定位孔内垂直移动，不会倾斜。以上所述的仅是本技术的优选实施方式。应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干变型和改进，这些也应视为属于本技术的保护笵围。权利要求1.一种具有绝缘套圈的弹性探针，包括针筒(2)、设置在所述的针筒(2)内部上、下端的上测试针体(I)和下测试针体(3)、设置在所述的针筒(2)内部中间部位的弹簧(4)，还包括:设置在所述的上测试针体(I)外面的第一绝缘套圈(5)，设置在所述的针筒(2)外面的第二绝缘套圈(7)，在所述的针筒(2)外面设置固定所述的第二绝缘套圈(7)的两个卡勾(8)。2.根据权利要求1所述的一种具有绝缘套圈的弹性探针，其特征在于:在所述的上测试针体(I)的外面设置固定所述的第一绝缘套圈(5)的凹槽(6)。3.根据权利要求1所述的一种具有绝缘套圈的弹性探针，其特征在于:在所述的卡勾(8)上均设置便于装配所述的第二绝缘套圈(7)的倒角(9)。4.根据权利要求1所述的一种具有绝缘套圈的弹性探针，其特征在于:构成所述的第一绝缘套圈 (5)、所述的第二绝缘套圈(7)的材料是特氟龙材料。专利摘要一种具有绝缘套圈的弹性探针，涉及到芯片测试座中的弹性探针。包括针筒、设置在针筒内部上、下端的上测试针体和下测试针体、设置在针筒内部中间部位的弹簧；在上测试针体的外面设置凹槽，用以安装及固定第一绝缘套圈；在针筒的外面设置卡勾，用以安装及固定第二绝缘套圈；为了便于装配第二绝缘套圈，每个卡勾上均设置倒角。两个绝缘套圈能够使探针更稳定的固定在探针定位孔内。弹性探针在压缩循环过程中，两个绝缘套圈能够使探针在探针定位孔内垂直移动，不会倾斜。文档编号G01R1/067GK203164235SQ20132020335公开日2013年8月28日 申请日期2013年4月22日 优先权日2013年4月22日专利技术者周家春, 刘德先, 彭惠华 申请人:安拓锐高新测试技术(苏州)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有绝缘套圈的弹性探针，包括针筒（2）、设置在所述的针筒（2）内部上、下端的上测试针体（1）和下测试针体（3）、设置在所述的针筒（2）内部中间部位的弹簧（4），还包括：设置在所述的上测试针体（1）外面的第一绝缘套圈（5），设置在所述的针筒（2）外面的第二绝缘套圈（7），在所述的针筒（2）外面设置固定所述的第二绝缘套圈（7）的两个卡勾（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周家春，刘德先，彭惠华，
申请(专利权)人：安拓锐高新测试技术苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：