丝网印刷装置和丝网印刷方法制造方法及图纸

提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法，在其中具有两个成像光轴并且设计用于使基板和掩膜板成像的成像单元水平地移动的构造中，通过适当地校正成像光轴之间的相对位置误差和由成像单元的移动所引起的位置误差，能够提高基板定位精度。在执行目的是探测用于定位基板和掩膜定位的识别标记的标记成像工艺之前，探测成像光轴之间的水平相对位置的光轴校准处理工艺和探测成像光轴的局部位置偏差的表面校正数据准备处理工艺被执行。在开始生产之前，通过使用检验基板和掩膜，用于评估基板定位精度的生产开始前精度评估工艺被执行，在开始生产之后，通过使用实际生产基板和掩膜，用于评估基板定位精度的生产开始后精度评估工艺被执行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿部成孝，矢泽隆，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
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