【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器,包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对,其特征在于,电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状,外侧边缘为相互平行的直线,两个电极的长度相同。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王璟璟,陈达,孙学军,金荧荧,干耀国,
申请(专利权)人:山东科技大学,
类型:发明
国别省市:
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