多晶硅片的制绒剂及利用该制绒剂的制绒方法技术

一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸40%～55%；氢氟酸8%～12%；添加剂0.1%～0.5%；水32.5%～51.9%；添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂10%～15%；亚硝酸盐5%～10%；水75%～85%。本发明专利技术还公开了利用制绒剂的制绒方法。本发明专利技术的制绒剂使用寿命较长，制绒时能有效减缓腐蚀速率，提高制绒质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸????40%～55%；氢氟酸??8%～12%；添加剂??0.1%～0.5%；水??????32.5%～51.9%；前述的添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂??10%～15%；亚硝酸盐??5%～10%；水??????75%～85%。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙励斌，竺峰，
申请(专利权)人：竺峰，
类型：发明
国别省市：