有机层沉积设备和利用其制造有机发光显示设备的方法技术

公开了一种有机层沉积设备和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法。有机层沉积设备包括：运输器，包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘；扫描单元，包括用来排放沉积原料的沉积单元和具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；室，容纳运输器和扫描单元，扫描单元被布置成与基板隔开并且能够相对于运输器移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术实施例的多个方面涉及一种有机层沉积设备和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法。
技术介绍
通常，有机发光显示设备具有宽视角、高对比度和快速的响应时间。因此，有机发光显示设备可以应用于用于移动装置的显示装置或者诸如超薄电视的电子/电气产品，其中，移动装置诸如数码相机、摄像机、便携式摄像机、便携式信息终端、智能手机、超薄膝上型计算机、台式个人计算机(PC)和柔性显示设备。通常，当在阳极和阳极中分别注入的空穴和电子在有机发光层中复合而发光时，具体地讲，当通过结合 空穴和电子而形成的激子从激发态变到基态时，有机发光显示设备发光。在诸如超薄电视的大尺寸电子装置中应用的有机发光显示设备使用大基板。可以通过利用具有与薄膜图案层对应的图案的掩模沉积薄膜图案层的原料来形成诸如形成在大基板上的有机发射层的薄膜图案层。
技术实现思路
根据本专利技术的实施例的一方面，一种有机层沉积设备能够通过使扫描单兀相对于大尺寸基板移动来执行沉积工艺，有机层沉积设备可用于大规模制造并且简化了沉积工艺。根据本专利技术实施例的另一方面，在制造有机发光显示设备的方法中，使用了上面描述的有机层沉积设备。根据本专利技术的一个实施例，一种有机层沉积设备包括:运输器，包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘；扫描单元，包括用来排放沉积原料的沉积单元和具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；室，容纳运输器和扫描单元，扫描单元被布置成与基板隔开并且能够相对于运输器移动。沉积单元可以包括:沉积源，布置在运输器的一侧，以排放沉积原料；沉积源喷嘴单元，位于沉积源上并且包括多个喷嘴；障碍板组件，位于图案化缝隙片和沉积源喷嘴单元之间，并且包括多个障碍板，所述多个障碍板将图案化缝隙片和沉积源喷嘴单元之间的空间划分为多个子沉积空间。图案化缝隙片可以与基板隔开。吸盘可以安装在基板的表面上，用来支撑基板，基板的所述表面与基板的面向扫描单兀的表面相对。基板可以包括布置在室中的多个基板，扫描单元可以被构造成在所述多个基板之间往复运动。所述有机层沉积设备还可以包括对准台单元，对准台单元布置在图案化缝隙片的下部并且包括用来将图案化缝隙片对准为与基板平行的至少一个位置控制器。扫描单元和对准台单元可以在基体框架上彼此一体地结合，用来彼此连同地移动。室可以包括连续布置的多个室，扫描单元可以被构造为在每个室内沿一定的方向移动，所述一定的方向与运输器按沿直线步进的方式在所述多个室中的相邻的室之间移动的方向交叉。室可以包括连续布置的多个室，基板可以包括在每个室内沿水平方向彼此隔开布置的多个基板，图案化缝隙片和沉积单元可以在竖直方向上连续地布置在所述多个基板的下部。每个室中的图案化缝隙片和沉积单元可以被构造成在一定的方向上在所述多个基板之间水平地往复运动，所述多个基板可以沿着与所述一定的方向交叉的另一方向按沿直线步进的方式在所述多个室中的相邻的室之间移动。室可以包括连续布置的多个室，基板可以包括在每个室内沿竖直方向彼此隔开布置的多个基板，图案化缝隙片和沉积单元可以在水平方向上连续地布置在所述多个基板的后部。每个室中的图案化缝隙片和沉积单元可以被构造成在竖直方向上在所述多个基板之间往复运动，所述多个基板可以在所述多个室中的相邻的室之间水平地移动。室可以包括以循环的形式布置的多个室，基板可以包括在每个室内沿竖直方向彼此隔开布置的多个基板，图案化缝隙片和沉积单元可以在水平方向上连续地布置在所述多个基板的后部。每个室中的图案化缝隙片和沉积单元可以被构造成在竖直方向上在所述多个基板之间往复运动，所述多个基板可以在所述多个室中的相邻的室之间水平地移动。室可以包括连续布置的多个室，基板可以包括在每个室内布置在吸盘的相对的侧面的基板，图案化缝隙片和沉积单元可以连续地布置在每个基板的后部。每个室中的图案化缝隙片和沉积单元可以被构造成在竖直方向上在所述多个基板之间往复运动，多个基板可以在所述多个室中的相邻的室之间水平地移动。根据本专利技术的另一实施例，一种制造有机发光显示设备的方法包括:布置有机层沉积设备，有机层沉积设备包括用来排放沉积原料的沉积单元和扫描单元，扫描单元包括具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，以与运输器隔开，运输器包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；在使扫描单元相对于运输器移动的同时将沉积原料沉积在基板上。在一个实施例中，基板可以包括多个基板，所述方法还包括:将所述多个基板在室内沿水平方向彼此隔开地布置；沿竖直方向将图案化缝隙片和沉积单元布置在所述多个基板的下部；使图案化缝隙片和沉积单元平行于基板彼此连同地移动，以将沉积原料沉积在基板上。在一个实施例中， 基板可以包括多个基板，室可以包括多个室，所述方法还包括:将所述多个基板在每个室内沿竖直方向彼此隔开地布置；沿水平方向将图案化缝隙片和沉积单元布置在所述多个基板的后部；使图案化缝隙片和沉积单元平行于基板彼此连同地移动，以将沉积原料沉积在基板上。所述方法还可以包括:在完成沉积步骤之后，沿与图案化缝隙片和沉积单元移动所沿的方向交叉的另一方向将基板移动到相邻的室。所述方法还可以包括:将对准台单元安装在图案化缝隙片的下部，以将图案化缝隙片对准为与基板平行，对准台单元包括第一位置控制器和第二位置控制器，第一位置控制器结合到图案化缝隙片的下部，以对图案化缝隙片沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的倾斜角度进行校正，第二位置控制器安装在第一位置控制器的下部，以对图案化缝隙片在同一平面上的扭转角度进行校正。附图说明通过参照附图更详细地描述本专利技术的一些示例性实施例，本专利技术的上述和其它特征和方面将变得更加清楚，在附图中:图1是根据本专利技术实施例的有机层沉积设备的透视图；图2是图1的有机层沉积设备的侧面剖视图；图3是图1的有机层沉积设备的正面剖视图；图4是示出了图1的有机层沉积设备的扫描单元和对准台单元相对于运输单元移动的状态的示意性剖视图；图5是根据本专利技术另一实施例的有机层沉积设备的透视图；图6是根据本专利技术另一实施例的有机层沉积设备的透视`图7是根据本专利技术另一实施例的有机层沉积设备的透视图；图8是根据本专利技术另一实施例的有机层沉积设备的透视图；以及图9是根据本专利技术实施例的通过利用有机层沉积设备制造的有源矩阵型有机发光显示设备的剖视图。具体实施例方式在下文中，参照附图更详细地描述本专利技术的一些示例性实施例；然而，本专利技术的实施例可以以不同的形式实施，并且不应被解释为局限于在此图示并阐述的示例性实施例。相反，通过示例的方式提供这些示例性实施例来理解本专利技术并且向本领域技术人员传达本专利技术的范围。如本领域技术人员将认识到的，所描述的实施例可以以各种方式进行修改，而全都不脱离本专利技术的精神或范围。如在这里所使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关所列项目的任意组合和所有组合。当诸如中的至少一个(种)”的表述在一系列元件(要素)之后时，修饰整个系列的元件(要素)，而不是修饰系列中的个别元件(要素)。将理解的是，尽管在这里可使用术语第一和第二来描述不同的元件，但是这些元件并不受这些术语的限制。这些术语仅是用来将一个元件与另一个元件区分开来。因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：运输器，包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘；扫描单元，包括用来排放沉积原料的沉积单元和具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；以及室，容纳运输器和扫描单元，其中，扫描单元被布置成与基板隔开并且能够相对于运输器移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：康熙哲，金钟宪，蒋允豪，张锡洛，卢喆来，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：