基板保管装置制造方法及图纸

本发明专利技术的基板保管装置(STR)，具备：容器(CT)，具有收容树脂薄膜等的可挠性基板(S)的收容室(RM)；窗部(W)，设于容器(CT)；以及基板搬送部(CV)，以基板(S)的一部分与窗部(W)对向的方式搬送基板。容器(CT)具有连接于处理装置(PA)的连接部(J)。无端状基板(S)通过张挂且折返于滚筒(11～66)收容于收容室(RM)内。一部分滚筒(29、33、65)可移动于Z方向，且通过该等移动调整基板(S)的张力。基板(S)的一部分(Sc)从窗部拉出至外部，将其部分(Sc)以装置(PA)的处理部(95)进行处理。窗部(W)可以滑件(SL)关闭。可抑制异物附着在基板(S)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：浜田智秀，木内彻，铃木智也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：