在涉及歧化操作的基本闭环方法中制备多晶硅技术

本发明专利技术公开了在基本闭环方法和系统中制备多晶硅。该方法和系统一般性地涉及三氯硅烷的歧化以产生硅烷或二氯硅烷，和硅烷或二氯硅烷的热分解以产生多晶硅。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·古普塔，Y·黄，S·布萨拉普，
申请(专利权)人：MEMC电子材料有限公司，
类型：
国别省市：