半导体元件及其制造方法技术

技术编号:9061521 阅读:152 留言:0更新日期:2013-08-22 00:41
本发明专利技术关于一种半导体元件及其制造方法。该半导体元件包括一基板、一第一重布层及一导电孔。该基板具有一基板本体及一焊垫。该焊垫及该第一重布层邻近于该基板本体的第一表面,且彼此电性连接。互连金属位于该基板本体的一贯穿孔中,且接触该第一重布层。藉此,该焊垫可经由该第一重布层及该导电孔电性连接至该基板本体的第二表面。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体元件,包括一基板,具有一焊垫;一第一重布层,邻近于该基板的一第一表面,且电性连接至该焊垫;及一导电孔,形成于该基板中,该导电孔包含一环状晶种层及一互连层,该环状晶种层位于该基板上,该互连层具有一位于该晶种层的一内表面上的外表面,且电性连接至该第一重布层。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:许芝菁欧英德府玠辰黄哲豪
申请(专利权)人:日月光半导体制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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