用于与环境室和电子显微镜协作的固持器组件制造技术

本发明专利技术涉及一种用于与环境室（101）和电子显微镜协作的固持器组件，环境室呈现流体入口（103），电子显微镜呈现用于使电子显微镜的可抽空部分与电子显微镜的外部分离的真空壁（110），固持器组件包括用于形成与电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口，固持器组件包括用于形成与环境室（101）的流体入口（103）的密封对接的环境室接口，并且固持器组件包括用于将流体供给连接到环境室（101）的流体入口（103）的管路（126），特征在于：固持器组件包括第一和第二部分，第一部分能够从第二部分拆卸，第一部分包括管路（126）和环境室接口并且第二部分包括电子显微镜接口，作为结果，第一部分能够在不使第二部分暴露于高温的情况下在所述高温下清洁第一部分。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于与环境室（101）和电子显微镜协作的固持器组件，所述环境室呈现流体入口（103），所述电子显微镜呈现用于使所述电子显微镜的可抽空部分与所述电子显微镜的外部分离的真空壁，所述固持器组件包括用于形成与所述电子显微镜的密封接口的电子显微镜接口，所述固持器组件包括用于形成与所述环境室（101）的所述流体入口（103）的密封对接的环境室接口，并且所述固持器组件包括用于将流体供给连接到所述环境室（101）的流体入口（103）的管路（126），特征在于：所述固持器组件包括第一和第二部分，所述第一部分能够从所述第二部分拆卸，所述第一部分包括所述管路（126）和所述环境室接口并且所述第二部分包括所述电子显微镜接口，作为结果，所述第一部分能够在不使所述第二部分暴露于高温的情况下在所述高温下清洁所述第一部分。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：HW詹德伯根，P多纳，GNA范维恩，
申请(专利权)人：FEI公司，代夫特科技大学，
类型：发明
国别省市：