【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种辅助工艺流程的实验控制系统，至少包括：预设模组，用于于一次实验设计中预设所有实验条件；主流程执行模组，用于定义主流程的开始站点及结束站点，并执行本次实验的主流程；多次分批实验模组，据预设的实验条件，于主流程的中间过程利用虚拟站点进行连接，对预设的实验条件进行分批实验；以及合并模组，用于依次对多次分批实验的结果进行合并。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱燕萍，娄晓祺，俞晓菁，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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