搬运机器人（50）具备：具有分别保持基板（6）的两个刀片（55、56）的第一手部及第二手部（52、53）；和具有转动单元（57）、第一进退单元（58）、第二进退单元（59）、及升降单元（60）的移动装置，通过该移动装置可以使第一手部及第二手部（52、53）分别移动至载置有基板（6）的基板搬运中转装置（25）及四个处理腔室（23）中。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及搬运基板的搬运机器人、以及其基板搬运方法。又，本专利技术涉及将在两个搬运机器人之间被传递的基板进行中转的基板搬运中转>J-U ρ α装直。
技术介绍
对基板实施加工处理的基板处理系统是已知的。基板处理系统具备移送机器人、搬运机器人和基板搬运中转装置。移送机器人形成为在FOUP (front opening unifiedpod ;前开式晶圆传送盒)和基板搬运中转装置之间移送基板的结构，并且搬运机器人形成为在进行加工处理的腔室和基板搬运中转装置之间搬运基板的结构。而且，基板搬运中转装置可载置移送及搬运过来的基板地构成，并且辅助在移送机器人和搬运机器人之间的基板的传递。作为这样的基板处理系统的搬运机器人的一个示例，具有例如像专利文献I记载的那样的基板搬运用机器人。该基板搬运用机器人具有两个手部，并且在这两个手部上可以分别放置一个基板并保持。基板搬运用机器人用一方的手部接收例如位于基板搬运中转装置上的一个基板，而使另一方的手部处于空闲状态。之后，基板搬运用机器人使另一方的手部移动至腔室并接收位于腔室内的处理后的基板，接着将一方的手部上保持的基板放置到该腔室内。而且，使两个手部再次返回至基板搬运中转装置，并且使另一方的手部上保持的基板返回至传递装置，并且用一方的手部接收基板。又，作为基板处理 系统的搬运机器人的又一示例，具有例如像专利文献2记载的那样的基板处理装置。该基板处理装置具备加载锁定腔室(load lock chamber)部。加载锁定腔室部具有相当于基板搬运中转装置的缓冲单元，通过该缓冲单元的板载置从FOUP搬运过来的基板。又，板在上下方向上可升降，并且通过使板上升，转送室部所具备的转送模块能够接收载置于板上的基板。现有技术文献: 专利文献1:日本特开2003-179119号公报； 专利文献2:日本特开2010-206139号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题: 在基板处理系统中，要求缩短基板制造工序中所花费的制造时间。然而，缩短处理基板的处理时间是困难的，因此要求通过缩短基板的搬运时间而缩短制造时间。作为专利文献I记载的基板搬运用机器人中缩短搬运时间的方法，想到了通过提高两个手部的移动速度而缩短时间的方法。但是，从位置精度和控制精度等的观点考虑时移动速度也有上限值，并且通过提高移动速度能够缩短的搬运时间也有限度。然而，在基板处理系统中，要求进一步缩短搬运时间。又，作为专利文献2记载的基板处理装置中缩短搬运时间的方法，想到了通过提高移送机器人及搬运机器人的移动速度缩短时间的方法。然而，从位置精度和控制精度等的观点考虑时移动速度也有上限值，并且通过提高移动速度能够缩短的搬运时间也有限度。因此，本专利技术的目的是提供即使不提高移动速度也可以缩短搬运时间的搬运装置、使用该装置的搬运方法、以及基板搬运中转装置。解决问题的手段: 本专利技术的搬运机器人具备:具有用于分别保持基板的多个保持部的第一手部；具有用于分别保持基板的多个保持部的第二手部；和使所述第一手部及所述第二手部分别移动至放置有所述基板的待机位置及彼此不同的多个搬运位置的移动装置。根据本专利技术，在待机位置上，例如通过第一手部的多个保持部可以一次接收多个基板，并且通过第二手部的多个保持部可以一次转移多个基板。因此，例如可以连续地转移保持在第一手部上的基板，或者可以通过第二手部连续地接收基板，而在多个位置上传递结束后再次回到待机位置上即可。借助于此，在整个搬运过程中的第一手部及第二手部的移动距离可以变短，可以缩短直至对整个搬运位置搬运基板的搬运时间。在上述专利技术中，优选的是所述移动装置形成为在所述第一手部的多个保持部上保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，之后，将保持在所述保持部上的所述多个基板对各搬运位置依次转移，同时通 过所述第二手部的保持部接收置于所述各搬运位置上的基板的结构。根据上述结构，可以对其他的多个搬运位置连续地执行基板的接收作业。因此，无需每当进行向各搬运位置的搬运作业时返回到待机位置并在第一手部上保持基板，或者每当此时将在第二手部上保持的基板放到待机位置，而能够对各搬运位置连续地进行接收作业。因此，可以缩短第一手部及第二手部的移动距离，可以缩短直至对所有搬运位置搬运基板的搬运时间。在上述专利技术中，优选的是所述待机位置是能够使所述多个基板处于待机状态，并且用于在与FOUP之间通过移送机器人传递所述基板的位置，所述移动装置使所述第一手部及所述第二手部运动而将由所述第二手部的多个保持部保持的所述多个基板放置于所述待机位置上。根据上述结构，可以通过移送机器人事先将多个基板从FOUP移送至待机位置而在待机位置上处于待机状态。借助于此，通过第一手部可以一次保持多个基板，可以缩短搬运时间。又，相反地，可以将保持在第一手部上的多个基板放下至待机位置并通过移送机器人返回至F0UP。因此，不需一个一个卸载基板，可以缩短搬运时间。在本专利技术中，如上所述，可以在相同的待机位置上进行第一手部的传递作业和第二手部的接收作业，因此可以缩短第一手部及第二手部的移动距离，可以缩短搬运时间。在上述专利技术中，优选的是所述移动装置形成为在一个搬运过程中，向预先规定的N个所述搬运位置分别转移所述基板的结构；所述第一手部具有所述N以上的所述保持部；所述第二手部具有所述N以上的所述保持部。根据上述结构，可以连续地进行在一个搬运过程中应转移基板的N个搬运位置上的接收作业，可以更加缩短搬运时间。在上述专利技术中，优选的是所述移动装置形成为一起转动所述第一手部及第二手部的结构，相对于所述待机位置所述转动方向的一方侧和另一方侧上分别具有N个搬运位置，所述移动装置形成为以下结构，在第一搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后向所述一方侧转动所述第一手部及第二手部并将所述基板依次分别转移至位于所述一方侧上的所述N个搬运位置上，并且在第二搬运工序中，从所述待机位置接收N个基板后向所述另一方侧转动所述第一手部及第二手部并将所述基板依次分别转移至位于所述另一方侧上的所述N个搬运位置上。根据上述结构，可以抑制保持部的数量的同时抑制第一手部及第二手部的移动距离。借助于此，可以抑制部件数量的增加的同时可以实现搬运时间的缩短。在上述专利技术中，优选的是所述搬运位置的数量N为2。根据上述结构，可以同时实现部件数量的增加的抑制和搬运时间缩短。在上述专利技术中，优选的是所述移动装置形成为使所述第一手部及第二手部运动以通过所述第一手部的所述多个保持部一次保持并接收置于所述待机位置上的多个基板，同时由所述第二手部的所述多个保持部分别保持的多个基板一次放置在所述待机位置上而进行转移的结构。根据上述结构，在待机位置上可以通过第一手部一次保持多个基板，且通过第二手部可以一次放置多个基板。因此可以缩短保持的时间及放置的时间。在上述专利技术中，优选的是所述移动装置具备使所述第一手部及所述第二手部在各自的延伸方向上独立地进退的进退单元、和使所述第一手部及所述第二手部一起升降的升降单元；并形成为以下结构，通过所述进退单元使所述第一手部的所述多个保持部分别向放置于所述待机位置上的多个基板的下方行进后，通过所述升降单元使所述第一手部及所述第二手部上升，以此由所述第一手部的所述多个保持部一次保持放置在所述待机位置上的多个基板，之后本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：后藤博彦，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：
国别省市：
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