基板搬送装置、基板搬送方法和存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明专利技术执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设定的第一位置、第二位置，检测基板的周边部的各位置的第一和第二步骤；判别光源部的光照射区域位于基板的切口的异常状态的种类的第三步骤；和根据第三步骤的判别，基于在第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置决定基板保持部相对第二组件的交接位置，或在第三位置重新检测基板周边部的各位置，基于该各位置决定交接位置。

【技术实现步骤摘要】
基板搬送装置和基板搬送方法
本专利技术涉及在组件（模块）间搬送基板的基板搬送装置、基板搬送方法和存储有用于执行该基板搬送方法的程序的存储介质。
技术介绍
例如半导体器件的制造工艺中，在装置内设置有多个对作为基板的晶片进行处理的处理组件，通过在这些处理组件间利用基板搬送装置依次搬送晶片，进行规定的处理。上述基板搬送装置具备保持晶片的保持部。为了对晶片进行适当的处理，要求高精度地将上述晶片交接（移交）至组件的规定的位置。因此，讨论利用检测部（传感器）对上述保持部中的晶片的周边部的位置进行检测，并基于该检测出的位置搬送晶片。例如在专利文献1中记载有，基于上述检测出的晶片的周边部的位置，对组件的相互间的晶片的搬送量进行校正，来消除在上述组件的晶片的位置偏移。另外，在专利文献2中记载有如下控制，根据检测出的周边部的位置求出晶片的中心位置，基于该中心位置与预先确定的基准位置的偏移量，使搬送臂部能够将晶片搬运到搬送目标位置。但是，晶片不是正圆形，在其周边部形成有用于对晶片进行定位的切口（缺口）。上述检测部的检测范围与该切口重叠的情况下，保持部中的晶片的位置不能够正常检测，所以需要适当的对策。另外，还考虑有以下情况，由于某些问题上述设置有多个的检测部发生故障的情况下，停止装置内的处理中的晶片的搬送，工作者为了收回晶片而进入装置内运走晶片。但是，在那样的情况下，在装置内晶片的处理被中断，存在生产率大幅度降低的问题。根据该问题，要求在设置有多个的检测部的一部分不能够使用的情况下，也能够高精度地检测上述晶片的位置。在专利文献1、2的各装置中，对这些问题没有考虑，不能解决该问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平8－31905号公报专利文献2：日本特开2006－351884号公报
技术实现思路
专利技术想要解决的课题本专利技术是鉴于上述的课题而完成的，提供一种技术，通过该技术，在搬送周边部设置有切口的圆形的基板时，即使分别对该基板的周边部的位置进行检测的光源部和与该光源部成对的受光部的数量少，也能够高精度地将基板搬送至组件。用于解决课题的方法本专利技术的基板搬送装置，其特征在于：具备在横方向上能够自由移动的基板保持部，用于从第一组件向第二组件搬送在周边部设置有切口的圆形的基板，上述基板搬送装置具备：传感器部，其为了对由上述基板保持部保持的基板的周边部的3个位置进行检测，具备对上述周边部的相互不同的位置照射光的3个光源部和与各上述光源部成对的3个受光部；用于使上述基板保持部相对上述传感器部相对地移动的驱动部；和为了控制上述基板保持部、驱动部和传感器部的各动作而输出控制信号的控制部，上述控制部输出控制信号以执行以下步骤：第一步骤，使保持有从上述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对上述传感器部位于预先设定的第一位置，检测上述基板的周边部的各位置；第二步骤，使上述基板保持部相对传感器部位于从该第一位置偏移的第二位置，检测基板的周边部的各位置；第三步骤，当将光源部的光照射区域位于上述基板的切口的状态称为异常状态时，基于上述第一步骤和第二步骤的各检测结果，导出以下a～d中任意一个结果，a.在上述第一位置和第二位置中的任一个位置发生异常状态，能够确定该位置，b.在上述第一位置和第二位置中的任一个位置都未发生异常状态，c.在上述第一位置和第二位置双方发生异常状态，d.在上述第一位置和第二位置中的至少一个位置发生异常状态，但不能够确定该位置；和第四步骤，在上述第三步骤的结果为a或b时，基于在上述第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置，决定基板保持部相对第二组件的交接位置，另外，在上述结果为c或d时，为了向上述基板的离开切口的位置照射光，使上述基板保持部相对传感器部移动至与上述第一位置和第二位置不同的第三位置，检测基板的周边部的各位置，基于该各位置决定上述交接位置。本专利技术的具体方式例如为下面的方式。（a）上述传感器部具备4对以上的上述光源部和受光部，当该4对以上的光源部和受光部能够使用时，利用这4对以上的光源部和受光部检测基板的周边部的各位置。（b）上述控制部执行包括以下步骤的第二模式，替代执行包括上述第一步骤至第四步骤的第一模式：使保持有从上述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对传感器部位于预先设定的第四位置，检测上述基板的周边部的各位置的位置检测步骤；基于在上述位置检测步骤中检测出的周边部的各位置，判定是否发生上述异常状态的异常状态判定步骤；和在上述异常状态判定步骤中判定为未发生异常状态的情况下，基于在上述第四位置检测出的周边部的各位置，决定基板保持部相对第二组件的交接位置，在判定为发生异常状态的情况下，使基板保持部移动至从上述第四位置偏移的第五位置，检测上述基板的周边部的各位置，基于在第四位置和第五位置检测出的基板的周边部的各位置，确定包括成为上述异常状态的光源部和受光部的传感器对，基于由上述传感器对检测出的周边部的位置以外的各位置决定上述交接位置的步骤。（c）在执行上述第二模式时，上述控制部基于上述受光部的检测结果，判定包括上述光源部和与该光源部成对的受光部的检测部能否使用，在能够使用的上述检测部为3个时，执行第一模式替代上述第二模式。（d）在上述第二模式，成为异常状态的检测部的确定基于以下进行：根据在上述第四位置和第五位置分别检测到的基板的各周边部的位置而计算的该基板的中心位置的位移量；和根据在第四位置和第五位置分别检测出的基板的各周边部的位置而计算的基板的直径的大小。（e）上述第三步骤中的判定基于以下进行：根据在上述第一位置检测出的基板的各周边部的位置而计算的该基板的中心位置和直径的大小；和根据在上述第二位置检测出的基板的各周边部的位置而计算的基板的中心位置和直径的大小。（f）上述第三步骤中的判定基于在上述第一位置检测出的基板的中心位置与在上述第二位置检测出的基板的中心位置的位移量进行。专利技术效果根据本专利技术，使基板的位置相对于设置有3个的传感器部错开，在各位置从构成上述检测部的光源部向受光部照射光，基于各受光量判定传感器部的检测范围与基板的切口是否重叠，当判定为在任一位置重叠时，进一步使基板的位置相对于传感器部错开，检测基板的周边部的位置。因此，能够抑制必需的光源部和受光部的数量，并能够高精度地将基板交接至组件。附图说明图1是构成本专利技术的基板搬送机构的搬送臂和组件的立体图。图2是上述搬送臂的立体图。图3是上述搬送臂的平面图。图4是上述搬送臂的侧视图。图5是表示上述搬送臂的检测部的检测结果的一个例子的示意图。图6是上述周边位置检测机构的检测部的块图。图7是控制上述搬送臂的动作的控制部的块图。图8是设置于上述控制部的存储器的概念图。图9是上述搬送臂的搬送的示意图。图10是上述搬送臂的搬送的示意图。图11是表示上述搬送臂的保持部与由该保持部保持的晶片的位置关系的平面图。图12是表示基于检测的周边位置计算的晶片的各坐标的平面图。图13是表示上述晶片的各坐标的平面图。图14是表示上述晶片的各坐标的平面图。图15是表示上述晶片的各坐标的平面图。图16是表示晶片的中心坐标变化的状况的说明图。图17是上述搬送臂进行的通常模式的流程图。图18是表示暂时模式执行时的保持部的动作状态的说明图。图19是表示暂时模式执行时的保持部的动作状态的说明图。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬送装置，其特征在于：所述基板搬送装置具备在横方向上能够自由移动的基板保持部，用于从第一组件向第二组件搬送在周边部设置有切口的圆形的基板，所述基板搬送装置具备：传感器部，其为了对由所述基板保持部保持的基板的周边部的3个位置进行检测，具备对所述周边部的相互不同的位置照射光的3个光源部和与各所述光源部成对的3个受光部；用于使所述基板保持部相对所述传感器部相对地移动的驱动部；和为了控制所述基板保持部、驱动部和传感器部的各动作而输出控制信号的控制部，所述控制部输出控制信号以执行以下步骤：第一步骤，使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对所述传感器部位于预先设定的第一位置，检测所述基板的周边部的各位置；第二步骤，使所述基板保持部相对传感器部位于从该第一位置偏移的第二位置，检测基板的周边部的各位置；第三步骤，当将光源部的光照射区域位于所述基板的切口的状态称为异常状态时，基于所述第一步骤和第二步骤的各检测结果，导出以下a～d中任意一个结果，a.在所述第一位置和第二位置中的任一个位置发生异常状态，能够确定该位置，b.在所述第一位置和第二位置中的任一个位置都未发生异常状态，c.在所述第一位置和第二位置双方发生异常状态，d.在所述第一位置和第二位置中的至少一个发生异常状态，但不能够确定该位置；和第四步骤，在所述第三步骤的结果为a或b时，基于在所述第一位置或第二位置检测出的周边部的各位置，决定基板保持部相对第二 组件的交接位置，另外，在所述结果为c或d时，为了向所述基板的离开切口的位置照射光，使所述基板保持部相对传感器部移动至与所述第一位置和第二位置不同的第三位置，检测基板的周边部的各位置，基于该各位置决定所述交接位置。...

【技术特征摘要】
2012.02.03 JP 2012-0220471.一种基板搬送装置，其具备在横方向上能够自由移动的基板保持部，该基板保持部用于从第一组件向第二组件搬送在周边部设置有切口的圆形的基板，所述基板搬送装置的特征在于，包括：能够围绕铅垂轴旋转的基台，所述基板保持部设置成能够在所述基台之上相对地移动；传感器部，其设置于所述基台，为了对由所述基板保持部保持的基板的周边部的3个位置进行检测，具备对所述周边部的相互不同的位置照射光的3个光源部和与各所述光源部成对的3个受光部；用于使所述基板保持部相对所述传感器部相对地移动的驱动部；和为了控制所述基板保持部、驱动部和传感器部的各动作而输出控制信号的控制部，所述控制部输出控制信号以执行以下步骤：第一步骤，在使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对所述传感器部位于预先设定的第一位置并静止的状态下，检测所述基板的周边部的各位置；第二步骤，在使所述基板保持部相对传感器部位于从该第一位置偏移的第二位置并静止的状态下，检测基板的周边部的各位置；第三步骤，当将光源部的光照射区域位于所述基板的切口的状态称为异常状态时，基于所述第一步骤和第二步骤的各检测结果，导出以下a～d中任意一个结果，a.在所述第一位置和第二位置中的任一个位置发生异常状态，能够确定在所述第一位置和第二位置中的哪一个位置发生了异常状态，b.在所述第一位置和第二位置均没有发生异常状态，c.在所述第一位置和第二位置双方发生异常状态，d.在所述第一位置和第二位置中的至少一个发生异常状态，但不能够确定该位置；和第四步骤，在所述第三步骤的结果为a或b时，基于在所述第一位置和第二位置中的没有发生异常状态的位置检测出的周边部的各位置，决定基板保持部相对第二组件的交接位置，另外，在所述结果为c或d时，为了向所述基板的离开切口的位置照射光，使所述基板保持部相对传感器部移动至与所述第一位置和第二位置不同的第三位置并静止的状态下，检测基板的周边部的各位置，基于该各位置决定所述交接位置，所述第三步骤中的判定基于以下进行：根据在所述第一位置检测出的基板的各周边部的位置而计算的该基板的中心位置和直径的大小；和根据在所述第二位置检测出的基板的各周边部的位置而计算的基板的中心位置和直径的大小。2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于：所述传感器部具备4对以上的所述光源部和受光部，在该4对以上的光源部和受光部能够使用时，利用这4对以上的光源部和受光部检测基板的周边部的各位置。3.如权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于：所述控制部执行包括以下步骤的第二模式，替代执行包括所述第一步骤至第四步骤的第一模式：在使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对传感器部位于预先设定的第四位置并静止的状态下，检测所述基板的周边部的各位置的位置检测步骤；基于在所述位置检测步骤中检测出的周边部的各位置，判定是否发生了所述异常状态的异常状态判定步骤；和在所述异常状态判定步骤中判定为未发生异常状态的情况下，基于在所述第四位置检测出的周边部的各位置，决定基板保持部相对第二组件的交接位置，在判定为发生异常状态的情况下，使基板保持部移动至从所述第四位置偏移的第五位置并静止的状态下，检测所述基板的周边部的各位置，基于在第四位置和第五位置检测出的基板的周边部的各位置，确定包括成为所述异常状态的光源部和受光部的传感器对，基于由所述传感器对检测出的周边部的位置以外的各位置决定所述交接位置的步骤。4.如权利要求3所述的基板搬送装置，其特征在于：在执行所述第二模式时，所述控制部基于所述受光部的检测结...

【专利技术属性】
技术研发人员：林德太郎，道木裕一，前岛浩光，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：