多晶硅片的制绒槽制造技术

技术编号:8976717 阅读:217 留言:0更新日期:2013-07-26 05:15
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅片的制绒槽。所述制绒槽包括槽体、循环系统和冷却系统;槽体由槽体隔板分割为上层反应区域和下层冷却区域;槽体隔板上设置反应液进液口,反应区域对应的槽体侧面上方设置循环液进液口,冷却区域对应的槽体侧面下方设置循环液出液口,循环系统连通循环液进液口和循环液出液口;冷却区域对应的槽体侧面下方分别设置有冷却液进、出液口,冷却系统包括热交换器和冷却液输送管道,热交换器设置在所述冷却区域的槽体底部,冷却液进液口、热交换器、冷却液出液口、冷却液输送管道首尾依次相连。本实用新型专利技术的制绒槽对冷却系统进行了升级,在降低生产过程晶硅片碎片的同时,实现了超低温2℃制绒工艺,极大地提高了制绒质量。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

Making groove of polycrystalline silicon sheet

The utility model discloses a velvet groove for polycrystalline silicon sheets. The texturing tank comprises a tank body, circulation system and cooling system; tank tank divided by partition for the upper reaction zone and lower cooling area; tank partition set reaction liquid inlet side of the reaction tank, above the area corresponding to the set of circulating liquid inlet, cooling area of the tank side should be set below the liquid circulation liquid outlet circulation system is communicated with the liquid inlet and the liquid outlet of circulating fluid circulating fluid into the tank; the lower part of the side corresponding to the cooling zone are respectively provided with a cooling liquid inlet and a liquid outlet, the cooling system includes a heat exchanger and coolant pipeline, the heat exchanger is arranged at the bottom of the cooling area of the cooling fluid into the tank. The liquid outlet, a heat exchanger, the coolant outlet and the cooling fluid conveying pipe are sequentially connected. The utility model has the advantages of improving the cooling system, reducing the process of producing the crystal silicon chips, and realizing the ultra low temperature 2 DEG C making process.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池片的加工制造领域,具体涉及一种多晶硅片的制绒槽
技术介绍
现有晶体硅太阳电池为了增加光吸收率,提高转换效率,通常会通过溶液腐蚀工艺在晶硅片表面进行化学腐蚀,形成山峰状表面,即形成绒面结构。溶液腐蚀工艺一般包括碱溶液腐蚀或酸溶液腐蚀,其分别适用于单晶硅片和多晶硅片。传统的板式制绒工艺存在碎片多的缺陷,于是随着技术的发展和改进,出现了槽式制绒工艺。然而,在现有的采用槽式制绒工艺的多晶制绒机中,多晶硅片制绒反应过程中产生的大量热量,使得制绒槽内的多晶硅片表面的温度升高,过高的温度严重影响了制绒的质量。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术存在的缺陷,提供一种多晶硅片的制绒槽。该制绒槽对冷却系统进行了升级,在降低生产过程晶硅片碎片的同时,实现了与现行的低温8°C不同的超低温2°C制绒工艺,极大地提高了制绒质量。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本技术涉及一种多晶硅片的制绒槽,所述制绒槽包括槽体、循环系统和冷却系统;所述槽体由槽体隔板分割为上、下两层,上层空间为反应区域,下层空间为冷却区域;所述槽体隔板上设置有反应液进 液口,所述反应区域对应的槽体侧面上方设置有循环液进液口,所述冷却区域对应的槽体侧面下方设置有循环液出液口,所述循环系统连通所述循环液进液口和循环液出液口;所述冷却区域对应的槽体侧面的下方分别设置有冷却液进、出液口,所述冷却系统包括热交换器和冷却液输送管道,所述热交换器设置在所述冷却区域的槽体底部,所述冷却液进液口、热交换器、冷却液出液口、冷却液输送管道首尾依次相连。优选地,所述反应区域内设置有平行于所述槽体隔板的蜂窝板。优选地,所述循环液进液口、循环液出液口设置于所述槽体同一侧面。优选地,所述冷却液进、出液口分别设置于所述槽体同一侧面下方的两端。优选地,所述循环液出液口与冷却液进液口分别设置于相邻的槽体侧面,所述循环液出液口与冷却液进液口位置相邻。优选地,所述热交换器为定向排布的交换器管束。优选地,所述循环系统包括循环泵和循环输送管道;所述循环系统设置在槽体外部。与现有技术相比,本技术具有的有益效果为:1、对冷却系统进行全逆流设计,定向对温度高的强酸进行导流,实现了与现行的低温8°C不同的超低温2°C制绒工艺,极大地提高了制绒质量;同时,由于换热效率的提高,还节省了电能;2、在化学反应区域,通过蜂窝板达到搅拌混合,通过隔板内强酸进液口使搅拌混合后的液体到达冷却系统区域,与交换器进行表面热量交换实现冷却,再利用外部循环系统将冷却后的强酸进行输送到化学反应区域,实现封闭、安全、高效的制绒工艺;3、制绒槽设计紧凑,在满足超低温制绒工艺要求的同时,还节省了安装空间,节约了生产成本。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显:图1为多晶硅片制绒槽的冷却区域的结构示意图;图2为多晶硅片制绒槽的槽体分隔示意图;图3为多晶硅片制绒槽的反应区域的结构示意图; 其中,I为槽体,2为槽体隔板,3为反应液进液口,4为循环液进液口,5为循环液出液口,6为冷却液进液口,7为冷却液出液口,8为热交换器,蜂窝板9。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术,但不以任何形式限制本技术。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本技术构思的前提下,还可以做出若干变形和改进。这些都属于本技术的保护范围。实施例本实施例的多晶硅片的制绒槽,如图1、2、3所示,包括槽体1、循环系统和冷却系统;所述槽体I由槽体隔板2分割为上、下两层,上层空间为反应区域,下层空间为冷却区域;所述槽体隔板2上设置有反应液进液口 3,所述反应区域对应的槽体I侧面上方设置有循环液进液口 4,所述冷却区域对应的槽体I侧面下方设置有循环液出液口 5,所述循环系统连通所述循环液进液口 4和循环液出液口 5 ;所述冷却区域对应的槽体I侧面的下方分别设置有冷却液进、出液口 6、7,所述冷却系统包括热交换器8和冷却液输送管道,所述热交换器8设置在所述冷却区域的槽体I底部,所述冷却液进液口 6、热交换器8、冷却液出液口 7、冷却液输送管道首尾依次相连。工作时,所述反应区域内的反应液(即强酸)通过槽体隔板2上设置的反应液进液口 3进入冷却区域进行热交换,冷却后的强酸通过循环液出液口 5流出,经所述循环系统输送至循环液进液口 4重新进入反应区域;热交换器8内的冷却液通过冷却液出液口 7流出后经自然冷却后经冷却液输送管道重新由冷却液进液口 6进入热交换器8内。作为本实施例的一个优选实施方案,所述反应区域内设置有平行于所述槽体隔板2的蜂窝板9。反应区域内进行工艺生产以后反应液温度升高,通过蜂窝板可达到搅拌混合均匀的目的。作为本实施例的更优选的实施方案,为了在冷却区域达到很好的换热效果,并且能够达到定向对温度高的强酸进行导流,进行了全逆流设计。具体为:所述循环液进液口4、循环液出液口 5设置于所述槽体I同一侧面;所述冷却液进、出液口 6、7别设置于所述槽体I同一侧面下方的两端;所述循环液出液口 5与冷却液进液口 6分别设置于相邻的槽体I侧面,所述循环液出液口 5与冷却液进液口 6位置相邻(如图3所示);这样的设计实现了全逆流热交换,使得换热效果达到最佳。此外,为了更好的定向对温度高的强酸进行倒流,所述热交换器8为定向排布的交换器管束,如图1所示,该交换器管束的进液口与冷却液进液口 6相连,出液口与冷却液出液口 7相连。作为本实施例的又一个优选实施方案,所述循环系统包括循环泵和循环输送管道;所述循环系统为槽体外围设施。反应区域的强酸在冷却区域内按照安装设计的流向充分与热交换器进行表面热量交换,再利用该外部循环系统将冷却后的强酸输送回反应区域,从而形成一个封闭的循环系统。以上对 本技术的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本技术并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改,这并不影响本技术的实质内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅片的制绒槽,其特征在于,所述制绒槽包括槽体、循环系统和冷却系统;所述槽体由槽体隔板分割为上、下两层,上层空间为反应区域,下层空间为冷却区域;所述槽体隔板上设置有反应液进液口,所述反应区域对应的槽体侧面上方设置有循环液进液口,所述冷却区域对应的槽体侧面下方设置有循环液出液口,所述循环系统连通所述循环液进液口和循环液出液口;所述冷却区域对应的槽体侧面的下方分别设置有冷却液进、出液口,所述冷却系统包括热交换器和冷却液输送管道,所述热交换器设置在所述冷却区域的槽体底部,所述冷却液进液口、热交换器、冷却液出液口、冷却液输送管道首尾依次相连。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片的制绒槽,其特征在于,所述制绒槽包括槽体、循环系统和冷却系统;所述槽体由槽体隔板分割为上、下两层,上层空间为反应区域,下层空间为冷却区域;所述槽体隔板上设置有反应液进液口,所述反应区域对应的槽体侧面上方设置有循环液进液口,所述冷却区域对应的槽体侧面下方设置有循环液出液口,所述循环系统连通所述循环液进液口和循环液出液口 ;所述冷却区域对应的槽体侧面的下方分别设置有冷却液进、出液口,所述冷却系统包括热交换器和冷却液输送管道,所述热交换器设置在所述冷却区域的槽体底部,所述冷却液进液口、热交换器、冷却液出液口、冷却液输送管道首尾依次相连。2.根据权利要求1所述的多晶硅片的制绒槽,其特征在于,所述反应区域...

【专利技术属性】
技术研发人员:高贵州唐传勇
申请(专利权)人:上海艾力克新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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