The utility model provides a high purity of three phosphorus oxychloride bubble bucket, comprising an air inlet is arranged in the sealed bottle and the bottle body tube and a bottle bottom, the center position of a groove downwards to form the product source, the intake pipe is arranged in the bottle at the center and to the inside of the bottle body extends to the product source tank bottom. The utility model has the advantages of improving the utilization rate of three phosphorus oxychloride source, reducing production cost, reducing environmental pollution, wide application range and good stability.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种三氯氧磷存储装置，具体地，涉及一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶。
技术介绍
高纯度三氯氧磷(99.9999-99.99999% )是集成电路、太阳能电池、电子原件生产过程中的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛应用于光伏、IC产业。在太阳能制造过程中，目前主要采用液态源进行扩散，高纯氮气通入源液中，携带三氯氧磷蒸汽至扩散炉中，在硅片表面形成PN结。如图1所示，其为现有常用的高纯度三氯氧磷源瓶的结构示意图，高纯氮气由进气管2通入源液4中，携带三氯氧磷蒸汽由出气管3排出至扩散炉中。然而，由于瓶体I为平底结构，在扩散工艺中会造成一部分源浪费，当源瓶中液面较低，通常低于2cm时，高纯氮气携带源蒸汽较少，将不再满足生产需要，此部分源被浪费掉，不仅浪费了原料，还对环境产生污染。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，本技术能够充分利用三氯氧磷原料，有效避免环境污染。根据本技术的一个方面，提供一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密闭瓶体和设置于瓶体上的进气管和出气管，瓶体底部中心位置向下凹陷形成一积源槽，进气管设置在瓶体中心处且向瓶体内部延伸至积源槽的底面。优选地，积源槽上部略成漏斗状。优选地，积源槽直径略大于进气管直径。优选地，积源槽的直径大于等于4.0cm优选地，积源槽槽深为2.0 2.5cm。优选地，积源槽周围的瓶体部分为实体耐高温玻璃。本技术使用时，当瓶体内剩余源较少时，剩余的源被集中到积源槽中，源液面的高度使得氮气充分与源液体接触产生源蒸汽，满足生产需要，从而提高源的利用率，同时降低生产成本，减轻对于环境的污染。与现有技术相...
【技术保护点】
一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括：密闭瓶体和设置于瓶体上的进气管和出气管，其特征在于，所述瓶体底部中心位置向下凹陷形成一积源槽，所述进气管设置在所述瓶体中心处且向瓶体内部延伸至所述积源槽的底面。
【技术特征摘要】
1.一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密闭瓶体和设置于瓶体上的进气管和出气管，其特征在于，所述瓶体底部中心位置向下凹陷形成一积源槽，所述进气管设置在所述瓶体中心处且向瓶体内部延伸至所述积源槽的底面。2.根据权利要求1所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述积源槽上部略成漏斗状。3.根据权利要求1所述的高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴熙明，张坤，
申请(专利权)人：上海艾力克新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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