一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，包括涡轮丝杆升降机、顶升轴、轴承座、旋转轴、夹持组件及支架，所述涡轮丝杆升降机上设有丝杆，所述丝杆通过将其一端插设在所述顶升轴的一端内与所述顶升轴活动连接，所述顶升轴的另一端通过所述轴承座与所述旋转轴相连接，所述夹持组件位于所述旋转轴一侧，且与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述支架与所述涡轮丝杆升降机相连接。本实用新型专利技术主要依靠涡轮丝杆升降机提供动力，相对于液压机构污染小，便于维护，并且带有失电锁紧功能。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Lifting rotary mechanism of silicon carbide single crystal furnace

To improve the rotary mechanism of the utility model relates to a silicon carbide single crystal furnace, including a screw lift, lift shaft, a bearing seat, a rotating shaft, a clamping assembly and a bracket, the turbo screw lift is provided with a screw rod, the screw rod through which one end is inserted in one end of the lifting shaft with the lifting shaft is movably connected, the lifting of the other end of the shaft is connected through the bearing seat and the rotating shaft, wherein the clamping component is located in the side of the rotating shaft, and is connected with the lateral wall of the rotating shaft, the bracket and the turbo screw the lifting machine is connected. The utility model mainly rely on Turbo screw lift hydraulic mechanism with respect to provide power, little pollution, convenient maintenance, and with the loss of power locking function.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，属于碳化硅单晶生长炉领域。
技术介绍
在半导体器件的应用方面，随着碳化硅生产成本的降低，碳化硅单晶由于其优良的物理及电学性能而部分取代单晶硅，打破单晶硅由于材料本身性能的瓶颈，将给电子业带来革命性的变革。目前碳化硅单晶的主要应用领域有LED固体照明，高频率器件，高压功率元件和耐高温的集成电路芯片，这些应用给碳化硅单晶提供巨大的增长需求，同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之需要飞速的发展。碳化硅单晶生长炉在工作时是真空密封状态，在取晶体和清理时需要把炉盖打开，提升并旋转至适当位置。装料开炉时需要炉盖复位，抽至真空态。炉盖与炉体之间采用胶圈密封，需要复位精确，保证螺孔对齐。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种结构紧凑，安装方便，且能精确复位的碳化硅单晶炉的提升旋转机构。本技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，包括涡轮丝杆升降机、顶升轴、轴承座、旋转轴、夹持组件及支架，所述涡轮丝杆升降机上设有丝杆，所述丝杆通过将其一端插设在所述顶升轴的一端内与所述顶升轴活动连接，所述顶升轴的另一端通过所述轴承座与所述旋转轴相连接，所述夹持组件位于所述旋转轴一侧，且与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述支架与所述涡轮丝杆升降机相连接。本技术的有益效果是:本技术主要依靠涡轮丝杆升降机提供动力，相对于液压机构污染小，便于维护，并且带有失电锁紧功能。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。进一步，所述夹持组件包括夹板及连接座，所述夹板与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述连接座与所述夹板相连接。进一步,所述轴承座上设有轴承,所述轴承上设有轴承盖。采用上述进一步方案的有益效果是，旋转轴与顶升轴之间设有轴承，炉盖在提升状态直接人工旋转至适当位置。轴承上设有轴承盖防止长时间使用后灰尘污染，影响轴承寿命。涡轮丝杆升降机上的丝杆带动顶升轴上下运动、轴承带动旋转轴及夹持组件旋转，从而带动炉盖实现顶升旋转功能。进一步，所述支架上设有行程开关。进一步，所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括丝杆螺母，所述丝杆通过所述丝杆螺母与所述顶升轴活动连接。进一步，所述丝杆螺母上设有撞块。采用上述进一步方案的有益效果是，丝杆螺母上设有撞块，当升降到达上下限位时，撞块与行程开关碰撞接触，发出信号，从而控制丝杆的提升及下降。进一步，所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括基座，所述基座套设在所述顶升轴上。进一步，所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括紧固螺钉，所述顶升轴通过所述紧固螺钉与所述轴承座固定连接。附图说明图1为本技术碳化硅单晶炉的提升旋转机构的结构示意图；图2为本技术碳化硅单晶炉的提升旋转机构的整体示意图；附图中，各标号所代表的部件列表如下:1、涡轮丝杆升降机，2、丝杆，3、丝杆螺母，4、顶升轴，5、轴承座，6、轴承，7、轴承盖，8、旋转轴，9、夹板，10、连接座，11、紧固螺钉，12、基座，13、支架，14、行程开关，15、撞块。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，如图1、图2所示，包括涡轮丝杆升降机1、顶升轴4、轴承座5、旋转轴8、夹持组件及支架13，所述涡轮丝杆升降机I上设有丝杆2，所述丝杆2通过将其一端插设在所述顶升轴4的一端内与所述顶升轴4活动连接，所述顶升轴4的另一端通过所述轴承座5与所述旋转轴相8连接,所述夹持组件位于所述旋转轴8 一侧，且与所述旋转轴8的外侧壁相连接，所述支架13与所述涡轮丝杆升降机I相连接。所述夹持组件包括夹板9及连接座10，所述夹板9与所述旋转轴8的外侧壁相连接，所述连接座10与所述夹板9相连接。所述轴承座5上设有轴承6，所述轴承6上设有轴承盖7。旋转轴8与顶升轴4之间设有轴承6，炉盖在提升状态直接人工旋转至适当位置。轴承6上设有轴承盖7防止长时间使用后灰尘污染，影响轴承寿命。涡轮丝杆升降机I上的丝杆2带动顶升轴4上下运动、轴承6带动旋转轴8及夹持组件旋转，从而带动炉盖实现顶升旋转功能。所述支架13上设有行程开关14。所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括丝杆螺母3，所述丝杆2通过所述丝杆螺母3与所述顶升轴4活动连接。所述丝杆螺母3上设有撞块15。丝杆螺母3上设有撞块15，当升降到达上下限位时，撞块15与行程开关14碰撞接触，发出信号，从而控制丝杆2的提升及下降。所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括基座12，所述基座12套设在所述顶升轴4上。所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括紧固螺钉11，所述顶升轴4通过所述紧固螺钉11与所述轴承座5固定连接。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:包括涡轮丝杆升降机、顶升轴、轴承座、旋转轴、夹持组件及支架，所述涡轮丝杆升降机上设有丝杆，所述丝杆通过将其一端插设在所述顶升轴的一端内与所述顶升轴活动连接，所述顶升轴的另一端通过所述轴承座与所述旋转轴相连接，所述夹持组件位于所述旋转轴一侧，且与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述支架与所述涡轮丝杆升降机相连接。2.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述夹持组件包括夹板及连接座，所述夹板与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述连接座与所述夹板相连接。3.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述轴承座上设有轴承，所述轴承上设有轴承盖。4.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述支架上设有行程开关。5.根据权利要求1至4任一项所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括丝杆螺母，所述丝杆通过所述丝杆螺母与所述顶升轴活动连接。6.根据权利要求5所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述丝杆螺母上设有撞块。7.根据权利要求1至4任一项所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括基座，所述基座套设在所述顶升轴上。8.根据权利要求1至4任一项所述的碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于:所述碳化硅单晶炉的提升旋转机构还包括紧固螺钉，所述顶升轴通过所述紧固螺钉与所述轴承座固定连接。专利摘要本技术涉及一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，包括涡轮丝杆升降机、顶升轴、轴承座、旋转轴、夹持组件及支架，所述涡轮丝杆升降机上设有丝杆，所述丝杆通过将其一端插设在所述顶升轴的一端内与所述顶升轴活动连接，所述顶升轴的另一端通过所述轴承座与所述旋转轴相连接，所述夹持组件位于所述旋转轴一侧，且与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述支架与所述涡轮丝杆升降机相连接。本技术主要依靠涡轮丝杆升降机提供动力，相对于液压机构污染小，便于维护，并且带有失电锁紧功能。文档编号C30B15/00GK203065639SQ20132000574公开日2013年7月17日 申请日期2013年1月6日 优先权日2013年1月6日专利技术者赵梅玉, 陶莹, 高宇,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅单晶炉的提升旋转机构，其特征在于：包括涡轮丝杆升降机、顶升轴、轴承座、旋转轴、夹持组件及支架，所述涡轮丝杆升降机上设有丝杆，所述丝杆通过将其一端插设在所述顶升轴的一端内与所述顶升轴活动连接，所述顶升轴的另一端通过所述轴承座与所述旋转轴相连接，所述夹持组件位于所述旋转轴一侧，且与所述旋转轴的外侧壁相连接，所述支架与所述涡轮丝杆升降机相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵梅玉，陶莹，高宇，段聪，邓树军，
申请(专利权)人：河北同光晶体有限公司，
类型：实用新型
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