用于线锯的线引导件的夹具组件、线锯和晶片锯切系统技术方案

本实用新型专利技术涉及用于线锯的线引导件的夹具组件、线锯和晶片锯切系统。公开了一种夹具组件，其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件。公开了轴侧连接器，其适合于连接到线锯的轴，该轴具有旋转轴线。轴侧连接器包括外表面，其与轴线垂直并且适合于抵靠线引导件的互补连接器的互补外表面。锥表面在外表面与轴线之间，锥表面被绕轴线对称地布置，并且适合于抵靠线引导件的互补表面。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

For wire line guide clamp components, wire and wafer sawing system

The utility model relates to a wire guide line, a wire clamp assembly and wafer sawing system. Disclosed is a clamp assembly for cylindrical wire connected to the wire saw for cutting wafer guide. The shaft side connector is disclosed, which is suitable for connecting to the wire axis, the axis of rotation axis. The shaft side connector includes an outer surface, an outer surface of the complementary connector which is perpendicular to the axis and is suitable for the complementary connector of the wire guide. The conical surface is arranged symmetrically between the outer surface and the axis, and the cone surface is arranged around the axis, and is suitable for the complementary surface of the wire guide.

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例涉及线锯、线引导件和用于线锯的线引导件的夹具组件。本公开具体涉及用于光伏和/或半导体应用的线锯、线引导件和用于光伏和/或半导体的线锯的线引导件的夹具组件。
技术介绍
线锯被用在光伏和/或半导体工业中，其中对于这两种应用，半导体或半导体材料被线锯装置切割。例如，线锯将半导体工件切割为适合于进一步处理的形状，例如，将硅铸块切割为晶片形、砖块形或方形。对于各种应用，晶片或切片具有相对于铸块的截面或直径来说非常小的厚度。晶片因此具有大的柔性，并且可以屈曲或弯曲而与相邻的切片相接触。该柔性对于切割的精确度和平坦性是不期望的，并且可以对于经锯切的切片的表面产生起伏、条纹和不期望的不平整。这些不平整(甚至数个微米)足以使得切片不能够被用于特定应用，诸如许多太阳能和半导体应用。切片的变形可能甚至导致微裂痕和裂痕，特别是在切片连接到它们的支撑部的接合点附近。对半导体铸块切晶片的领域中的问题是如何保持薄切片的均匀，而使薄切片不具有不平整性。该问题被转换为提供切割元件(即，线)和/或影响切割元件(即，线)的位置的线引导件的稳定性。半导体材料制造的经济竞争力受到许多参数影响，例如，生产速度，这必然由操作停工期(诸如替换线锯的部件的时间和维护时间)不利的影响。具体地，将已使用的线和/或线引导件替换为新的件所需的时间不利地影响产量。也需要线、线网和/或线引导件的定位稳定性，以产生期望厚度和厚度均匀性的切割件(具体是晶片)。期望产生均匀地薄的晶片，并且不具有变形和缺陷。本领域中的问题是如何设计这样的线引导夹具组件，该线引导夹具组件能实现线、线网和/或线引导件的位置的精确控制和稳定(以使得能够制造均匀的薄晶片)，并且也能够快速地替换诸如线和/或线引导件的部件(以使得停工期被缩短)。—些另外的/可能的问题是:减小衬底制造设备(诸如线锯和它们的部件)的拥有成本(例如,具有低成本设备、低成本耗材、高系统产量、高机器工作时间)；增加每个处理周期处理的面积(例如，减小每个Wp的处理)；以及保持产品高质量(例如，厚度均匀、没有缺陷)。因此，特别是对于太阳能电池应用，需要成本有效地形成并制造薄的半导体衬底。线引导件(其通常为圆柱形并且绕圆柱轴线旋转)有时被称作为辊、圆筒和线引导圆筒。
技术实现思路
本技术的实施例提供了一种夹具组件，其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件，该夹具组件包括轴侧连接器，其适合于连接到线锯的轴，该轴具有旋转轴线。轴侧连接器包括:外表面，其与轴线垂直并且适合于抵靠线引导件的互补连接器的互补外表面；以及在外表面与轴线之间的锥表面，锥表面被绕轴线对称地布置，并且适合于抵靠线引导件的互补表面。优选地，外表面是平面；外表面的一部分被定位在从轴线到轴侧连接器的径向外边缘的距离的至少65%、70%、75%或80%的距离处；轴侧连接器的锥表面包括可变形材料；夹具组件还包括保持机构，保持机构从液压系统、气压系统、螺纹件或这些项的组合中选择。用在这里的术语“晶片”指的是半导体或光伏晶片。根据另一个实施例，提供了一种夹具组件，其用于将圆柱形线引导件连接到线锯的轴，该线锯适合于切割晶片。轴具有旋转轴线。夹具组件包括:外表面，其与轴线垂直并且适合于抵靠轴的互补连接器的互补外表面；以及在外表面与轴线之间的锥表面，锥表面被绕轴线对称地布置，并且适合于抵靠互补连接器的互补表面。优选地，锥表面被安装到线引导件。根据另一个实施例，公开了一种夹具组件，其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件。该夹具组件包括具有旋转轴线的轴，该轴直接或间接地连接到轴侧连接器。轴侧连接器包括:外表面，其与轴线垂直并且适合于抵靠线引导件的互补连接器的互补外表面；以及在外表面与轴线之间的锥表面，锥表面被绕轴线对称地布置，并且适合于抵靠线引导件的互补表面。根据另一实施例，公开了一种线锯，该线锯具有根据上述实施例中任意一项所述的至少一个夹具组件。根据另一实施例，公开了一种晶片锯切系统，其包括:铸块输入模块；铸块输出模块；两个或更多个线锯切室；以及机器人。每个锯切室包括:两个线引导圆筒，其中，线引导圆筒中的至少一者由根据上述实施例中任意一项所述的夹具组件夹住；至少一个线，其被布置为横跨两个线引导圆筒；支撑台，其被构造为接收单个铸块；以及铸块定位系统，其被构造为将布置在支撑台上的单个铸块向至少一个线推动。机器人被构造为将单个铸块在铸块输入模块、两个或更多个线锯切室的至少一者以及铸块输出室之间传送。此外，本技术的优点、特征、方面和细节将会通过权利要求、说明书和附图变得清楚。实施例也涉及用于执行所公开的方法的设备并且包括用于执行所描述的每个方法步骤的设备部分。这些方法步骤可以通过借助于硬件组件、由合适的硬件编程的计算机、通过这两者的结合或以其他形式来执行。此外，根据本专利技术的实施例也涉及操作所描述的设备的方法。这包括用于执行设备的每个功能的方法步骤。附图说明可以通过参照实施例更具体地理解本专利技术的上述特征，并获得更具体的描述。在下文中描述了涉及实施例的附图:图1示出了根据这里描述的实施例的线锯的线引导和夹具组件；图2示出了根据这里描述的实施例的线锯的线引导和夹具组件；图3示出了根据这里描述的实施例的线引导件和夹具组件的一部分；图4示出了根据这里描述的实施例的线引导件和夹具组件的一部分；图5示出了根据这里描述的实施例的线引导件和夹具组件的一部分；图6示出了根据这里描述的实施例的连接器的图；图7示出了根据这里描述的实施例的连接器的图；图8示出了根据这里描述的实施例的连接器的图；图9示出了根据这里描述的实施例的连接器的图；图10示出了根据这里描述的实施例的线锯的线引导件和夹具组件；图11示出了根据这里描述的实施例的线锯的线引导件和夹具组件；图12示出了根据这里描述的实施例的线引导件和夹具组件的一部分；图13示出了根据这里描述的实施例的线锯的线引导件和夹具组件；图14示出了根据这里描述的实施例的线锯中的夹具组件；图15是根据这里描述的实施例的晶片锯切系统的立体图；图16是根据这里描述的实施例的用在晶片锯切系统中的机器人装置的立体图；和图17是根据这里描述的实施例的晶片锯切系统的立体图。具体实施方式将会具体描述各种实施例，其中的一个或多个示例在附图中示出。每个示例仅由示例的方式提供并且不意味着限制。此外，示出或描述为一个实施例的一部分的特征可以被用在其他实施例上或与其他实施例结合使用，以产生其他实施例。说明书意图包括这种修改和改变。这里，“线锯”、“线锯装置”、“线锯切装置”和“线切割装置”被可互换地使用。这里，术语“锯切”和“切割”被可互换地使用；并且“晶片切割线锯”和“切片机”被可互换地使用。这里，“铸块”可以包括一个或多个分离的半导体块，例如，多个半导体块。这里，“铸块”被广义地使用，以表示在晶片锯切中被锯切的至少一个大块或者未被切割的元件。这里，“半导体”指的是诸如用在光伏工业中的半导体材料。这里，“线引导圆柱”、“引导圆柱”和“圆柱形线引导件”被可互换地使用。这里，线锯可以被用来形成来自大块(诸如铸块、晶锭或块)的不同类型的衬底或晶片，诸如太阳能电池衬底、半导体衬底或其他有用的衬底。这里，“支承件”被用来表示支撑其他部分的机器、部件或结构部分。另外地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹具组件，其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件（321），其特征是，所述夹具组件包括：?轴侧连接器（50、502、505），其适合于连接到线锯的轴，所述轴具有旋转轴线（10），其中，所述轴侧连接器（50、502、505）包括：?外表面（30），其与所述轴线（10）垂直并且适合于抵靠所述线引导件（321）的互补连接器（51、503、504）的互补外表面（31），以及?在所述外表面（30）与所述轴线（10）之间的锥表面（40），所述锥表面（40）被绕所述轴线（10）对称地布置并且适合于抵靠所述线引导件的互补表面（41）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈亚斯·施密特，纪尧姆·麦卡，亚历山大·米塔兹，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：实用新型
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