一种晶圆传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆传送装置，至少包括：一个平台，具有一入口端及一出口端，所述入口端及出口端分别设有一个一体式的轴杆，各该轴杆的两端分别与所述平台连接，所述两轴杆之间以至少一条传送带连接；两个导流板，分别装设于所述平台的两侧并从所述入口端延伸至所述出口端，且各该导流板朝向所述传送带的面为陶瓷面，进一步地，本实用新型专利技术还包括用于调整轴杆位置的调整装置，以及便于维护且能保证轴杆不容易磨损的动力装置。本实用新型专利技术具有以下有益效果：导流挡板表面增加陶瓷，防止卡片；变更皮带出入口端轴杆结构，平衡受力，防止皮带脱落；变更皮带传送模式，由外侧安装皮带，并设计更为合理传送轮组，减少维修时间。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体设备，特别是涉及一种晶圆传送装置。
技术介绍
随着半导体产业化的发展，半导体运营的连续性和稳定性受到了高度的重视。晶圆传送装置是半导体工业进行连续生产必不可少的一种半导体设备。现有的一种晶圆传送装置，其包括一平台101，所述平台包括入口端和出口端；分别连接于平台出口端和入口端的轴杆102，所述轴杆102为分体式的轴杆；两个传送带，横跨所述平台连接于相应的两个轴杆之间；两片导流板，分别装设于所述平台的两侧并从所述入口端延伸至所述出口端。上述的这种晶圆传送装置由于种种原因容易出现故障停机、卡片频繁等问题，导致上述问题的主要原因有:1)导流挡板材质易磨损，造成卡片；2)皮带出入口端支撑结构轴杆为分体式轴杆，其受力不平均，从而容易导致皮带脱落；3)现有的晶圆传送装置的动力装置中，皮带为内侧安装皮带，不易维修，且容易导致轴承磨损。鉴于现有的晶圆传送装置的以上缺点，提供一种稳定的、不容易卡片、便于维护的晶圆传送装置实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种晶圆传送装置，用于解决现有技术中晶圆传送装置在运行过程中容易出现卡片、皮带容易脱落以及不便于维修等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆传送装置，至少包括:一个平台，具有一入口端及一出口端，所述入口端及出口端分别设有一个一体式的轴杆，各该轴杆的两端分别与所述平台连接，所述两轴杆之间以至少一条传送带连接；两个导流板，分别装设于所述平台的两侧并从所述入口端延伸至所述出口端，且各该导流板朝向所述传送带的面为陶瓷面。作为本技术的晶圆传送装置的一种优选方案，所述导流板为陶瓷板。作为本技术的晶圆传送装置的一种优选方案，所述平台与各该轴杆的连接处设有调整装置，所述调整装置一端对应连接于所述轴杆，另一端可经调整并固定于所述平台侧壁的预设位置。进一步地，所述调整装置至少包括:一侧板，所述侧板具有至少一长条形的调整孔，且所述侧板的一端对应连接于所述轴杆；一固定件，所述固定件可通过所述调整孔与所述平台侧壁连接并将所述侧板固定，所述侧板可藉由所述调整孔及所述固定件沿所述平台侧壁进行滑动调整。作为本技术的晶圆传送装置的一种优选方案，所述平台的下方设有支撑结构，所述支撑结构中装设有驱动装置，所述驱动装置包括一马达、装设于所述马达上的驱动轮、一主传动轮及两副传动轮，所述驱动轮与所主传动轮之间以一传动带连接，所述主传动轮与各该副传动轮之间以所述传送带连接。进一步地，所述传送带分别穿过所述两副传动轮的相对的两面。如上所述，本技术提供一种晶圆传送装置，至少包括:一个平台，具有一入口端及一出口端，所述入口端及出口端分别设有一个一体式的轴杆，各该轴杆的两端分别与所述平台连接，所述两轴杆之间以至少一条传送带连接；两个导流板，分别装设于所述平台的两侧并从所述入口端延伸至所述出口端，且各该导流板朝向所述传送带的面为陶瓷面，进一步地，本技术还包括用于调整轴杆位置的调整装置，以及便于维护且能保证轴杆不容易磨损的动力装置。本技术具有以下有益效果:导流挡板表面增加陶瓷，防止卡片；变更皮带出入口端轴杆结构，平衡受力，防止皮带脱落；变更皮带传送模式，由外侧安装皮带，并设计更为合理传送轮组，减少维修时间。附图说明图1显示为现有技术中的一种晶圆传送装置的俯视结构示意图。图2显示为本技术的晶圆传送装置的第一视角(俯视)结构示意图。图3显示为本技术的晶圆传送装置的第二视角(偏左视)所呈现的结构示意图。图4显示为本技术的晶圆传送装置的第三视角(偏右视)所呈现的结构示意图。图5显示为本技术的晶圆传送装置的第四视角(偏仰视)所呈现的结构示意图。`元件标号说明201平台202轴杆203传送带204导流板212调整装置205支撑结构206马达207驱动轮208主传动轮209、210副传动轮211传动带具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图2至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图Τ图5所示，本技术提供一种晶圆传送装置，至少包括:一个平台201，具有一入口端及一出口端，所述入口端及出口端分别设有一个一体式的轴杆202，各该轴杆202的两端分别与所述平台201连接，所述两轴杆202之间以至少一条传送带203连接；两个导流板204，分别装设于所述平台201的两侧并从所述入口端延伸至所述出口端，且各该导流板204朝向所述传送带203的面为陶瓷面。在本实施例中，所述传送带203为两条，间隔连接于所述两轴杆202上。所述轴杆202为刚性材料，如不锈钢、铝合金等金属，或陶瓷、钢化玻璃等材料。所述轴杆202采用一体式的设计，有利于平衡受力，防止皮带脱落。在本实施例中，所述导流板204为陶瓷板。需要说明的是，在其它的实施例中，所述导流板204也可以是金属与陶瓷复合材料、聚合物与陶瓷复合材料等，当然，在其它的实施例中，所述导流板204也可以是其它的材料组成，只需要面向所述传送带203的一面为陶瓷面即可达到本技术所需的技术效果。本技术增在导流板204中增加陶瓷面，可以有效防止晶圆卡片。为了使本技术的晶圆传送装置更能适应传送环境，所述平台201与各该轴杆202的连接处设有调整装置212，所述调整装置212 —端对应连接于所述轴杆202，另一端可经调整并固定于所述平台201侧壁的预设位置。在本实施例中，所述调整装置212至少包括:一侧板，所述侧板具有至少一长条形的调整孔，且所述侧板的一端对应连接于所述轴杆202 ；—固定件，所述固定件可通过所述调整孔与所述平台201侧壁连接并将所述侧板固定，所述侧板可藉由所述调整孔及所述固定件沿所述平台201侧壁进行滑动调整。所述轴杆202可以采用卡接、丝扣连接、螺丝或螺钉等固定件连接等方式连接于所述侧板的一端。在所述轴杆202的位置需要调整时，将固定件(如螺丝等)旋开，然后将所述长条形的调整孔伸缩活动至所需位置，然后将所述固定件旋紧即可。在本实施例中，所述调整装置212为4个，装设于所述平台201的四个侧面端部，在调整时可以同时对4个调整装置212进行调整，也可以只对其中对应的2个调整装置212进行调整。如图:T图5所示，所述平台201的下方设有支撑结构205，所述支撑结构205中装设有驱动装置，所述驱动装置包括一马达206、装设于所述马达206上的驱动轮207、一主传动轮208及两副传动轮209、210，所述驱动轮207与所主传动轮208之间以一传动带2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆传送装置，其特征在于，至少包括：一个平台，具有一入口端及一出口端，所述入口端及出口端分别设有一个一体式的轴杆，各该轴杆的两端分别与所述平台连接，所述两轴杆之间以至少一条传送带连接；两个导流板，分别装设于所述平台的两侧并从所述入口端延伸至所述出口端，且各该导流板朝向所述传送带的面为陶瓷面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王军，殷献勇，刘起武，张琳，
申请(专利权)人：茂迪苏州新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：