研磨用磨具制造技术

提供一种为对板状被削材料进行研磨的研磨用磨具，它不发生研磨不均，并且具有良好的压力响应性。本发明专利技术提供的是在圆筒状的芯材（１）上设置多孔质弹性体（２），在多孔质弹性体（２）的外周上设置了研磨层（４）的研磨用磨具，其中上述多孔质弹性体（２）是橡胶海绵。橡胶海绵（２）的橡胶硬度在橡胶硬度计Ｃ分度上为５～４０，并且回跳弹性率最好为５０～９０％，此外，ＪＩＳ　　Ｋ６７６７规定的２５％压缩载荷值最好为０．０１０～０．２００ＭＰａ。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关用于板状被磨削材料研磨等的研磨用磨具，更详细是有关用于金属板或非金属板研磨等，特别是印刷配线基板研磨的研磨用磨具。
技术介绍
一直以来，作为对印刷配线基板所代表的板状被削材料进行研磨的研磨磨具，众所周知，有特开2001-315054号公报及特开2004-50400号公报所公布的磨具。被用于板状被削材料研磨的磨具，其中一个例子的构成，如附图说明图1所示，在圆筒状的芯材(1)上设置多孔质弹性体(2)，在该多孔质弹性体(2)的外周上介于增强层(3)设置了研磨层(4)。圆筒构件的材质，使用的是例如使酚醛树脂浸渍在纸管上加固的、所谓酚醛管等的即轻且刚性又优异的材质，其外周至少设置一层多孔质弹性体。现在，多孔质弹性体使用的是使合成树脂发泡的海绵材料。此外，根据需要，多孔质弹性体的外周设置了增强层，例如用纤维或金属丝增强的橡胶层，在其上设置研磨层。研磨层，典型的如图2所示，由被切割成块状的磨具片群和使磨具片群粘接而保持的胶片等支撑层构成。图3所示的是使用上述研磨用磨具的研磨作业的一个例子(研磨用磨具用局部剖面表示)。该磨具，由圆筒状的芯材(1)、多孔质弹性体层(2)、以及支撑层3上的磨具片(4)构成，它被安装在研磨用机械的主轴上并被驱动在箭头(11)的方向旋转。被削材料的印刷基板(13)，使之与研磨用磨具相对并被送到顺时针旋转的支承辊(14)上。研磨层(3)的周方向的移动速度，由于远大于工件送进速度，所以被送到研磨层(3)和支承辊(14)之间的印刷基板(13)的表面被研磨处理。专利文献1特开2001-315064号公报专利文献2特开2004-50400号公报
技术实现思路
专利技术需要解决的课题可是，用现有的研磨用磨具研磨的工件的被研磨面，存在着有时可观察到不能容许的磨削不均的问题。其原因可例举有，印刷配线基板所代表的板状被削材料，其表面厚度不均等，存在着波状起伏的凹凸；进而在使用上述支承辊的磨削中，支承辊表面有凹凸。研磨时研磨用磨具的研磨层不能充分跟随板状被削材料的凹凸，沿着其表面残存没有充分进行研磨的地方的话，那么可形成研磨不均，因此，研磨用磨具能够在研磨时跟随板状被削材料的凹凸是很重要的。上述两专利文献的先期专利技术技术中，虽然也考虑了磨削不均的问题，但是措施不充分。在这些先期技术中，特别是通过改善增强层以解决研磨不均问题。此外，实际中对于研磨层部分，通过变更设计，也可以在一定程度上解决研磨不均。但是，即便如此，也不能充分地消除研磨不均。另外，该领域的研磨用磨具，有人还指出了其他问题。研磨时的磨削压力有时变化，这时要求被削材料的除去量随磨削压力的增减成正比增减，即研磨除去量相对磨削压力的响应性(以下称“压力响应性”)应良好。提高磨削压力时，被削材料的除去量如果也不能随之增加的话，那么磨削效率不会提高。本专利技术，鉴于上述的问题，把课题定为提供一种为对板状被削材料进行研磨的研磨用磨具，它不发生研磨不均，并且具有良好的压力响应性。解决课题的手段本专利技术人，在解决上述课题时，着眼于占研磨用磨具大部分断面积的多孔质弹性体的功能进行研究，结果意外发现使用橡胶海绵作为多孔质弹性体很有效，从而完成本专利技术。也就是说，本专利技术提供的研磨用磨具，其特征在于，在圆筒状的芯材上设置多孔质弹性体，在该多孔质弹性体的外周上设置了研磨层，其中上述多孔质弹性体是橡胶海绵。此外，上述橡胶海绵的橡胶硬度在橡胶硬度计C分度上为5～40，并且回跳弹性率最好为50～90％。另外，上述橡胶海绵的JIS K 6767规定的25％压缩载荷值最好为0.010～0.200MPa。专利技术效果本专利技术的研磨用磨具，由于使用橡胶海绵作为上述多孔质弹性体，所以可消除磨削不均，进而提高磨削响应性。一般橡胶海绵，与现有的合成树脂海绵材料相比，虽硬度较小，但回跳弹性率和残存载荷较高。使用具有这种特性倾向的多孔质弹性体的话，将会消除磨削不均，与此同时将有意地提高磨削响应性。附图简单说明图1是表示研磨用磨具大致构成的剖面图。图2是表示研磨用磨具大致构成的俯视图。图3是表示使用研磨用磨具的磨削方法一例的剖面图。图4是表示多孔质弹性体回跳弹性测定方法的概念图。图5是表示多孔质弹性体25％压缩载荷值测定方法的概念图。图6是为制作出凹凸而在背侧粘贴带子的被削材料背面的照片代用图。图7是利用实施例一的磨具进行研磨后的被削材料的照片代用图。图8是利用比较例一的磨具进行研磨后的被削材料的照片代用图。图9是利用比较例二的磨具进行研磨后的被削材料的照片代用图。符号说明1 芯材2 多孔质弹性体3 增强层4 研磨层5 压头6 多孔质弹性体的测试片7 底座8 加压方向(从上向下)9 加压返回方向(从下向上)10 钢球11 主轴旋转方向12 研磨用磨具承受的力13 板状被削材料14 支承辊具体实施方式研磨时要求研磨用磨具即使研磨压较低时也能较多地洼下，即对用于研磨的载荷具有“柔软(软质)”的特性。这样的话，可尽快地适应板状被削物上的凹凸。进而，不仅要考虑软质，而且还要考虑相对载荷应有较高的残存载荷且具有回跳力(高回跳性)。具有某种程度的软质，并提高残存载荷和回跳力的话，那么被削材料上的凹部和凸部的研磨量之差就会消失，从而会均等地研磨。从这个观点，使用橡胶海绵制做磨具构成材料中占较大容积的多孔质弹性体较合适。本专利技术所使用的橡胶海绵，被定义为不会失去作为橡胶特有特性的高的弹性而可通过使橡胶材料发泡获得的多孔质状且比较柔软的橡胶制构件。本专利技术可使用的橡胶海绵，例如包含以下几种A)使主要成分的天然橡胶及丁苯橡胶发泡的橡胶海绵天然橡胶，在结构上为聚异戊间二烯，主要由东南亚栽培的称为三叶胶的橡胶树流出的树液(胶乳)制成。B)使主要成分的氯丁二烯橡胶发泡的橡胶海绵氯丁二烯橡胶，又称为氯丁橡胶，是众所周知的合成橡胶，它是以下一般式(I)所示的氯丁二烯聚合物。化学式1C)使主要成分的乙烯橡胶发泡的橡胶海绵乙烯丙烯橡胶，是乙烯和丙烯或乙烯和丙烯和第三成分的共聚合物，由以下一般式(II)表示。化学式2D)使丁二烯和丙烯腈的共聚合物发泡的橡胶海绵E)使以硅氧烷结合为结构的橡胶发泡的橡胶海绵以上例举了代表性的橡胶海绵，但是并不限于这些，本专利技术中可以使用本行业业者所了解的各种橡胶海绵。以下，与定义一起介绍适合本专利技术的橡胶海绵的特性值。橡胶硬度(软质性)本专利技术的橡胶硬度，被定义为由橡胶硬度计(C分度)测定的橡胶海绵的硬度。回跳弹性率所谓回跳弹性率，是指橡胶海绵的回跳力。本专利技术的回跳弹性率的试验方法，是把JIS K 6255试验方法适用于图4所示的测定方式。(1)准备洛氏硬度测定用的1/4英寸钢球；(2)设置试片； (3)从距试片200mm高的地方落下1/4英寸的钢球；(4)1/4英寸钢球碰到试片，测定回跳的高度；(5)利用计算公式回跳弹性率＝回跳的高度(测定值mm)/落下前的高度(200mm)×100进行计算。25％压缩载荷值所谓压缩载荷值，就是用规定的载荷压缩橡胶海绵时的残存载荷。本专利技术中的25％压缩载荷值，根据JIS K 6767的试验方法定义。也就是说，25％压缩载荷的试验步骤，采用图5所示的测定方式。(1)压缩速度为10mm/min，把橡胶海绵试片压缩至厚度的25％量；(2)保持20秒后，测定载荷(N本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨用磨具，其特征在于，在圆筒状的芯材上设置多孔质弹性体，在该多孔质弹性体的外周上设置了研磨层，其中上述多孔质弹性体是橡胶海绵。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本幸一，相川和也，
申请(专利权)人：吴诺顿株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]