本发明专利技术公开了一种用于微光像增强器光电阴极输入窗的清洁方法，主要用于微光像增强器光电阴极玻璃输入窗和光纤面板输入窗的表面清洁。其主要技术方案是：研制一种采用等离子清洁技术，对像增强器光电阴极输入窗的表面进行清洗，其工艺流程由配制洗涤液、清洗工件、冲洗工件、超声波清洗、再冲洗工件、甩干工件、工件装机、调节氩气压力、等离子清洗、结束程序及检验组成。本发明专利技术通过试用证明：完全达到研制目的，从根本上服原方法工作效率低下，成本高，影响环境等不足。有效地保证了光电阴极的质量，提高效率，完全适应现代微光像增强器大批量生产的需求。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种对电真空器件用的光学玻璃，光纤面板表面清洁的方法，主要用于微光像增强器多碱光电阴极玻璃输入窗和光纤面板输入窗的表面清洁。也可用于类似的光电阴极输入窗的表面清洁。
技术介绍
以微光像增强器为代表的真空光电子器件在国防、科研等行业中有着广泛的应用，在国际国内受到普遍的重视。微光像增强器(见图1)，主要由阴极输入窗、光电阴极、锥电极或微通道板、荧光屏、阳极输出窗等零部件组成。其工作原理:在夜间低照度下，将人眼不能直接看见的景物图像，通过阴极输入窗上的光电阴极转换成相应的光电子图像，光电子图像经过锥电极或微通道板电子倍增器的放大、增强，再经阳极高压加速，由荧光屏转换成亮度足够的光学图像，最后经过阳极输出窗输出，供人眼观看。它的光电阴极的制作需要在超高真空条件下进行，同时要求所要蒸镀的多碱光电阴极玻璃输入窗I或光纤面板输入窗2 (见图2表面的清洁程度相当高，要求达到原子级清洁，即输入窗表面的微量化学物质为零。采用一般的化学或机械清洗，在完成之后，从微观上看，如玻璃输入窗的表面实际上还是存留一部分化学残留物，这样在其表面蒸镀光电阴极时，由于光电阴极膜层生长为一种半导体膜层，因此残留在玻璃表面的微量化学物质就会对光电阴极的结构和性能产生影响，导致光电阴极的技术性能不稳定和技术指标明显下降，严重影响到微光像增强器的质量，因此在像增强器的制造过程中，为了使输入窗表面达到原子级清洁，往往需要对玻璃窗表面进行机械抛光，然后再进行清洗、烘干。由于采用机械抛光的办法，一般只能单件生产，一件一件的抛光。具体的工艺为:将90g氧化铈抛光粉(Cerox 1650)放入纯水中，在温度为20°C的环境下搅拌均匀；调节压缩空气的气压，使抛光头压力约为1.5大气压,根据所要抛光的输入窗的表面调节抛光机的前、后偏心轮,使左右方向的位移相等，调节抛光机的转速为1000转/分钟，调节抛光机定时器的时间；将工件放入抛光卡盘，启动定时器开始抛光，抛光结束之后，取下工件，用纯水清洗干净，然后放入工件托架，并将工件托架放入盛有纯水的不锈钢桶中，重复以上过程直至工件装满工件托架；在工件托架装满之后，再将工件托架放入超声波清洗槽，超声5分钟，取出工件托架，用纯水冲洗工件托架即工件I分钟，之后更换不锈钢桶中的纯水，再次将工件托架放入超声波清洗槽，再超声5分钟；超声结束之后，取出工件托架，再用纯水冲洗I分钟，从工件架上取下一件工件，放入离心甩干机，将工件一件一件甩干，放入培养皿。重复该过程，甩干全部工件并放入培养皿；最后对工件按技术要求进行抽检。利用这种机械抛光的方法对光电阴极输入窗进行清洗，虽然能够达到零件的技术要求。但此种方法耗费时间较长,工作效率低下,成本高,远不适应大批量生产的需求。同时由于使用抛光粉，对环境也产生一定的污染
技术实现思路
本专利技术的主要任务和目的是，根据现行的对微光像增强器多碱光电阴极输入窗表面机械抛光的清洗方法所存在的缺陷，研制一种采用等离子清洁技术，对微光像增强器多碱光电阴极玻璃输入窗和光纤面板输入窗的表面进行清洗，从根本上服原方法只能单件操作，工作效率低下，成本高，影响环境等不足。达到有效地保证光电阴极质量，提高效率，完全适应现代微光像增强器大批量生产的需求。本专利技术的主要技术方案是:对微光像增强器光电阴极玻璃输入窗和光纤面板输入窗表面进行等离子清洗，其工艺流程: A、配制洗涤液。将一定量的洗涤剂放入不锈钢桶中，之后向桶中注入一定量的纯水并进行充分混合，形成洗涤液，纯水与洗涤剂比例为体积比100:1，即浓度为1%; B、清洗工件。手拿干净海绵,沾洗涤液轻轻擦洗工件的外表面,每件工件约数秒钟,之后放入工件托架，重复该过程直至清洗完一批工件； C、冲洗工件。用纯水冲洗工件及工件架I分钟，之后放入装有干净纯水的不锈钢桶中； D、超声波清洗。将不锈钢桶放入超声波清洗槽，超声5分钟； E、再冲洗工件。超声结束之后，取出工件托架，再用纯水冲洗I分钟； F、甩干工件。从工件架上取下一件工件，放入离心甩干机，将工件甩干，放入培养皿。重复该过程，并将甩干工件一一装入专用固定垫中； G、工件装机。将装有工件的专用固定垫装入等离子清洗机的石英管中，关好石英管密封门； H、调节氩气压力。打开氩气减压阀,使输出氩气压力达到0.1MPa ； 1、等离子清洗。启动等离子清洗机运行程序，首先对石英腔体进行抽真空达10—4乇，接着对石英腔体充入氩气，使石英管腔体内的压力控制在10 —2乇，之后启动辉光放电，对工件进行等离子清洗7分钟； J、结束程序。关掉氩气，在石英腔体中充入氮气，当石英腔体中的压力恢复到大气压时，打开石英腔体门，取出专用固定垫，将工件从专用固定垫上一一取出，放入培养皿中； K、检验。根据批次和数量，对工件进行抽检，用针筒将纯水滴在工件表面，纯水迅速散开或散开消失，说明工件合格，如果纯水仍然保持水滴的形状不会散开，则工件不合格，说明工件表面存在一层化学残留物和其它杂质。若出现不合格的现象需加倍抽检或进行全部检验，将不合格的工件(4)按工序重新清洁。本专利技术通过试用证明:完全达到研制目的，与传统的机械抛光清洗方法相比，效率提高了 5倍以上，成本降低了 70%，对环境无污染，工件在该道工序的合格率基本上达到100%，完全适应大批量生产的需求。为我公司乃至该行业内解决了一大技术难题。附图说明 下面结合附图，对本专利技术作进一步详细地描述。图1，是微光像增强器的主要结构示意图。图2，是微光像增强器的多碱光电阴极光纤面板输入窗示意图。图3，是本专利技术的工艺流程图。图4，是本专利技术专用固定垫3及工件4的安装位置结构示意图。具体实施例方式 参照图1、2、3、4，对本专利技术的主要技术方案进行说明:微光像增强器光电阴极玻璃输入窗I和光纤面板输入窗2的表面进行等离子清洗，其具体工艺流程同上。所述的等离子清洗机为:⑶R-1OPR型，主要参数:频率13.56MHz，功率300W，市场可购置；洗涤剂为:RBS_25型浓缩中性洗涤剂，市场可购置；超声波清洗机为:1012S型，市场可购置；专用固定垫3(见图4):根据等离子清洗的特点自行设计的安装工具，其结构由台阶柱(3-2)在底板(3-1)面上，按工件4 (输入窗)的外径大小排列组装而成。权利要求1.，含工序C冲洗工件、D超声波清洗、E再冲洗工件、F甩干工件，其特征在于:微光像增强器光电阴极玻璃输入窗(I)和光纤面板输入窗(2)的表面进行等离子清洗的具体工艺流程: A、配制洗涤液，将一定量的洗涤剂放入不锈钢桶中，之后向桶中注入一定量的纯水并进行充分混合，形成洗涤液，纯水与洗涤剂比例为体积比100:1，即浓度为1% ； B、清洗工件，手拿干净海绵，沾洗涤液轻轻擦洗工件(4)的外表面，每件工件约数秒钟，之后放入工件托架，重复该过程直至清洗完一批工件； C、冲洗工件，用纯水冲洗工件(4)及工件架I分钟，之后放入装有干净纯水的不锈钢桶中； D、超声波清洗，将不锈钢桶放入超声波清洗槽，超声5分钟； E、再冲洗工件，超声结束之后，取出工件托架，再用纯水冲洗I分钟； F、甩干工件，从工件架上取下一件工件(4)，放入离心甩干机，将工件甩干，放入培养皿，重复该过程，并将甩干工件一一装入专用固定垫(3本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于微光像增强器光电阴极输入窗的清洁方法，含工序C冲洗工件、D超声波清洗、E再冲洗工件、F甩干工件，其特征在于：微光像增强器光电阴极玻璃输入窗（1）和光纤面板输入窗（2）的表面进行等离子清洗的具体工艺流程：A、配制洗涤液，将一定量的洗涤剂放入不锈钢桶中，之后向桶中注入一定量的纯水并进行充分混合，形成洗涤液，纯水与洗涤剂比例为体积比100：1，即浓度为1%；B、清洗工件，手拿干净海绵，沾洗涤液轻轻擦洗工件（4）的外表面，每件工件约数秒钟，之后放入工件托架，重复该过程直至清洗完一批工件；C、冲洗工件，用纯水冲洗工件（4）及工件架1分钟，之后放入装有干净纯水的不锈钢桶中；D、超声波清洗，将不锈钢桶放入超声波清洗槽，超声5分钟；E、再冲洗工件，超声结束之后，取出工件托架，再用纯水冲洗1分钟；??F、甩干工件，从工件架上取下一件工件（4），放入离心甩干机，将工件甩干，放入培养皿，重复该过程，并将甩干工件一一装入专用固定垫（3）中；G、工件装机，将装有工件（4）的专用固定垫（3）装入等离子清洗机的石英管中，关好石英管密封门；H、调节氩气压力，打开氩气减压阀，使输出氩气压力达到0.1MPa；I、等离子清洗，启动等离子清洗机运行程序，首先对石英腔体进行抽真空达10－4乇，接着对石英腔体充入氩气，使石英管腔体内的压力控制在10－2乇，之后启动辉光放电，对工件（4）进行等离子清洗7分钟；J、结束程序，关掉氩气，在石英腔体中充入氮气，当石英腔体中的压力恢复到大气压时，打开石英腔体门，取出专用固定垫（3），将工件（4）从专用固定垫（3）上一一取出，放入培养皿中；K、检验，根据批次和数量，对工件（4）进行抽检，用针筒将纯水滴在工件表面，纯水迅速散开或散开消失，说明工件合格，如果纯水仍然保持水滴的形状不会散开，则工件不合格，说明工件表面存在一层化学残留物和其它杂质，若出现不合格的现象需加倍抽检或进行全部检验，将不合格的工件（4）按工序重新清洁。...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李晓峰，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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