本实用新型专利技术提供一种防止显影液与空气反应的装置，黄光显影制成中对于线宽的控制尤为重要，而线宽不但与显影液的浓度有关，还和其中的碳酸根含量有较大的关系，故于TMAH喷嘴下方设计一组显影液接收装置，每当喷嘴做预喷吐前，该接收装置会先行上升套住TMAH喷嘴，之后喷嘴方开始进行喷吐，而所有喷出的药液会返回到制程显影液槽中，进行回收再使用，本实用新型专利技术用于避免TMAH喷出时与腔室中的空气过多的接触而导致碳酸根的浓度上升，有效的抑制碳酸根生成来达到稳定的线宽控制及较高之回收率效益。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及LTPS黄光微影制程中对于线宽控制稳定性及显影液回收率提升问题的改进，具体涉及一种防止显影液与空气反应的装置。
技术介绍
现有黄光显影制成设备包括设置于腔体内的显影液喷嘴，供给显影液的管路，以及回收腔体内显影液的显影液槽。工作时，显影液通过喷嘴喷出，作用到基板，多余的显影液通过连接于腔体与显影液槽之间的管路汇集到显影液槽。黄光显影制成中对于线宽的控制尤为重要，而线宽不但与显影液的浓度有关，还和其中的碳酸根含量有较大的关系，碳酸根由空气中的CO2和显影液的成分TMAH (四甲基氢氧化铵)反应生成，经由实验验证证明碳酸根浓度变化会直接影响到TMAH浓度下降，从而影响显影能力。为了精确的控制线宽也进一步修改了软体来改善，但新软体是依照碳酸根浓度上升比例进行TMAH浓度的提升补正，因此对于回收率除了机台正常排除之外，制成液槽的改善重点在于如何防止碳酸根浓度的提高来避免TMAH浓度的相对提升。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种防止显影液与空气反应的装置，该装置用于解决TMAH喷出时与腔体中的空气过多接触而导致碳酸根的浓度上升的问题。为达到上述目的，本技术采用了以下技术方案。包括设置于腔体内的将显影液喷嘴以及基板与腔体分隔的显影液接收装置。所述显影液接收装置包括设置于显影液喷嘴下方的可以上下运动的收集槽，收集槽的开口与显影液喷嘴相对，收集槽上设置有导管，收集槽通过导管与设置于腔体外的显影液槽相连通。所述收集槽与设置于腔体内的升降装置相连。所述导管可伸缩。所述显影液喷嘴与显影液槽之间连接有输液管路，输液管路上设置有输液泵。本技术所述防止显影液与空气反应的装置在显影液喷嘴下方设计一组显影液接收装置，当显影液喷嘴做预喷吐前，显影液接收装置的收集槽上升套住显影液喷嘴，之后显影液喷嘴方开始进行显影液的喷吐，而所有喷出的药液通过导管返回到显影液槽，进行回收再使用，本技术的优点在于显著的减少了显影液与腔体内空气的接触，有效的抑制了碳酸根生成，达到了实现稳定线宽控制以及提高显影液回收率的效果。附图说明图1为本技术的结构示意图；图1中:显影液喷嘴1，收集槽2，显影液槽3，导管4，升降装置5，输液管路6，输液泵7，基板8，腔体9。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术作进一步说明。参见图1，本技术包括设置于腔体9内的将显影液喷嘴I以及基板8与腔体9分隔的显影液接收装置，所述显影液接收装置包括设置于显影液喷嘴I下方的可以上下运动的收集槽2，所述收集槽2与设置于腔体9内的升降装置5相连，收集槽2的开口与显影液喷嘴I相对，收集槽2上设置有导管4，收集槽2通过导管4与设置于腔体9外的显影液槽3相连通，所述导管4可伸缩，所述显影液喷嘴I与显影液槽3之间连接有输液管路6，输液管路6上设置有输液泵7。本技术的工作原理如下:当显影液喷嘴I做预喷吐时，收集槽2在升降装置5驱动下自动上升，收集槽2的开口套住显影液喷嘴1，之后显影液喷嘴I方开始进行显影液的喷吐，显影液喷出后作用于基板8上，然后喷出的显影液直接承接于收集槽2中并通过导管4汇流到显影液槽3中进行回收，当需要对下一个基板进行操作时，升降装置5驱动收集槽2下降，已经喷射过显影液的基板向前传送离开显影液喷嘴I下方，位于后面的基板移至显影液喷嘴I下方，显影液喷嘴I再次做预喷吐。显影液槽3中的显影液可以通过输液泵7经输液管路6送入显影液喷嘴I。实施例在显影液喷嘴下方安装一个可上/下运动的显影液承接装置，当喷嘴做预喷吐时，承接装置自动上升，将预喷吐喷出的显影液直接承接并回流到显影液槽，避免其与空气发生接触；使用此装置一周时间，并实时检测线宽与显影液浓度、碳酸根浓度间的关系；将此装置关闭一周时间，再实时监测线宽与显影液浓度、碳酸根浓度间的关系；将两组数据对比即可看出空气中的CO2与线宽的关系，然后再通过详细的计算，得出确切参数，在软体上进行相应改动，就可最大限度减少CO2对于线宽的影响。以上内容只是结合具体的实施方式来进一步详细说明本专利技术创造，不能认定本专利技术创造的具体实施方式仅限于此，再不脱离本专利技术创造构思的前提下，还可以做若干的推演和转换，都应视为属于本专利技术创造提出的权利要求所确定的专利保护范畴。权利要求1.一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于:包括设置于腔体(9)内的将显影液喷嘴(I)以及基板(8)与腔体(9)分隔的显影液接收装置。2.根据权利要求1所述一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于:所述显影液接收装置包括设置于显影液喷嘴(I)下方的可以上下运动的收集槽(2)，收集槽(2)的开口与显影液喷嘴(I)相对，收集槽(2)上设置有导管(4)，收集槽(2)通过导管(4)与设置于腔体(9)外的显影液槽(3)相连通。3.根据权利要求2所述一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于:所述收集槽(2)与设置于腔体(9)内的升降装置(5)相连。4.根据权利要求2所述一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于:所述导管(4)可伸缩。5.根据权利要求2所述一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于:所述显影液喷嘴(I)与显影液槽(3)之间连接有输液管路(6)，输液管路(6)上设置有输液泵(7)。专利摘要本技术提供一种防止显影液与空气反应的装置，黄光显影制成中对于线宽的控制尤为重要，而线宽不但与显影液的浓度有关，还和其中的碳酸根含量有较大的关系，故于TMAH喷嘴下方设计一组显影液接收装置，每当喷嘴做预喷吐前，该接收装置会先行上升套住TMAH喷嘴，之后喷嘴方开始进行喷吐，而所有喷出的药液会返回到制程显影液槽中，进行回收再使用，本技术用于避免TMAH喷出时与腔室中的空气过多的接触而导致碳酸根的浓度上升，有效的抑制碳酸根生成来达到稳定的线宽控制及较高之回收率效益。文档编号G03F7/30GK203037994SQ20122066059公开日2013年7月3日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日专利技术者史祥 申请人:彩虹(佛山)平板显示有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种防止显影液与空气反应的装置，其特征在于：包括设置于腔体（9）内的将显影液喷嘴（1）以及基板（8）与腔体（9）分隔的显影液接收装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：史祥，
申请(专利权)人：彩虹佛山平板显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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