本发明专利技术涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述水夹层（4）内从上到下交错布置有若干栅板（5），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（10），所述镁棒接口（10）与水夹层（4）相连通。这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口中插入镁棒后将与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，属于单晶硅的生产制造设备领域。
技术介绍
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。现有的单晶硅制造设备为单晶炉，其主要包括炉底、上炉体、下炉体、炉盖、隔离阀和副炉六大部分组成。以往的直拉式单晶炉的下炉体只有单层炉壁，而单晶炉工作过程中炉体部分长时间处于高温状态，所以炉壁很容易损坏，从而影响了下炉体的使用寿命。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述不足，提供一种热量能被有效吸收，炉壁不易损坏，使用寿命较长的单晶炉下炉体。本专利技术的目的是这样实现的: 本专利技术直拉式单晶炉的下炉体，包括下炉体本体，所述下炉体本体包括内壁和外壁，所述内壁和外壁之间设有水夹层，所述水夹层内从上到下交错布置有若干栅板，相邻的两块栅板中，一块栅板的一端固定在内壁上，另一端与外壁之间留有间隙，而另一块栅板一端固定在外壁上，另一端与内壁之间留有间隙，所述外壁上开设有与水夹层相连通的进水口和出水口，所述内壁和外壁的上下两端分别连有上法兰和下法兰，所述外壁上开设有镁棒接口，所述镁棒接口与水夹层相连通。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是: 这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以增加水的停留时间，并且增加了水与内壁和外壁的接触面，提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口与内壁与外壁之间的水夹层相连通，镁棒接口中插入镁棒后，将代替内壁和外壁上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。附图说明图1为本专利技术直拉式单晶炉的下炉体的结构示意图。其中:下炉体本体1、内壁2、外壁3、水夹层4、栅板5、进水口 6、出水口 7、上法兰8、下法兰9、镁棒接口 10。具体实施方式参见图1，本专利技术涉及的直拉式单晶炉的 下炉体，它包括下炉体本体1，所述下炉体本体I包括内壁2和外壁3，所述内壁2和外壁3之间设有水夹层4，所述水夹层4中通入自来水用于对下炉体降温，所述水夹层4内从上到下交错布置有若干栅板5，相邻的两块栅板5中，一块栅板5的一端固定在内壁2上,另一端与外壁3之间留有间隙,而另一块栅板5 —端固定在外壁3上，另一端与内壁2之间留有间隙，所述外壁3上开设有与水夹层4相连通的进水口 6和出水口 7，所述内壁2和外壁3的上下两端分别连有上法兰8和下法兰9，所述外壁3上开设有镁棒接口 10，所述镁棒接口 10与水夹层4相连通，镁棒接口 10中插入镁棒后，将代替内壁2和外壁3上的铁与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。由于水夹层4内设有交错布置的栅板5，可以增加水的停留时间，并且增加了水与内壁2和外壁3的接触面， 提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏。权利要求1.一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于:它包括下炉体本体(1)，所述下炉体本体(I)包括内壁(2)和外壁(3)，所述内壁(2)和外壁(3)之间设有水夹层(4)，所述水夹层(4)内从上到下交错布置有若干栅板(5)，相邻的两块栅板(5)中，一块栅板(5)的一端固定在内壁(2)上，另一端与外壁(3)之间留有间隙，而另一块栅板(5) —端固定在外壁(3)上，另一端与内壁(2)之间留有间隙，所述外壁(3)上开设有与水夹层(4)相连通的进水口(6)和出水口( 7 )，所述内壁(2 )和外壁(3 )的上下两端分别连有上法兰(8 )和下法兰(9 )，所述外壁(3) 上开设有镁棒接口(10)，所述镁棒接口(10)与水夹层(4)相连通。全文摘要本专利技术涉及一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于它包括下炉体本体(1)，所述下炉体本体(1)包括内壁(2)和外壁(3)，所述内壁(2)和外壁(3)之间设有水夹层(4)，所述水夹层(4)内从上到下交错布置有若干栅板(5)，所述内壁(2)和外壁(3)的上下两端分别连有上法兰(8)和下法兰(9)，所述外壁(3)上开设有镁棒接口(10)，所述镁棒接口(10)与水夹层(4)相连通。这种直拉式单晶炉的下炉体在水夹层内设有交错布置的栅板，可以提高了冷却降温的效果，从而有效吸收热量，使炉壁不易损坏，并且外壁上开设了镁棒接口，镁棒接口中插入镁棒后将与自来水中的氯离子发生反应，使得氯离子不会对炉壁产生腐蚀。文档编号C30B15/00GK103184507SQ20111045559公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日专利技术者汤仁兴 申请人:汤仁兴本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种直拉式单晶炉的下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）包括内壁（2）和外壁（3），所述内壁（2）和外壁（3）之间设有水夹层（4），所述水夹层（4）内从上到下交错布置有若干栅板（5），相邻的两块栅板（5）中，一块栅板（5）的一端固定在内壁（2）上，另一端与外壁（3）之间留有间隙，而另一块栅板（5）一端固定在外壁（3）上，另一端与内壁（2）之间留有间隙，所述外壁（3）上开设有与水夹层（4）相连通的进水口（6）和出水口（7），所述内壁（2）和外壁（3）的上下两端分别连有上法兰（8）和下法兰（9），所述外壁（3）上开设有镁棒接口（10），所述镁棒接口（10）与水夹层（4）相连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：汤仁兴，
申请(专利权)人：汤仁兴，
类型：发明
国别省市：
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