物品保管设备以及物品保管方法技术

本发明专利技术的物品保管设备具备：相对于多个收纳部运送运送容器的运送装置，控制装置，以及检测惰性气体相对于多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置。控制装置基于供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对多个收纳部进行管理。控制装置执行退避用运送处理，将收纳在从许可收纳部切换成禁止收纳部的收纳部中的运送容器向许可收纳部运送。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，以及控制上述运送装置的动作的控制装置。
技术介绍
在日本国特开2010-182747号公报(专利文献I)中公开了上述这种物品保管设备的一例。装备在专利文献I的物品保管设备上的带洁净功能的物品保管架具备多个收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的收纳部，通过惰性气体供给路径向该收纳部的每一个供给例如氮气或氩气等惰性气体，并通过排放部将该惰性气体向运送容器的内部排放。在上述专利文献I中，在将运送容器收纳在收纳部中后，从排放部向运送容器的内部排放惰性气体，将不利于基板的氧气或水蒸气等从运送容器内排出，使收纳在收纳部中的运送容器为内部被惰性气体充满的状态。这样一来，抑制了产生收容在运送容器中的基板的氧化等不良情况。但是，在上述专利文献I的物品保管设备中，即使在由于惰性气体供给路径的破损或设在惰性气体供给路径的中途的压力调整阀等仪器的故障，不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，运送容器收纳在该收纳部中的状态也继续。因此，在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于外气向运送容器内流入等而运送容器内的环境恶化，存在运送容器内的基板上产生不良情况的可能性。
技术实现思路
鉴于上述背景，希望实现即使在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，也能够将收纳在该收纳部中的运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然的物品保管设备。本专利技术所涉及的物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，控制上述运送装置的动作的控制装置，以及检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置，其中，上述控制装置构成为，基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对上述多个收纳部进行管理，并且执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为上述许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。根据上述结构，通过在将运送容器向收纳部收纳时选择许可收纳部，能够恰当地向收纳的运送容器内供给惰性气体。而且，在因惰性气体供给路径的破损或设在惰性气体供给路径中途的压力调整阀等仪器的故障而发生了向收纳部供给的惰性气体比适当供给量减少的事态，或者惰性气体完全不向收纳部供给的事态的情况下，该收纳部从许可收纳部切换成禁止收纳部。并且收纳在切换成禁止收纳部的收纳部中的运送容器通过退避用运送处理的执行而向作为许可收纳部进行管理的其它收纳部运送。这样，即使不再能够相对于收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于能够将收纳在该收纳部中的运送容器向许可收纳部运送，向该许可收纳部恰当地供给惰性气体，所以能够将该运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然。本专利技术所涉及的物品保管设备的技术特征也能够适用于物品保管方法，本专利技术也能够将这种方法作为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够得到上述物品保管设备所涉及的作用和效果。S卩，本专利技术所涉及的物品保管方法利用如下的物品保管设备，该物品保管设备具备:收纳收容基板的运送容器多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，控制上述运送装置的动作的控制装置，以及检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置，其中，包括由上述控制装置执行的以下的工序:收纳部管理工序，基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对上述多个收纳部进行管理，以及退避用运送处理工序，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。 以下，对本专利技术的优选实施方式的例子进行说明。在本专利技术所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述多个收纳部被区分成多个区域，作为上述供给状态检测装置，设有进行惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置，上述控制装置构成为，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行上述供给状态判定，将属于判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。例如，可考虑由供给状态检测装置将多个收纳部全部汇总而检测惰性气体的供给状态。在这种情况下，当检测出未恰当地供给惰性气体之际，多个收纳部全部被作为禁止收纳部进行管理。相对于此，根据上述结构，由于由区域用供给状态检测装置以区域的单位检测惰性气体相对于多个收纳部的供给状态，所以能够仅将属于未恰当地供给惰性气体的区域的收纳部作为禁止收纳部进行管理。因此，即使在不再恰当地供给惰性气体的情况下，只要其仅影响一部分的区域，则能够仅将属于存在该影响的区域的收纳部作为禁止收纳部进行管理，将属于没有影响的区域的收纳部作为许可收纳部进行管理。因此，能够防止多个收纳部全部被作为禁止收纳部进行管理。在本专利技术所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述惰性气体供给路径具备:将惰性气体向上述多个区域的每一个分支供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，设有压力调整装置，其设在上述区域用供给部分和多个上述收纳部用供给部分的连接部位的每一部位，调整上述收纳部用供给部分的惰性气体的压力，作为上述区域用供给状态检测装置，设有检测上述多个收纳部用供给部分的每一部分的惰性气体的压力的压力检测装置，上述控制装置构成为，作为上述供给状态判定，进行基于上述压力检测装置的检测信息，相对于被上述压力调整装置调整后的压力是否由上述压力检测装置检测出异常的压力的判定，将属于与检测出异常的压力的上述区域用供给部分相对应的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。根据上述结构，在压力调整装置产生故障，相对于被压力调整装置调整后的压力，由压力检测装置检测出异常的压力的情况下，判定为相对于经由该压力调整装置被供给惰性气体的收纳部未恰当地供给惰性气体，属于与该检测出异常的压力的区域用供给部分相对应的区域的收纳部全部被作为禁止收纳部进行管理。并且收纳在切换成禁止收纳部的收纳部中的运送容器通过退避用运送处理的执行而向被作为许可收纳部进行管理的其它收纳部运送。因此，能够将收纳在收纳部中的运本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，以及控制上述运送装置的动作的控制装置，其特征在于，还具备检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置，上述控制装置构成为，基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对上述多个收纳部进行管理，并且执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为上述许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。

【技术特征摘要】
2011.12.26 JP 2011-2842561.一种物品保管设备，具备:收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，以及控制上述运送装置的动作的控制装置，其特征在于， 还具备检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置， 上述控制装置构成为， 基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部,对上述多个收纳部进行管理,并且 执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为上述许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。2.如权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于， 上述多个收纳部被区分成多个区域， 作为上述供给状态检测装置，设有进行惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置， 上述控制装置构成为，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行上述供给状态判定，将属于判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。3.如权利要求2 所述的物品保管设备，其特征在于， 上述惰性气体供给路径具备:将惰性气体向上述多个区域的每一个分支供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分， 设有压力调整装置，其设在上述区域用供给部分和多个上述收纳部用供给部分的连接部位的每一部位,调整上述收纳部用供给部分的惰性气体的压力， 作为上述区域用供给状态检测装置，设有检测上述多个收纳部用供给部分的每一部分的惰性气体的压力的压力检测装置， 上述控制装置构成为，作为上述供给状态判定，进行基于上述压力检测装置的检测信息，相对于被上述压力调整装置调整后的压力是否由上述压力检测装置检测出异常的压力的判定，将属于与检测出异常的压力的上述区域用供给部分相对应的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。4.如权利要求2或3所述的物品保管设备，其特征在于， 上述惰性气体供给路径具备将惰性气体向上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分， 设有流量调整装置和中转装置，流量调整装置设在上述收纳部用供给部分和上述排放部的连接部位的每一部位、调整向上述排放部供给的惰性气体的流量，中转装置中转上述控制装置以及属于上述区域的多个上述流量调整装置之间的通信， 作为上述区域用供给状态检测装置，设有检测上述中转装置的异常的中转异常检测装置， 上述控制装置构成为， 经由上述中转装置控制上述流量调整装置的动作，并且 作为上述供给状态判定，进行基于上述中转异常检测装置的检测信息，是否由上述中转异常检测装置检测出异常的判定，将属于与检测出异常的上述中转装置相对应的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理。5.如权利要求1至3中任一项所述的物品保管设备，其特征在于， 作为上述供给状态检测装置，设有检测惰性气体相对于上述多个收纳部的每一个的供给状态的收纳部用供给状态检测装置， 上述控制装置构成为，基于上述收纳部用供给状态检测装置的检测信息进行上述供给状态判定，将判定为未恰当地供给惰性气体的上述收纳部作为上述禁止收纳部进行管理。6.如权利要求5所述的物品保管设备，其特征在于， 上述多个收纳部被区分成多个区域， 作为上述供给状态检测装置，除了上述收纳部用供给状态检测装置之外，还设有检测惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置， 上述控制装置构成为，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行上述供给状态判定，将属于判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域的上述收纳部全部作为上述禁止收纳部进行管理，并且作为上述退避用运送处理，优先将收纳在基于上述收纳部用供给状态检测装置的检测信息判定为未恰当地供给惰性气体的上述收纳部中的上述运送容器向上述许可收纳部运送。7.如权利要求5所述的物品保管设备，其特征在于， 上述惰性气体供给路径具备向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的收纳部用供给部分， 设在上述收纳部用供给部分和上述排放部的连接部位的每一部位的流通调整装置，能够调整向上述排放部供给的惰性气体的流量， 作为上述收纳部用供给状态检测装置，设有检测上述流通调整装置的异常的流通异常检测装置， 上述控制装置构成为，作为上述供给状态判定，进行基于上述流通异常检测装置的检测信息，是否由上述流通异常检测装置检测出异常的判定，将经由检测出异常的上述流通调整装置被供给惰性气体的上述收纳部作为上述禁止收纳部进行管理。8.一种利用物品保管设备的物品保管方法，其特征在于， 上述物...

【专利技术属性】
技术研发人员：高原正裕，上田俊人，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：