抗静电板及包含其的工作平台组件制造技术

本发明专利技术披露一种抗静电板及包含其的工作平台组件，抗静电板插设于一工作平台及待设置于工作平台上的一加工物件之间，以避免加工物件的电气化，所述抗静电板包括一多孔板、一中间层、以及一静电放电披覆层，其中，多孔板具有多孔性，中间层由高分子混合树脂所构成并形成于多孔板之至少一表面上，静电放电披覆层设置于中间层上并包括多个纳米碳管。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种工作平台，特别涉及一种应用于半导体制成设备、显示装置或测试装置等需要抗静电处理的工作平台。
技术介绍
在进行半导体制程时，晶圆基板设置于一工作平台上，而工作平台通常是由金属材料所构成，因此，在进行半导体制程的过程中，在工作平台与晶圆基板之间会产生静电摩擦。此外，在制造平面显示器的点胶机或刻线机中，显示基板通常是以真空吸附方式设置于工作平台上，此工作平台也通常是由金属材料所构成，如铝，因此，当设置显示基板于工作平台时或当将显示基板从工作平台上移除时，工作平台上会产生静电，因此显示基板会被电气化。近年来，由于显示基板越来越大，所产生的电荷量亦随之增加，因此静电问题亦随着越来越严重。在晶圆基板或显示基板上会设置许多电子元件，如半导体装置，因此，静电可能流至这些电子元件并传送至其内部电路，而产生静电时所导致的静电电气化会对这些电子元件的可靠度造成毁灭性的破坏。再者，基板上可能吸附颗粒，而且在提起基板时，可能会导致基板因静电电气化而破裂。在现有技术中，可以在工作平台上设置一静电消除机以电气化电位，藉以防止静电电气化；然而，在这种情况下，可能无法提起基板，否则离子风流可能无法顺利吹至目的地，而且，即使可以顺利提起基板，在离子风流吹至需要修除静电处之前，也可能产生静电放电的问题。为解决上述问题，可以利用氟塑料涂布(或称铁氟龙涂布)作为工作平台的抗静电处理，由于氟塑料与其他材料的黏着力较低，且具有优异的无黏着力特性及较低的摩擦系数，因此其与玻璃基板具有较弱的连结关系，进而可以有效降低分离基板时产生的静电。一般而言，氟具有电性隔离特性，因此在铁氟龙涂布中可以将电气化材料加入氟中，也即在电镀工作平台之后，进行铁氟龙涂布，藉以避免在工作平台上产生静电。然而，铁氟龙涂布相对较昂贵，特别是针对显示基板越来越大的情况下，工作平台的尺寸亦随之增大，因此，其制造成本亦大幅增加。另外，氟本身的硬度较低，所以由氟所构成的涂布层的硬度相对较低，故容易在其上形成刮痕而此刮痕处不容易保持平坦，且可能会形成颗粒。此外，由于氟具有电性隔离特性，所以还必须添加填充剂，如碳黑或导电高分子，藉以提供抗静电的表面电阻；然而由于碳黑为圆形，所以会产生灰尘，而导电高分子的溶剂耐度较弱，需要较大量的黏结剂，且不容易形成薄膜。除此之外，利用烧结超高分子量聚乙烯粉末以形成一超高分子量多孔膜，其可以应用于刻线机的抗静电；然而，此超高分子量多孔膜的吸振能力较弱，因此加工物件可能会容易受损，而且超高分子量多孔膜其的强度较低，所以其耐受度较低。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术的目的提供一种抗静电板以及包括抗静电板而具抗静电处理的工作平台，其能够减少在工作平台与基板的相对表面上产生的静电，降低制造成本，适当地调整表面电阻，及较低的摩擦系数与较高的抗磨损度。本专利技术的另一目的提供一种抗静电板以及包括抗静电板的具抗静电处理的工作平台组件，其具有优异的吸振能力。本专利技术披露一种抗静电板，其包括一多孔板、一中间层以及一静电放电披覆层。其中，多孔板具有多孔性，中间层由高分子混合树脂所构成并形成于多孔板的至少一侧面上，静电放电披覆层设置于中间层上并包括多个纳米碳管。抗静电板可还包括一初始层，其用以增加静电放电披覆层与中间层之间的黏着力，其中，初始层通过涂布一初始披覆剂于中间层上并使其硬化而形成，初始披覆剂通过混合氯化聚烯烃及改性橡胶于一溶剂中而形成，溶剂包括甲苯及二甲苯。抗静电板可还包括一电晕处理层，其通过电晕处理中间层而形成于静电放电披覆层与中间层之间。静电放电披覆层通过涂布一静电放电披覆剂而形成，其中，静电放电披覆剂包括一溶剂、一树脂以及多个纳米碳管；树脂混合加入溶剂中，并包括苯氧基树脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修饰乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇缩丁醛至少其中之一，其中树脂占静电放电披覆剂的重量百分比的10至20%，纳米碳管占静电放电披覆剂的重量百分比的0.1至5%。其中，静电放电披覆层的表面电阻为IO6 liTQ/sq。多孔板为一不织布纤维板，其中不织布纤维板的原料纤维为聚对苯二甲酸乙二酯合成纤维。另外，本专利技术也披露一种工作平台组件，其包括一工作平台以及一抗静电板；其中，工作平台具有金属制的至少一表面，且设置有多个黏着孔，其利用真空吸附以固定一加工物件，抗静电板具有前述的结构，并设置于工作平台的该表面上。其中，多孔板覆盖工作平台的设有黏着孔的上表面及部分侧面，另外，工作平台可还包括一黏着剂，其用以将多孔板的一端固定于工作平台的侧面。其中，多孔板为一不织布纤维板，其原料纤维为聚对苯二甲酸乙二酯合成纤维。其中，不织布纤维板的空气穿透率为80 160cm3/cm2.S。承上所述，本专利技术在工作平台上涂布具有纳米碳管的抗静电剂，因此能够降低工作平台的摩擦系数，提供优异的耐磨度，并改善其耐用度。此外，本专利技术采用不织布纤维板，其具有优异的多孔性及弹性，藉以提供良好的吸振效果，因此能够避免破坏加工物件。附图说明图1为本专利技术一示例性实施例的工作平台组件的一分解图；图2为沿着图1所示的线I1-1I的一剖面图；图3为本专利技术的一抗静电板的一剖面图4为图3的一变化态样的示意图；图5为图3及图4的一变化态样的示意图；图6为本专利技术的抗静电板的表面的显微镜照片；以及图7a及图7b为本专利技术的抗静电板的剖面图，其显示抗静电板的制造方法的步骤。主要元件符号说明1:工作平台10、20:抗静电板(纳米碳管多孔板)11:多孔板12:连结层13:中间层14:初始层15、15a、15b:静电放电披覆层24:电晕处理层5:黏着孔90:黏着剂130:复合层g:加工物件具体实施例方式以下将参照相关图式，说明依本专利技术优选实施例的一种抗静电板及包含其的工作平台组件，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。需注意者，当本文提到一元件“连接”或“耦接”另一元件时，其可以直接连接或耦接两个元件，或通过一中间元件而达成；相反地，当本文提到一元件“直接连接”或“直接耦接”另一元件时，则不存在有任何中间元件。图1为本专利技术一示例性实施例的工作平台组件的一立体图，其中，工作平台组件包括一工作平台I以及一抗静电板10。工作平台I设置于一基座框架(图未示)上，其中，工作平台I与基座框架可以是一体成形或由分离元件组合而成。一加工物件g设置于工作平台I上，其中加工物件g包括一电子元件，而此电子元件可能会被工作平台1电气化，加工物件g例如为一晶圆基板或一显示基板。工作平台1所适用的设备包括半导体制程设备、刻线机及点胶机，其中，半导体制程设备的工作平台1用以承载晶圆基板，而刻线机的工作平台I用以承载显示基板，但本专利技术并不限于此，其可以应用于任何需要抗静电程序的工作平台。工作平台I具有多个黏着孔5，其黏着并支撑加工物件g于工作平台I上，其中加工物件g可以是一显示基板或一晶圆。工作平台I的材料可以包括铝、镁、锌、钛、钽、铪、或铌。在本实施例中，工作平台I的材料为铝合金，其由于铝材料很轻，且具有一定的强度及优异的加工能力。抗静电板10设置于工作平台I是表面与加工物件g之间，换言之，抗静电板10固定设置于工作平台I是表面上，且抗静电板10承载加工物件g。抗静电板10可以是贴设于工作平台I上。此外，抗静电板10也可以未贴设于工作平台I上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗静电板，插设于一工作平台及待设置于所述工作平台上的一加工物件之间，以避免所述加工物件的电气化，所述抗静电板包括：一多孔板；一中间层，由高分子混合树脂所构成并形成于所述多孔板的至少一侧面上；以及一静电放电披覆层，设置于所述中间层上并包括多个纳米碳管。

【技术特征摘要】
2011.12.21 KR 10-2011-01392641.一种抗静电板，插设于一工作平台及待设置于所述工作平台上的一加工物件之间，以避免所述加工物件的电气化，所述抗静电板包括: 一多孔板； 一中间层，由高分子混合树脂所构成并形成于所述多孔板的至少一侧面上；以及 一静电放电披覆层，设置于所述中间层上并包括多个纳米碳管。2.根据权利要求1所述的抗静电板，其中，所述抗静电板还包括一初始层，用以增加所述静电放电披覆层与所述中间层之间的黏着力； 其中，所述初始层通过涂布一初始披覆剂于所述中间层上并使其硬化而形成；以及其中，所述初始披覆剂通过混合氯化聚烯烃及改性橡胶于一溶剂中而形成，且所述溶剂包括甲苯及二甲苯。3.根据权利要求1所述的抗静电板，其中，所述抗静电板还包括一电晕处理层，通过电晕处理所述中间层而形成。4.根据权利要求1所述的抗静电板，其中，所述静电放电披覆层通过涂布一静电放电披覆剂而形成； 其中，所述静电放电披覆剂包括: 一溶剂； 一树脂，混合加入所述溶剂中，并包括苯氧基树脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修饰乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇缩丁醛至少其中之一，其中所述树脂占所述静电放电披覆剂的重量百分比的10至20% ;以及 多个纳米碳管，占所述静电放电披覆剂的重量百分比的0.1至5%。5.根据权利要求1所述的抗静电板，其中，所述静电放电披覆层的表面电阻为IO6 IO10 Ω /sq。6.根据权利要求1至5中任一项所述的抗静电板，其中，所述多孔板为一不织布纤维板。7.根据权利要求6所述的抗静电板，其中，所述不织布纤维板的原料纤维为聚对苯二甲酸乙二酯合成纤维。8.一种工作平台组件，包括: 一工作平台，具有金属制的一表面；以及 一抗静电板，设置于所述工作平台的所述表面上； 其中，所述抗静电板包括: 一多孔板；...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴尚根，朱泰奎，崔汉铉，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，拓普纳诺斯株式会社，
类型：发明
国别省市：