【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种湿法除尘方法，应用于多晶硅冷氢化工艺，用于除去反应气中夹带的细微娃粉，同时降低反应气的温度。
技术介绍
目前，主流的多晶氢化工艺中分为热氢化工艺及冷氢化工艺，冷氢化工艺因其较热氢化工艺能耗更低而具有更广阔的发展空间。但冷氢化工艺作为一个较新的工艺，对除尘方法未有成熟的经验。
技术实现思路
为了解决现有冷氢化工艺除尘方法不成熟的技术问题，本专利技术提供一种文丘里洗漆器除去冷氢化工艺反应气中的娃粉方法。本专利技术的技术解决方案:一种，其特殊之处在于:包括以下步骤:I将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2使雾滴覆盖反应气流通面； 3反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相；4将气液混合相分离；5气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器。本专利技术所具有的优点:1、本专利技术应用于多晶硅工艺的高温、高压、耐磨工况，除尘效率高达98 %，满足了冷氢化工艺去除反应气中夹带细微硅粉的要求，同时降低了反应气的温度。2、本专利技术方法所采用的设备均为静设备、立式安装，具有结构简单、紧凑、占地面积小、维护少、运行稳定的优点。3、本专利技术方法的设备压损小，制造及结构简单，且根据负荷可调。附图说明图1为本专利技术的原理示意图；图2为文丘里洗涤器的结构示意图；图3为图2中接受段的俯视图；其中:1-调节头，2-垂直调杆，3-防尘罩，4-导向套，5-支撑杆，6_限位块，7_偏心凸轮，8-水平调杆，9-支撑座，10-设备补强接管，11-接管法兰，12-密封法兰，13-紧固件，14-压盖法兰，15-紧固件，16-锁紧螺母，17-手轮...
【技术保护点】
一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，其特征在于：包括以下步骤：1】将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2】使雾滴覆盖反应气流通面；3】反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相；4】将气液混合相分离；5】气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器。
【技术特征摘要】
1.一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，其特征在于:包括以下步 骤:I将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2使雾滴...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓肇冬，
申请(专利权)人：西安航天远征流体控制股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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