液体连续供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。本实用新型专利技术根据需要实现液体的连续供应。此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种液体连续供应装置。
技术介绍
在一些半导体工艺中，例如研磨液评估、工艺的开发等，需要少量的液体。如果采用大罐装的反应液体，往往因不能完全使用而造成浪费，并且运输也不方便。如果采用一小瓶的反应液体，这些研磨液评估、工艺的开发工作往往会因为瓶内的容量有限，不得不因更换瓶子而打断，严重影响了工作效率。因此，如何提供一种采用小容量的瓶装液体的液体连续供应装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种液体连续供应装置，采用小容量的溶液瓶可以实现连续的液体供应，运输方便、使用便捷。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案:一种液体连续供应装置,包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述控制阀包括阀体、两端盖、阀芯、阀芯驱动机构以及密封圈，所述接口管和所述连接管与所述阀体对接的一端分别设有扩充管部，所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管，藉由端盖和阀体之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管外侧，所述阀体内部设有供所述阀芯滑动的阀芯通道，所述阀芯通道分别与所述凸管的内部连通，所述阀芯驱动机构带动所述阀芯上、下移动以启、闭两个凸管之间的通路，所述阀芯上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述阀芯驱动机构包括旋钮以及螺杆，所述螺杆的一端与所述旋钮固定连接，所述螺杆的另一端与所述阀芯固定连接，所述阀芯通道的靠边缘部分设有与所述螺杆的外螺纹相匹配的内螺纹。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述溶液瓶两侧的所述连接管的另一端分别设有公接头和母接头。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述公接头包括锁紧器以及扩充管部，所述扩充管部与对应的连接管连接或一体成型，所述锁紧器的一端套设于对应的连接管的外侧，所述锁紧器的另一端设有内螺纹。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述母接头包括头部以及外螺纹管，所述头部经所述外螺纹管与对应的连接管连接或一体成型，所述外螺纹与所述内螺纹相匹配。优选的，在上述的液体连续供应装置中，还包括一手推车，所述手推车包括用于放置所述三个溶液供应单元的托盘、推杆以及多个轮子，所述轮子安装于所述托盘的下方，所述推杆连接于所述托盘的一侧。优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述三个溶液供应单元中有一个溶液供应单元的溶液瓶外接一液体供应管路，所述液体供应管路上设有一液压泵，其他溶液供应单元的连接管分别与外接有液体供应管路的溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。本技术提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。当一瓶溶液供应单元(即第一个溶液供应单元)中的溶液瓶内溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的一侧通过连接管接一个满的溶液供应单元(即第二个溶液供应单元)，当这两个溶液供应单元中的溶液瓶内的溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的另一侧的连接管接另外一个满的溶液供应单元(即第三个溶液供应单元)，并可根据需要拆卸下第二个溶液供应单元，以连接第四个溶液供应单元，如此根据需要可以不停地接满的溶液供应单元，从而实现液体的连续供应。此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。附图说明本技术的液体连续供应装置由以下的实施例及附图给出。图1是本技术一实施例的液体连续供应装置的结构示意图；图2是本技术一实施例的溶液供应单元的结构示意图；图3是本技术一实施例的控制阀的结构示意图；图4是本技术一实施例中不同连接管对接的结构示意图；图5a是本技术的使用方法中第一步的结构示意图；图5b是本技术的使用方法中第二步的结构示意图；图5c是本技术的使用方法中第三步的结构示意图；图中，1-溶液供应单元、Ia-第一溶液供应单元、Ib-第二溶液供应单元、Ic-第三溶液供应单元、11-溶液瓶、12-接口管、13-控制阀、131-阀体、1311-凸管、132-盖、133-阀芯、134-密封圈、135-旋钮、136-螺杆、14-连接管、141-公接头、1411-锁紧器、142-母接头、1421-头部、1422-外螺纹管、2-液体供应管路、3-液压泵、4-手推车、41-托盘、42-推杆、43-轮子。具体实施方式以下将对本技术的液体连续供应装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参阅图1至图4，其中，图1是本技术一实施例的液体连续供应装置的结构示意图；图2是本技术一实施例的溶液供应单元的结构示意图；图3是本技术一实施例的控制阀的结构示意图；图4是本技术一实施例中不同连接管对接的结构示意图。这种液体连续供应装置,包括至少三个溶液供应单元1，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶11、两根接口管12、两个控制阀13以及两根连接管14，所述溶液瓶11的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管12的一端，所述接口管12的另一端分别通过控制阀13与所述连接管14的一端密封连接，不同溶液供应单元I的连接管14可拆卸式连接。当一瓶溶液供应单元(例如第一个溶液供应单元Ia)中的溶液瓶11内溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元Ia中的一侧通过连接管14接一个满的溶液供应单元(例如第二个溶液供应单元lb)，当这两个溶液供应单元la、lb中的溶液瓶11内的溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元Ia的另一侧的连接管14接另外一个满的溶液供应单元(例如第三个溶液供应单元lc)，并可根据需要拆卸下第二个溶液供应单元lb，以连接第四个溶液供应单元(未图示)，如此根本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体连续供应装置，其特征在于，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。

【技术特征摘要】
1.一种液体连续供应装置，其特征在于，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。2.根据权利要求1所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述控制阀包括阀体、两端盖、阀芯、阀芯驱动机构以及密封圈，所述接口管和所述连接管与所述阀体对接的一端分别设有扩充管部，所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管，藉由端盖和阀体之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管外侧，所述阀体内部设有供所述阀芯滑动的阀芯通道，所述阀芯通道分别与所述凸管的内部连通，所述阀芯驱动机构带动所述阀芯上、下移动以启、闭两个凸管之间的通路，所述阀芯上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈。3.根据权利要求2所述的液体连续供应装置，其特征在于，所述阀芯驱动机构包括旋钮以及螺杆，所述螺杆的一端与所述旋钮固定连接，所述螺杆的另一端与所述阀芯固定连接，所述阀芯通道的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈枫，熊世伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：