LED批量抗静电测试基座制造技术

本发明专利技术提出了一种可提供统一测试环境的LED批量抗静电测试基座。通过利用它，可控制测试人员在批量样品静电测试中引入环境因素。该方法在恒温条件下，将待测元件通过基座接入静电测试系统。适用于人体模型，机械模型，TLP模型等各种静电检测终端。可排除测试过程中环境的光，热，静电等因素，有效的固定样品，保持测试的统一性。

【技术实现步骤摘要】
LED批量抗静电测试基座
本专利技术专利属于半导体元件测试领域，特别涉及可提供统一测试环境的批量测试基座的机械结构。
技术介绍
随着微电子制造水平的发展，LED成为近些年来用途极为广泛的光源产品，其应用范围不断扩大。照明、显示、医疗等领域都对LED在各种环境条件下的表现提出了严格的要求。静电损伤是影响光电子器件稳定性的主要原因之一，对LED来说也不例外。目前，TLP测试方法已成为电路设计工程师研究静电放电(ESD)保护电路的特性，进行ESD设计的重要依据。TLP测试先从小电压脉冲开始，随后连续增加直到获得足够的数据点，作出完整的I / V曲线。通常测试脉冲的幅度会增大到使DUT彻底损伤，从而获得其精确的允许最大脉冲电流。当测试脉冲的幅度足够高时，DUT内将产生足够高的温度使DUT内某些结构熔融，使器件特性发生永久的变化，DUT彻底损伤，损伤发生的同时经常伴随着被测两脚之间的漏电流突然增加。TLP测试还可获得漏电流曲线，漏电流可以说明器件存在的一些潜在失效机理。如果没有漏电流曲线，就不能从I / V曲线上看出器件内部的一些变化。特别是存在多个失效位置的时候，就可以帮助判定失效开始的位置，也就是最薄弱点。因此，漏电流的测试对DUT的失效判定就显得意义重大。LED的抗静电能力与它在光照条件下的电学表现不无关系。而以反向5v偏压，漏电流IOuA的标准而言，光照条件的影响，可能成为评判标准的巨大挑战。通过不同LED分别做光源和被测目标的实验，发现每个型号LED主波长前后一定范围内，光生电流的响应都很大。也就是说，光照对漏电流的影响并不仅取决于光波长是否小于目标LED波长，而波长的匹配对光生电流影响更大。但总的来说，当光源光波长大于目标LED波长后，光生电流基本表现为统一的下降趋势。这确是由于禁带宽度大于光源光子能量。当光源峰值波长高于目标LED峰值波长时，对漏电流影响会减小，但仍比暗室条件下大。这是因为其能量低于目标LED禁带宽度，无法将价带电子激发至导带，但是仍能使杂质受到激发，产生电子空穴对。为确保各测试单位测量结果的统一性，避免光照引起的漏电流干扰读数，影响标准的制定，报告提出了一种可提供统一测试环境的LED批量抗静电测试基座。
技术实现思路
本专利技术提出了 一种可提供统一测试环境的批量抗静电测试基座。通过利用它，可控制测试人员在批量样品静电测试中引入环境因素。可有效地固定LED样品，保持测试的统一性。该方法在恒温条件下，将待测元件通过基座接入静电测试系统。适用于人体模型，机械模型，TLP模型等各种静电检测终端。采取了对LED封装进行的固定方式，避免测试过程中对器件电系统的过多接触。针对LED设计的具有遮光和散热结构可排除测试过程中环境的光，热等因素。本专利技术实施例提供的传输线脉冲测试系统，TLP测试系统是利用一段短脉冲波测试内置静电放电保护集成电路的1-V特性的工具。它的基本原理是通过射频双缆传输线充放电过程，产生瞬时的矩形波脉冲用以模拟人体模式的静电放电现象冲击ESD保护电路，从而评价保护电路所能承受的抗ESD能力。附图说明图1结构1，遮光罩；结构2，带金属丝散热网的LED样品凹槽固定装置；结构3，外接静电测试； 图2系统连接方式。具体实施方式用结构2中含导热金属散热网的凹槽固定待测样品； 将固定好样品的结构2滑轨装入结构I对应位置； 将组合好的结构2和I装置在3上； 将静电测试系统输出端连至3上的端口 1，2 ; 控制结构2前进，确保样品引脚与结构3的内部端口接触良好； 开始测试； 测完此器件后，控制结构2前进，至下一样品引脚接触到结构3上的端口测试时，将整个装置置于环境中。对于待测LED，首先选择红光LED作为光源对其进行照射，利用TLP测量它的漏电流大小。然后，依次换成黄光、绿光、蓝光和白光LED光源，测量LED待测件的漏电流大小。显然，本领域的技术人员可以对本专利技术进行各种改动和变型而不脱离本专利技术的精神和范围。这样，倘若本专利技术的这些修改和变型属于本专利技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本专利技术也意图包含这些改动和变型在内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可提供统一测试环境的LED批量抗静电测试基座，其特征在于：可调节，随意组合适应不同测试标准数量要求的基座连接结构。

【技术特征摘要】
1.一种可提供统一测试环境的LED批量抗静电测试基座,其特征在于: 可调节，随意组合适应不同测试标准数量要求的基座连接结构。2.如权利要求1所述的具有可调可组合连接结构的LED批量抗静电测试基座，其特征在于，还包括结构特征: ...

【专利技术属性】
技术研发人员：严伟，袁晨，程玉华，
申请(专利权)人：上海北京大学微电子研究院，北京大学软件与微电子学院，
类型：发明
国别省市：