本发明专利技术提供一种能够用更少个数的检测器检测灯的不点亮的不点亮检测装置以及不点亮检测方法。本发明专利技术的不点亮检测装置，具有：针对由并联连接的多盏灯(22)组成的灯群而设置的1个光量传感器(24)；根据上述光量传感器(24)的输出求出规定时间τA的传感器累计值I的累计部(36)；存储上述传感器累计值I的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部(38)，上述判断部(38)根据上述传感器累计值I与基准值的比较、以及上述传感器累计值I与上述存储部(37)中存储的过去的传感器累计值I的比较，判断灯的不点亮。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及灯的不点亮检测装置以及方法。更为具体来说，涉及能检测并联连接的多盏灯之中的I盏不点亮的不点亮检测装置以及方法。
技术介绍
半导体和平板显示器的制造工序中，为了进行加工部件的表面清洁化和表面改性等，广泛实施使用紫外线灯的UV臭氧(UV Ozone)清洗。在这种处理的过程中因为某些原因灯不点亮时，希望能够迅速检测出不点亮，从而进行灯更换等适当的处置。专利文献I中，记载了设置有紫外受激准分子光的检测单元和显示灯的点亮状态的单元的电介质放电灯装置。另外，专利文献2中记载了:用光电变换元件检测来自受激准分子灯的放射光，根据该光电变换元件的输出和规定的基准值的比较来判断灯的点亮或熄灭的氙受激准分子灯的点亮检测装置。在先技术文献专利文献专利文献IJP特开平7-220688号公报专利文献2JP特开2005-227275号公报但是，专利文献I和2记载的这种现有的装置中存在的问题是:对于一盏灯来说需要一个昂贵的检测器，若光照射装置比较大型而灯的盏数较多，则成本很高。另一方面，若仅仅是减少检测器的个数，则难以可靠地检测出不点亮。要是用I个检测器检测多盏灯的光量，即使灯熄灭，检测出的光量也不为0，仅仅是减少。而且，在检测出的光量减少的情况下，还需要准确地判断其原因不是随着时间劣化等或灯输出设定降低，而是灯的不点売。
技术实现思路
本专利技术正是考虑到这一点而作出的，其目的在于提供一种用更少个数的检测器来检测出灯的不点亮的不点亮检测装置以及不点亮检测方法。并且，其目的还在于提供一种具备这种不点亮检测装置的光照射装置。本专利技术的灯的不点亮检测装置，具有:对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。另外，本专利技术的灯的不点亮检测装置，具有:对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器；朝向上述多盏灯各自的照射面，以比上述多盏灯的盏数少的个数配置的UV-可见光变换过滤器及光纤；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。在此，所谓灯群，是指由I个光量传感器统一感知光量的多盏灯。在存在并联连接的2盏以上的灯的情况下，可将这2盏以上的灯全体作为I个灯群来设置I个光量传感器，在存在并联连接的4盏以上的灯的情况下，可将该4盏以上的灯全体分为分别由多盏灯组成的多个灯群，对各灯群各设置I个光量传感器。无论哪种情况都包含在本专利技术中。另外，所谓传感器累计值，是指根据需要将光量传感器的输出进行数字变换等得到的值，相加多次而得到。这样，由于对多盏灯使用I个光量传感器，因此能够降低装置整体的成本。而且，通过将传感器累计值与基准值以及过去的传感器累计值进行比较，能够以实质上没有问题的精度，对多盏灯之中的I盏灯的不点亮进行检测。优选，根据上述灯的使用初期求出的上述传感器累计值来设定上述基准值。另外，优选，根据上述灯的输出来设定上述基准值。由此，在对传感器累计值与基准值进行比较时，能以更好的精度进行不点亮的判断。另外，上述不点亮检测装置，可在并联连接的4盏以上的灯形成分别由多盏灯组成的多个灯群的情况下，对各灯群各设置I个光量传感器。根据该结构，在上述各专利技术之中、并联连接的多盏(4盏以上)的灯全体被分为多个灯群的情况下，也能获得与上述各专利技术相同的效果。另外，优选，在形成多个灯群的情况下，上述判断部，还根据上述传感器累计值与其他灯群的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。由此，能够以更好的精度进行不点亮的判断。优选，上述UV-可见光变换过滤器及光纤，相对于将构成上述灯群的相邻的一对灯各自的中心点彼此连结的平行线，在与上述灯的照射方向垂直且以该中心点为起点的垂直线间配置I个。另外，本专利技术的灯的不点亮检测装置，具有:对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，通过对上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去求出的传感器累计值进行比较，来判断灯的不点亮，上述过去求出的传感器累计值，是与上述传感器累计值相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且是与上述传感器累计值相比前50小时之内求出的值。通过将传感器累计值、与满足这种条件的过去的传感器累计值进行比较，能够得到以更好的精度判断不点売这一效果。优选，上述过去求出的传感器累计值，是与上述传感器累计值相比2周期前求出的传感器累计值。由此，能够减少要保持的过去的传感器累计值的数量，能够将整体处理简化，能够实现故障更少的不点亮检测装置。优选，上述判断部在对上述传感器累计值与基准值进行比较之后，对上述传感器累计值与上述过去求出的传感器累计值进行比较。由此，能够提高不点亮判断的精度。本专利技术的光照射装置，具有:并联连接的多盏灯；对上述多盏灯的输出统一进行控制的控制装置；以及上述任一不点亮检测装置。通过该结构，能够以更低的成本，对多盏灯之中的I盏灯的不点亮进行检测。本专利技术的不点亮检测方法，根据针对并联连接的多盏灯组成的灯群而被设置I个的光量传感器的输出，求出规定时间的传感器累计值，在上述传感器累计值比基准值小，且比过去求出的传感器累计值小的情况下判断为灯不点亮。在此，传感器累计值比过去求出的传感器累计值小，不包含双方在传感器累计值的测量误差的范围内相同的情况。通过该方法，能够以更低的成本，检测出多盏灯之中的I盏灯的不点亮。另外，上述不点亮检测方法，在并联连接的4盏以上的灯形成分别由多盏灯组成的多个灯群的情况下，根据对各灯群各设置I个的光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值，在上述传感器累计值比基准值小，且比过去求出的传感器累计值小的情况下，判断为灯不点亮。根据该结构，由于对由并联连接的多盏灯组成的各灯群设置各I个光量传感器，因此在不点亮检测方法的上述专利技术的一个方式下，能够得到与上述专利技术相同的效果。另外，本专利技术的不点亮检测方法，根据对并联连接的多盏灯组成的灯群设置I个的光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值，通过将上述传感器累计值与过去求出的传感器累计值进行比较来判断灯的不点亮，上述过去求出的传感器累计值，是与上述传感器累计值相比2周期以上之前求出的传感器累计值，且是与上述传感器累计值相比在前50小时内求出的值。为了对多盏灯用I个光量传感器，以实质上没有问题的精度对I盏灯的不点亮进行检测，将传感器累计值与过去的传感器累计值进行比较是有效的。此时，通过将过去的传感器累计值限定在上述的范围，能够将包含因不点亮发生而导致照射光量不稳定的时间的传感器累计值排除在外。也就是说，能够对经过求出传感器累计值的规定时间灯完好的过去的传感器累计值、与经过规定时间灯不点亮的最近的传感器累计值进行比较。从而，能够得到以更好的精度判断不点亮的效果。优选，上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有：针对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的1个光量传感器；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。
【技术特征摘要】
2011.12.12 JP 2011-270769;2011.12.12 JP 2011-27071.一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有: 针对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器； 根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部； 存储上述传感器累计值的存储部；以及 判断灯的不点亮的判断部， 上述判断部根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。2.一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有: 针对由多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器； 朝向上述多盏灯各自的照射面，以比上述多盏灯的盏数少的个数配置的UV-可见光变换过滤器及光纤； 根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部； 存储上述传感器累计值的存储部；以及 判断灯的不点亮的判断部， 上述判断部根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。3.根据权利要求1或2所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 根据上述灯的使用初期求 出的上述传感器累计值来设定上述基准值。4.根据权利要求1 3中任一项所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 根据上述灯的输出来设定上述基准值。5.根据权利要求1 4中任一项所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 在并联连接的4盏以上的灯形成多个灯群的情况下，对各灯群各设置I个光量传感器，其中多个灯群分别由多盏灯组成。6.根据权利要求5所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 上述判断部还根据上述传感器累计值与其他灯群的传感器累计值的比较，来判断灯的不点亮。7.根据权利要求2所述的灯的不点亮检测装置，其特征在于， 上述UV-可见光变换过滤器及光纤，相对于将构成上述灯群的相邻的一对灯各自的中心点彼此连结的平行线，在与上述灯的照射方向垂直且以该中心点为起点的垂直线间配置I个。8.一种灯的不点亮检测装置，其特征在于，具有: 针对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的I个光量传感器； 根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部； ...
【专利技术属性】
技术研发人员：野村元哉，长谷川丰，细谷浩二，广井和则，水谷实，
申请(专利权)人：株式会社杰士汤浅国际，
类型：发明
国别省市：
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