一种薄膜型铂电阻温度传感器制造技术

技术编号:8821238 阅读:162 留言:0更新日期:2013-06-14 13:15
本实用新型专利技术涉及一种薄膜型铂电阻温度传感器,包括衬底和引线,所述衬底顶面设有过渡层,并在过渡层顶面一侧设有铂电阻,而在过渡层顶面的另一侧设有用于安装引线的引线安装部,所述铂电阻的顶面覆有保护层。本实用新型专利技术经过上述改进,避免了导电胶连接不良时对测试的影响,以及导电胶烧结不完全造成的测试不稳定,使传感器的温度测试稳定性和精度得到提高。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种薄膜型钼电阻温度传感器。
技术介绍
现有的钼电阻温度传感器,是用导电胶,如导电银胶、Pt浆料等,将钼薄膜电阻与引线连接起来,实现温度信号的测试。这种引线结构存在的缺点是,由于钼薄膜电阻与引线之间没有直接接触,而是通过导电胶实现两者的互连,在实际测试过程中会造成测试误差;此外,当导电胶固化不良或在烧结不完全残留有胶物质,会导致测试的不稳定,降低测试精度,影响测试结果。
技术实现思路
本技术的目的在于,针对现有技术的不足,提供一种薄膜型钼电阻温度传感器,温度测试稳定性好,测试精度高。本技术的技术方案为,一种薄膜型钼电阻温度传感器,包括衬底和引线,所述衬底顶面设有过渡层,并在过渡层顶面一侧设有钼电阻,而在过渡层顶面的另一侧设有用于安装引线的引线安装部,所述钼电阻的顶面覆有保护层。所述保护层和弓I线的顶面涂敷固定层。所述弓I线通过压焊固定到引线安装部。在已经过表面处理的传感器陶瓷衬底上沉积过渡层,接着在过渡层表面沉积钼电阻及其引线安装部,最后在钼薄膜电阻表面但不包括引线安装部沉积一层保护层,保护钼薄膜电阻。利用压焊方法,把引线压接在钼电阻的引线安装部,在压焊点处实现两者的直接互连,然后涂敷釉料固定层并烧结成型,对压焊点的连接进行加固和保护。本技术经过上述改进,避免了导电胶连接不良时对测试的影响,以及导电胶烧结不完全造成的测试不稳定,使传感器的温度测试稳定性和精度得到提高。附图说明图1为本技术一种实施例的结构示意图;其中:11-衬底;12-过渡层;13-钼电阻;14-保护层;15-引线安装部;16-压接点;17_引线;18-釉料固定层。具体实施方式如图1所示,一种薄膜型钼电阻温度传感器,包括衬底11和引线17,衬底11顶面设有过渡层12,并在过渡层12顶面一侧设有钼电阻13,而在过渡层12顶面的另一侧设有用于安装引线17的引线安装部15,所述钼电阻13的顶面覆有保护层14。保护层14和引线17的顶面涂敷固定层18,引线17通过压焊固定到引线安装部15。衬底11为Al2O3,保护层14为Al2O3或SiO2,过渡层12为Al2O3,固定层18为釉料。在已经过表面处理的传感器陶瓷衬底11上沉积过渡层12,接着在过渡层12表面沉积钼薄膜电阻13及其引线安装部15,最后在钼薄膜电阻13表面沉积一层保护层14,保护钼薄膜电阻。利用压焊方法,把引线17压接在钼薄膜电阻13的引线安装部15,在压焊点16处实现两者的直接互连,然后涂敷釉料固定层18并烧结成型,对压焊点16的连接进行加固和 保护。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜型铂电阻温度传感器,包括衬底(11)和引线(17),其特征是,所述衬底(11)顶面设有过渡层(12),并在过渡层(12)顶面一侧设有铂电阻(13),而在过渡层(12)顶面的另一侧设有用于安装引线(17)的引线安装部(15),所述铂电阻(13)的顶面覆有保护层(14)。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜型钼电阻温度传感器,包括衬底(11)和引线(17),其特征是,所述衬底(11)顶面设有过渡层(12),并在过渡层(12)顶面一侧设有钼电阻(13),而在过渡层(12)顶面的另一侧设有用于安装引线(17)的引线安装部(15),所述钼电阻(13)的顶面覆有保护层(14)。2.根据权利要求1所述薄膜型钼电阻温度传感器,其特征是,所述保护层(14)和引线(17)的顶面涂敷固定层(18)。3.根据权利要求1所述薄膜型钼电阻温度传感器,...

【专利技术属性】
技术研发人员:蓝镇立
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所
类型:实用新型
国别省市:

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