有机EL元件的制造方法和制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种有机EL元件的制造方法。有机EL元件的制造方法包括蒸镀工序，在蒸镀工序中，供给基材，使该基材的非电极层侧与驱动而旋转的筒状辊表面相抵接而使该基材移动并自蒸镀源的喷嘴喷出气化的有机层形成材料，在上述基材的电极层侧形成有机层，在有机EL元件的制造方法中，使用能够对距被上述筒状辊支承的上述基材的第1距离进行测量的距离测量部、能够调整上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的第2距离的位置调整部，根据上述距离测量部的上述第1距离的测量结果一边利用上述位置调整部以使上述第2距离恒定的方式进行控制一边进行上述蒸镀工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在形成于基材的电极层上具有有机层、从该有机层放射光的有机EL元件的制造方法和制造装置。
技术介绍
近年来，作为新一代的低耗电的发光显示装置所使用的元件，有机EL (电致发光:二 > ^卜口 > S才、〃七> 元件引人关注。有机EL元件基本具有一对电极和包含由有机发光材料构成的发光层在内的至少I层的有机层。该有机EL元件因有机发光材料而获得多色彩的发光，而且是自发光元件，因此，作为电视(TV)等的显示器用途而引人关注。有机EL元件以包含发光层在内的至少I层的有机层被夹持在具有彼此极性相反的电极的两个电极层的方式构成(层状构造)，各有机层分别由几nm 几十nm的有机膜构成。此外，被电极层夹着的有机层被支承在基材上，通过在基材上依次层叠阳极层(电极层)、有机层、阴极层而形成有机EL元件。此外，在有机EL元件具有多个有机层的情况下，在基材上形成阳极·层之后，通过在阳极层上依次层叠各有机层，在层叠后的有机层上形成阴极层，从而形成有机EL元件。在这种有机EL元件的制造方法中，作为在形成于基材的阳极层上成膜(形成)各有机层的方法，通常公知有真空蒸镀法、涂布法，其中，出于能够提高用于形成各有机层的材料(有机层形成材料)的纯度、易于获得高寿命的目的，主要采用真空蒸镀法。在上述的真空蒸镀法中，使用在蒸镀装置的真空室内设置于与基材相对的位置的蒸镀源来进行蒸镀，从而形成有机层，设有与各有机层相对应的蒸镀源。具体而言，通过用配置在蒸镀源内的加热部对各有机层形成材料进行加热而使各有机层形成材料气化，将气化后的有机层形成材料(气化材料)从设置于上述蒸镀源的喷嘴呈放射状喷出，使其附着在形成于基材的阳极层上，从而在该阳极层上蒸镀有机层形成材料。在该真空蒸镀法中，采用所谓的分批法、卷对卷法。分批法是指如下工艺:针对每张形成有阳极层的基材在阳极层上蒸镀有机层。此外，卷对卷法是指如下工艺:将形成有阳极层并卷成卷状的带状的基材连续地(所谓的卷对卷)放出，放出后的基材由驱动而旋转的筒状辊(can roll:々Y > α - >)的表面支承而与筒状辊的旋转一起移动，并在阳极层上连续地蒸镀各有机层，将蒸镀有各有机层的基材卷成卷状。其中，出于谋求低成本化的观点，最好采用卷对卷法来制造有机EL元件。但是，当这样在真空蒸镀法中采用了卷对卷法时，有时会导致发光色从所期望的发光色产生变化，制造出低品质的有机EL元件。特别是在真空蒸镀法中出于长寿命化的观点，提出有应该减少被带入到发光层的水分量、减小蒸镀源与基材之间的距离的技术(参照专利文献1)，在这样的技术中，更容易制造出上述的发光色从所期望的发光色变化了的低品质的有机EL元件。专利文献1:日本国特开2008 — 287996号公报
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题点，目的在于提供能够抑制发光色的变化、制造出高品质的有机EL元件的有机EL元件的制造方法和制造装置。为了解决上述问题，本专利技术人在进行深入研究之后明确了如下情况:所获得的有机EL元件的发光色的变化是因成膜(形成)在基材上的有机层的厚度的变化引起的，该厚度的变化是由于蒸镀时的蒸镀源的喷嘴的开口缘与基材表面之间的距离(蒸镀源一基材间距离、第2距离)的变化引起的。此外，如上所述，通常有机EL元件的各有机层的厚度为几nm 几十nm左右，微小的厚度变化能够对发光色产生较大的影响。蒸镀源一基材间距离的变化是由于被筒状辊支承的基材的表面相对于蒸镀源的位置因筒状辊的偏心、膨胀、表面状态等发生变化而产生的，蒸镀源一基材间距离的变化能够达到几十Pm左右。并且，明确了例如蒸镀源一基材间距离为2mm时，若该距离变化20 μ m (1%),则有机层的厚度变化2 %，如上所述，由该变化引起的有机层的厚度的变化率远远大于蒸镀源一基材间距离的变化率。鉴于上述见解，发现了如下情况:在蒸镀时，即使产生基材的表面的位置变化，也能通过在比蒸镀工序靠上游侧的位置测量该位置变化，根据该测量结果调整蒸镀源的位置，以使蒸镀源一基材间距离为恒定，从而能够维持蒸镀源一基材间距离恒定，由此，能够抑制有机层的厚度的变化，制造出抑制了发光色的变化的有机EL元件，从而完成了本专利技术。S卩、本专利技术的有机EL元件的制造方法，其是一边使形成有电极层的带状的基材移动一边在该基材的电极层侧形成有机层的制造方法，其特征在于，该有机EL元件的制造方法具有蒸镀工序，在该蒸镀工序中，供给上述基材，使该基材的非电极层侧与驱动而旋转的筒状辊的表面相抵接而使该基材移动，并且使气化的有机层形成材料从以与上述筒状辊相对的方式配置的蒸镀源的喷嘴喷出，在上述基材的电极层侧形成有机层，在有机EL元件的制造方法中，使用距离测量部和位置调整部，根据上述距离测量部的第I距离的测量结果一边以利用上述位置调整部使第2距离恒定的方式进行控制一边进行上述蒸镀工序，该距离测量部在上述基材的移动方向上的比上述喷嘴靠上游侧的位置处能够对从其到被上述筒状辊支承的上述基材的上述第I距离，该位置调整部能够对上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的上述第2距离进行调整。在此，在由距离测量部进行的其到基材的第I距离的测量中，除了测量从距离测量部到基材的距离之外，还包括通过测量从距离测量部到电极层的距离来测量从距离测量部到基材的距离。由此，即使被筒状辊支承而移动的基材的表面产生位置变化，也能够在喷嘴的上游侧测量第I距离，根据该测量结果，进行调整，使蒸镀源的位置变化，使得第2距离恒定。因而，不论基材的表面的位置变化如何，能够一边维持蒸镀源一基材间距离恒定一边利用蒸镀源在形成于基材的电极层上形成有机层。由此，能够抑制因蒸镀源一基材间距离的变化所引起的有机层的厚度的变化，因此，能够获得抑制了发光色变化的、高品质的有机EL元件。此外，本专利技术优选上述位置调整部利用压电执行元件的变形而能够使上述蒸镀源的位置可变。由此，根据距离测量部的测量结果能够精度更佳且没有迟滞地调整蒸镀源的位置。此外，本专利技术优选上述距离测量部设于上述蒸镀源。由此，不需要另外设置用于支承距离测量部的构件，因此能够使装置结构简化，并且能够削减构件个数。此外，本专利技术优选上述喷嘴与上述基材的表面之间的距离为15mm以下。由此，在有机层的厚度更易于发生变化的情况下，也能够一边维持蒸镀源一基材间距离恒定一边进行蒸镀工序，因此更有效。此外，本专利技术的有机EL元件的制造装置，其特征在于，其包括:基材供给部，其用于供给形成有电极层的带状的基材；筒状辊，其一边与所供给的该基材的非电极层侧相抵接一边随着该基材的移动被驱动而旋转；蒸镀源，其以与该筒状辊相对的方式配置，从喷嘴喷出气化后的有机层形成材料，在与筒状辊相抵接的上述基材的上述电极层侧形成有机层；距离测量部，其在上述基材的移动方向上的比上述喷嘴靠上游侧的位置处能够对从其到被上述筒状辊支承的上述基材的上述第I距离进行测量；位置调整部，其能够对上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的第2距离进行调整，该有机EL元件的制造装置构成为，根据上述距离测量部的上述第I距离的测量结果，一边利用上述位置调整部以使上述第2距离恒定的方式调整上述蒸镀源的位置一边进行上述蒸镀工序。如上所述，采用本专利技术，能够制造发光色的变化被抑制的、高品质的有机EL元件。附图说明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.12.28 JP 2010-2929571.一种有机EL元件的制造方法，其是一边使形成有电极层的带状的基材移动一边在该基材的电极层侧形成有机层的制造方法，其特征在于， 该有机EL元件的制造方法具有蒸镀工序，在该蒸镀工序中，供给上述基材，使该基材的非电极层侧与驱动而旋转的筒状辊的表面相抵接而使该基材移动，并且使气化的有机层形成材料从以与上述筒状辊相对的方式配置的蒸镀源的喷嘴喷出，在上述基材的电极层侧形成有机层， 在有机EL元件的制造方法中，使用距离测量部和位置调整部，根据上述距离测量部的第I距离的测量结果一边以利用上述位置调整部使第2距离恒定的方式进行控制一边进行上述蒸镀工序，该距离测量部在上述基材的移动方向上的比上述喷嘴靠上游侧的位置处能够对从其到被上述筒状辊支承的上述基材的上述第I距离进行测量，该位置调整部能够对上述蒸镀源的喷嘴与上述基材的表面之间的上述第2距离进行调整。2.根据权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于， 上述位置调整部利用压电执行...

【专利技术属性】
技术研发人员：森田成纪，垣内良平，长濑纯一，根岸伸和，中井孝洋，市枝直子，渡边圣彦，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：
国别省市：