本发明专利技术提供能够抑制蒸气产生部内部的压力上升和温度上升，能够进行精密的温度控制的成膜装置。对玻璃基板（G）进行成膜处理的成膜装置具有：収容玻璃基板（G）的处理室（5）；通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气的蒸气产生部（1）；用于将在蒸气产生部（1）中产生的成膜材料的蒸气与运载气体一起输送到处理室（5）的输送路径（21）；排气路径（22）；设置在输送路径途中的调节阀装置（31）；和设置在排气路径（22）途中的排气阀装置（32）；对蒸气产生部（1）的温度进行检测的材料温度检测部（64）；第一蒸气量检测部（23）；和控制部（8），在对成膜材料进行加热时，根据蒸气产生部（1）的温度的高低，对排气阀装置（32）的开关动作进行控制，在将成膜材料向上述处理室输送时，在由第一蒸气量检测部（23）检测出的蒸气量稳定时，关闭排气阀装置（32），打开调节阀装置（31）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气，由运载气体将该蒸气向被处理基板供给，由此进行成膜的。
技术介绍
有机EL (Electro Luminescence:电致发光)成膜装置具有:收容玻璃基板的处理室；通过将有机成膜材料加热到高温、例如250°C等蒸发开始温度以上，产生该有机成膜材料的蒸气的蒸气产生部。在蒸气产生部中产生的有机成膜材料的蒸气，通过输送路径与运载气体一起被输送到处理室。在处理室中设置有吹出机构，该吹出机构将通过输送路径输送的有机成膜材料的蒸气向收容在处理室中的玻璃基板吹出。另外，在输送路径的途中设置有对该输送路径进行开关的开关阀。通过使开关阀进行开关，对基于向玻璃基板的蒸气供给的成膜开始和结束进行控制。现有技术文献专利文献专利文献1:特开2008 - 38225号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题但是，为了对有机成膜材料的成膜量、成膜速率进行控制，需要进行有机成膜材料的精密的温度控制。具体而言，要求以±0.1°C的精度对有机成膜材料的温度进行控制。但是，当蒸气产生部内的有机成膜材料达到蒸发温度时，有机成膜材料的蒸气浓度逐渐上升，与此相伴，蒸气产生部内部的压力上升，由此温度上升，因此有机成膜材料的精密的温度控制是困难的。为了能够抑制这样的压力上升和温度上升，进行精密的温度控制、即膜厚控制，需要进行有机EL成膜装置的适当操作，但其具体方法没有公开。本专利技术是鉴于上述情况而做出的，提供在对成膜材料进行加热时，根据蒸气产生部的温度和蒸气量等，对开关阀的开关动作进行控制，由此能够抑制蒸气产生部内部的压力上升和温度上升并有效地对成膜材料进行加热，而且能够进行精密的温度控制的。用于解决技术问题的手段本专利技术涉及的成膜装置的特征在于，具有:収容被处理基板的处理室；通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气的蒸气产生部；用于将在该蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气与运载气体一起向上述处理室输送的输送路径；用于对在上述蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气进行排气的排气路径；设置在上述输送路径的途中，对上述输送路径进行开关的第一开关阀；和设置在上述排气路径的途中，对上述排气路径进行开关的第二开关阀，该成膜装置 还具有:对上述蒸气产生部的温度进行检测的温度检测单元；对从上述蒸气产生部输送的成膜材料的蒸气量进行检测的蒸气量检测单元；和控制单元，在对成膜材料进行加热时，根据由该温度检测单元检测出的温度的高低，对上述第二开关阀的开关动作进行控制，在将成膜材料向上述处理室输送时，根据由上述蒸气量检测单元检测出的蒸气量，对上述第一开关阀和第二开关阀的开关动作进行控制。本专利技术涉及的成膜装置的特征在于:上述蒸气产生部将成膜材料加热到比规定温度高的温度，上述控制单元具有:在由上述温度检测单元检测出的温度低于上述规定温度时，将上述第一开关阀和第二开关阀控制在关闭状态的单元；和在使上述蒸气产生部升温时，由上述温度检测单元检测出的温度为上述规定温度以上时，将上述第二开关阀控制在打开状态的单元。本专利技术涉及的成膜装置的特征在于:上述规定温度为成膜材料的蒸发温度以下的温度。本专利技术涉及的成膜装置的特征在于:上述成膜材料为有机成膜材料，上述规定温度为250°C以下。本专利技术涉及的成膜装置的特征在于:具有对上述输送路径和第一开关阀进行加热，使得上述第一开关阀的下游侧的上述输送路径的温度为上述第一开关阀的温度以上、且上述第一开关阀的温度为上述第一开关阀的上游侧的上述输送路径的温度以上的单元。本专利技术涉及的成膜装置的特征在于，具有:分别对上述第一开关阀的上游侧的上述输送路径、上述第一开关阀和上述第一开关阀的下游侧的上述输送路径进行加热的上游侧加热单元、阀加热单元和下游侧加热单元；分别对上述第一开关阀的上游侧的上述输送路径、上述第一开关阀和上述第一开关阀的下游侧的上述输送路径的温度进行检测的上游侧温度检测单元、阀温度检测单元和下游侧温度检测单元；和对上述上游侧加热单元、阀加热单元和下游侧加热单元的动作进行控制，使得上述第一开关阀的下游侧的上述输送路径的温度为上述第一开关阀的温度以上、且上述第一开关阀的温度为上述第一开关阀的上游侧的上述输送路径的温度以上的单 元。本专利技术涉及的成膜装置的特征在于，具有将通过上述输送路径输送的成膜材料的蒸气向收容在上述处理室中的被处理基板吹出的吹出机构，该吹出机构具有:使通过上述输送路径输送的成膜材料的蒸气滞留的滞留室；将滞留在该滞留室的蒸气吹出的开口 ；和能够开关地对该开口进行关闭的闸门。本专利技术涉及的成膜材料供给方法的特征在于:其为使用成膜装置对成膜材料进行加热的成膜材料供给方法，该成膜装置具有:収容被处理基板的处理室；通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气的蒸气产生部；用于将在该蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气与运载气体一起向上述处理室输送的输送路径；用于对在上述蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气进行排气的排气路径；设置在上述输送路径的途中，对上述输送路径进行开关的第一开关阀；和设置在上述排气路径的途中，对上述排气路径进行开关的第二开关阀，在该成膜材料供给方法中，对上述蒸气产生部的温度进行检测，在检测出的温度低于规定温度时，使上述第一开关阀和第二开关阀为关闭状态，对成膜材料进行加热，在检测出的温度为上述规定温度以上时，使上述第二开关阀为打开状态，对成膜材料进行加热，对从上述蒸气产生部输送的成膜材料的蒸气量进行检测，根据检测出的蒸气量，对上述第一开关阀和第二开关阀的开关动作进行控制。本专利技术涉及的成膜材料供给方法的特征在于:其为使用成膜装置对成膜材料进行加热的成膜材料供给方法，该成膜装置具有:収容被处理基板的处理室；通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气的多个蒸气产生部；用于将在该多个蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气与运载气体一起向上述处理室输送的多个输送路径；用于对在上述多个蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气进行排气的多个排气路径；设置在各输送路径的途中，对上述输送路径进行开关的多个第一开关阀；和设置在各排气路径的途中，对上述排气路径进行开关的多个第二开关阀，在该成膜材料供给方法中，对第I个上述蒸气产生部的温度进行检测，在检测出的温度低于规定温度时，使上述第I个蒸气产生部涉及的上述第一开关阀为关闭状态，对成膜材料进行加热，在检测出的温度为上述规定温度以上时，使上述第I个蒸气产生部涉及的上述第二开关阀为打开状态，对成膜材料进行加热，对从上述第I个蒸气产生部输送的成膜材料的蒸气量进行检测，根据检测出的蒸气量，对上述第I个蒸气产生部涉及的上述第一开关阀和第二开关阀的开关动作进行控制，对第2个上述蒸气产生部的温度进行检测，在检测出的温度低于规定温度时，使上述第2个蒸气产生部涉及的上述第一开关阀为关闭状 态，对成膜材料进行加热，在检测出的温度为上述规定温度以上时，使上述第2个蒸气产生部涉及的上述第二开关阀为打开状态，对成膜材料进行加热，对从上述第2个蒸气产生部输送的成膜材料的蒸气量进行检测，根据检测出的蒸气量，使上述第I个蒸气产生部涉及的上述第一开关阀为关闭状态，并且对上述第2个蒸气产生部涉及的上述第一开关阀和第二开关阀的开关动作进行控制。在本专利技术中，温度检测部对蒸气产生部的温度进行检测，控制单元根本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：小野裕司，林辉幸，金子裕是，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。