激光切割装置及具有该装置的切条机制造方法及图纸

本发明专利技术揭示的激光切割装置（10）是将激光（L6）照射到偏振膜（6）上并进行切割的装置，包括：振荡激光（L1）的激光振荡器（1），将由激光振荡器（1）振荡的激光向偏振膜（6）反射的反射镜（3），以及配置于偏振膜（6）与反射镜（3）之间，并聚焦激光（L6）的聚集透镜（5），在反射镜（3）与聚集透镜（5）之间，备置透射和反射激光（L3）的分光器（4）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及激光切割装置及具有该装置的切条机。
技术介绍
偏振膜被广泛地用于液晶板等中。以往，在偏振膜的加工工序中，进行的是只对包含偏振膜的层压物中的偏振膜进行切割的偏振膜的半切割，或偏振膜的端部切割等。偏振膜的切割是用刀具来切割，但难以因被切割物而产生薄膜屑等的异物。因这种异物混入偏振膜中而使成品率降低。另外，近年来利用激光来进行切割。在用激光进行切割时，与用刀具的切割相比较，难以因被切割物而产生薄膜屑等的异物。借此能抑制成品率的下降。因此，这种切割方法是有用的，并被开发出各种各样的方法(例如专利文献1、2)。专利文献1:日本国公开专利公报“特开2008-302376号公报(2008年12月18日公开)，，专利文献2:日本国公开专利公报“特开2009-22978号公报(2009年2月5日公开)，，然而，采用上述以往的利用激光的偏振膜切割方法的话，具有在切割相对地移动的偏振膜之时产生不良情况这样的问题。即，在用激光的低输出功率侧时，存在的问题是，由于激光的输出功率不稳定，故不能进行合适的切割。以下具体说明之。在切割被传送来的偏振膜时，切割基本上是在以一定速度传送偏振膜的同时进行的。为使生产效率提高，所述一定速度例如是50m/s左右的高速度。因而，从提高成品率的观点来看，即使是在一定速度的前后中的加速时或减速时，也可以进行偏振膜的切割。在偏振膜的传送速度大的一定速度的阶段中，被照射激光的部分的每单位时间的能量减少。因而有必要增加切割所必要的激光的输出功率。另一方面，在偏振膜的传送速度小的阶段中，被照射激光的部分的每单位时间的能量增加。结果，有可能由于过剩的热量作用在偏振膜的切割面上而引起品质的劣化。因此，有必要抑制激光的输出功率。在为抑制激光的输出功率而用激光的低输出功率侧时，存在激光的振荡会变得不稳定的问题。因此，调整后的输出功率可能在产生摆动，并不能照射足以切割偏振膜的能量，并且，即使在传送速度小的阶段中，也要求以稳定的输出而不带来切割面品质劣化地切割偏振膜的激光切割装置。在专利文献2中，与这样的问题相关联地揭示了使被加工物与激光之间的相对移动速度加大，并使激光的照射次数减少的激光加工方法。根据该技术，能避免因激光振荡器的不稳定输出引起的激光的功率增大导致蚀刻深度变得过深的问题。然而，该技术中存在的问题是，有必要使被加工物与激光之间的相对移动速度加大，难以适用于相对速度小的情况中。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述以往的问题而作，其目的在于提供激光光束的输出功率不会不稳定的、且不招致偏振膜的切割面的品质劣化的激光切割装置。本专利技术的激光切割装置为解决上述课题，是将对偏振膜照射激光并进行切割的激光切割装置，其特征在于，包括:振荡激光的激光振荡器；将激光振荡器振荡的激光向偏振膜反射的反射镜；及配置于偏振膜与反射镜之间的、对所述激光聚光的聚光透镜，在所述反射镜与聚光透镜之间，设有透射和反射所述激光的分光器。本专利技术的激光切割装置中，由分光器将激光分岔为透射光与反射光，并用透射光切割偏振膜。因此无论激光振荡器的输出功率多么大，也能使照射到偏振膜的激光的能量减少。其结果，即使是在激光切割装置与偏振膜之间的相对速度小时，也能以高输出功率使用激光振荡器。也就是说，能获得用激光振荡器的高输出功率侧时的优点即输出功率的稳定性。另一方面，由于由分光器减少照射到偏振膜的能量，故能抑制用激光振荡器的高输出功率侧时的问题即切割面品质的劣化。专利技术的效果如上所述，本专利技术的激光切割装置包括:振荡激光的激光振荡器；将由激光振荡器振荡的激光向偏振膜反射的反射镜；及配置于偏振膜与反射镜之间，并对所述激光聚光的聚光透镜，在上述反射镜与聚光透镜之间，设有透射和反射上述激光的分光器。因此，即使在激光切割装置与偏振膜之间的相对速度小时，也能以高输出功率使用激光振荡器。也就是说，能获得用激光振荡器的高输出功率侧时的优点即输出功率的稳定性。另一方面，由于用分光器减低照射至偏振膜的能量，故收到能抑制用激光振荡器的高输出功率侧时的问题即切割面品质的劣化的效果。附图说明图1是示出本专利技术的激光切割装置的截面图。图2是不出传送偏振膜时的时间t与输出功率w之间的关系的曲线图。图3是示出本专利技术的切条机的截面图。图4是示出用本专利技术的切条机切割偏振膜的过程的俯视图。 图5是示出用实施例1与比较例I切割的偏振膜的侧视图。具体实施例方式根据图1 图4说明本专利技术的一实施形态如下。[切割装置]图1是示出本专利技术的激光切割装置的截面图。激光切割装置10包括:激光振荡器1、光束扩展器2、反射镜3、分光器4及聚光透镜5。激光振荡器I是振荡激光的构件，不作特别的限定。例如，可用CO2激光器(二氧化碳激光器)、UV激光器、半导体激光器、YAG激光器、EXIMA激光器等。尤其是高输出功率且对偏振膜的切割适合的CO2激光器较为理想。激光振荡器I的输出功率低时，激光的输出功率容易变得不稳定。因此，输出功率是高的为好。另一方面，当输出功率过高时，由于过剩的热膨胀等会在偏振膜的切割面产生品质的劣化。激光振荡器I的具体输出功率，优选为根据偏振膜6的厚度、偏振膜6的传送速度及由后述的分光器4的透射激光与反射激光的比率作适当调整。从这些观点来看，激光振荡器I的输出功率是30W以上、400W以下为好。另外，在激光振荡器I的输出功率低时，输出功率便不稳定，具体地说，当不满30W时，就处于变为不稳定的倾向中。照射的激光的频率，宜根据激光振荡器I的输出功率、偏振膜6的厚度及偏振膜的传送速度等作适当变更，但一般可取5kHz以上，IOOkHz以下。作为较好的形态，激光切割装置10包括光束扩展器2。光束扩展器2是将激光扩宽成平行光束的构件，只要使用公知的光束扩展器就可。利用光束扩展器2能将激光LI的直径扩展为例如2倍 10倍左右，形成激光2。在将激光L6向偏振膜6照射之时，通过扩大激光的直径，容易对准激光L6的焦点。反射镜3是将激光振荡器I振荡的激光向偏振膜6反射的构件。激光切割装置10中，具有一个反射镜3，但只要能将激光L2作成激光L3向偏振膜6反射就行，具有多个也没关系。用图2说明一般的激光切割装置中的激光振荡器的输出功率。图2是示出传送偏振膜时的时间t与激光振荡器的输出功率w之间的关系的曲线图。在传送偏振膜的同时进行切割的情况下，首先，使偏振膜加速(加速区域)，其后，为适宜于切割的一定速度(等速区域)，使偏振膜减速(减速区域)，偏振膜的切割结束。在加速区域和减速区域中因偏振膜的速度小，如果是相同的照射条件，则对偏振膜的每单位时间的能量增加。从而，有必要降低激光振荡器的输出功率。因此，在加速区域和减速区域的一部分中，激光振荡器的输出功率低，且激光振荡器的输出变得不稳定(不稳定区域)。结果，在加速区域和减速区域中，由于激光振荡器的输出是不稳定的，故可能产生未切断的情况。有上述那样的限制，采用一般的激光切割装置的话，不能在加速区域和减速区域中提高激光振荡器的输出功率。另一方面，本专利技术的激光切割装置10中，在反射镜3与聚光透镜5之间有分光器4。分光器4是透射和反射上述激光L3的构件，可使用公知的分光器。由分光器4将激光L3分岔为作为透射光的激光L4和作为反射光的激光L5。分光器4的透射激光与反射激光的比率，没有特别本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.10.06 JP 2010-2267781.一种激光切割装置，是对偏振膜照射激光并进行切割的激光切割装置，其特征在于，包括:振荡激光的激光振荡器；将由激光振荡器振荡的激光反射向偏振膜的反射镜；及配置于偏振膜与反射镜之间的、对所述激光进行聚光的聚光透镜，在所述反射镜与聚光透镜之间，设有透射和反射所述激光的分光器。2.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：植田幸治，岸崎和范，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：
国别省市：