【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉热场系统
，尤其是指一种用于单晶炉的隔热内衬。
技术介绍
单晶炉热场系统是直拉硅单晶生长设备的核心，热场的优劣对单晶硅的质量有很大的影响，合适的热场参够生长出高质量的单晶，不好的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶，有的热场虽然能够生长单晶，但质量较差，有位错和其它结构缺陷，因此，找到好的热场条件，配置最佳的热场系统，是非常重要的直拉单晶工艺技术。目前国内的单晶炉热场所用保温材料基本上都是采用石墨桶和石墨化高纯软炭毡的组合体。目前国内已有部分厂家开始对固化炭毡进行研发，但尚无一家生产出优质优价的产品。从国际上看，目前只有日本、德国、美国等少数发达国家的数家企业能够生产质量较好的固化炭毡，但其均采用“气象沉积法”，采用该方法技术复杂，加工周期长，成本高等缺点，其产品售价高。我国目前所能生产的聚丙烯腈基炭纤维毡体厚度只能达到12_，使用大于该厚度的保温材料，则需依靠炭材料的粘接技术方能实现。而且聚丙烯腈基炭纤维材料本身的抗老化功能不强，性能丢失较快。也有一些企业能生产定型炭纤维保温体工件，但是生产的工件尺寸质量不稳定，加工精度不高，外观粗糙。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于单晶炉的造价低、成型容易、工期短、强度高的隔热内衬。为实现上述目的，本技术所提供的技术方案为:一种用于单晶炉的隔热内衬，它包括有由柔性石墨卷曲成型的基材，基材的卷曲接触面之间涂覆有粘接剂和填充有耐高温材料构成的粘结层。 所述的粘结层由粘接剂和耐高温材料混合后再复合在基材的卷曲接触面上。本技术采用“热涂层法”技术进行生产，选用高性能粘接剂...
【技术保护点】
一种用于单晶炉的隔热内衬，其特征在于：它包括有由柔性石墨卷曲成型的基材（1），基材（1）的卷曲接触面之间涂覆有粘接剂和填充有耐高温材料构成的粘结层（2）?。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的隔热内衬，其特征在于:它包括有由柔性石墨卷曲成型的基材(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵祥志，沈镭，赵叔阳，赵峰，杜新民，高广颖，李崇新，
申请(专利权)人：益阳祥瑞科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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