【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体器件的检查装置，其特征在于，具有：表面电极用探针以及背面电极用探针、和能够相对于所述表面电极用探针以及背面电极用探针相对移动的吸盘台，在所述吸盘台的上表面，对成为检查对象的晶片进行保持的晶片保持部、和包含与被保持在所述晶片保持部上的最大的晶片相同形状且相同大小的区域的导电性的探针接触区域以相互的区域不重叠的形态相邻地配置，所述晶片保持部中的与晶片背面接触的接触部为导电性的，所述探针接触区域与所述晶片保持部中的所述接触部电导通，所述表面电极用探针和所述背面电极用探针在水平方向上相互隔着距离地配置，以使得在使所述吸盘台移动且所述表面电极用探针在检查对象晶片内相对地移动时，所述背面电极用探针在所述探针接触区域内相对地移动。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田胜男，增田光，根井秀树，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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