偏振态层析显微成像装置及方法制造方法及图纸

技术编号:8764133 阅读:198 留言:0更新日期:2013-06-07 18:17
本发明专利技术公开了一种偏振态层析显微成像装置及方法,该装置包括:激光器、偏振发生器、半反半透镜、显微物镜、第一分束器、第二分束器、第三分束器、四分之一波片、第一斯托克斯系统、第二斯托克斯系统、第三斯托克斯系统、第四斯托克斯系统、数据采集模块、计算机、驱动模块以及用于安装被测样品的X-Y扫描平台。本发明专利技术可获得被测样品的全方位的偏振信息,可对物体不同层面的偏振态进行检测和显微成像,可获得物体内部不同层面的应力大小和方向、物质的结构、分子排列取向、折射率、内部应力分布、表面电导率分布和表面粗糙度等信息,更为真实、准确地反映被测样品的信息,可广泛应用于偏振态测量领域中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
振态层析显微成像装置,其特征在于,包括:激光器(1)、偏振发生器(2)、半反半透镜(3)、显微物镜(4)、第一分束器(7)、第二分束器(8)、第三分束器(18)、四分之一波片(9)、第一斯托克斯系统(100)、第二斯托克斯系统(200)、第三斯托克斯系统(300)、第四斯托克斯系统(400)、数据采集模块(27)、计算机(28)、驱动模块(29)以及用于安装被测样品(5)的X?Y扫描平台(6);所述激光器(1)发出的激光经偏振发生器(2)后得到偏振激光并入射到半反半透镜(3),从半反半透镜(3)反射的偏振激光通过显微物镜(4)聚焦到被测样品(5)上并发生反射,从被测样品(5)反射的偏振激光依次通过显微物镜(4)及半反半透镜(3)入射到第一分束器(7)上,并分成光强相等的第一光束(Ⅰ)及第二光束(Ⅱ),所述第一光束(Ⅰ)入射到第二分束器(8)并分成光强相等的第三光束(Ⅲ)及第四光束(Ⅳ),所述第二光束(Ⅱ)入射到第三分束器(18)并分成光强相等的第五光束(Ⅴ)及第六光束(Ⅵ);所述第三光束(Ⅲ)通过四分之一波片(9)入射到第一斯托克斯系统(100),所述第四光束(Ⅳ)入射到第二斯托克斯系统(200),所述第五光束(Ⅴ)入射到第三斯托克斯系统(300),所述第六光束(Ⅵ)入射到第四斯托克斯系统(400),所述第一斯托克斯系统(100)、第二斯托克斯系统(200)、第三斯托克斯系统(300)及第四斯托克斯系统(400)均与数据采集模块(27)连接,所述数据采集模块(27)与计算机(28)连接,所述计算机(28)通过驱动模块(29)与X?Y扫描平台(6)连接。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:唐珮珺唐志列
申请(专利权)人:华南师范大学
类型:发明
国别省市:

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