光纤谐振子真空传感器制造技术

本发明专利技术是一种光纤本征谐振子传感器，直接在光纤端面上加工微悬梁谐振子，属于光纤传感器技术领域，特征为：本发明专利技术包括激光光源、探测器、光纤定向耦合器、匹配液和传感探头。本发明专利技术实现了光纤本征结构一体化，全光测量，单一光源同时实现谐振子的激励和谐振信号的检出以及在线分布式多点监测。本发明专利技术在光纤端面和微梁构成法布里-珀罗光学谐振腔，该F-P腔的反射光信号被谐振腔调制，然后沿光纤光路返回，再由光纤耦合器输出端的光电探测器PD进行接受。本发明专利技术同时考虑到微悬梁的品质因数，来实现对狭小空间的真空度的测量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光纤谐振子真空传感器，包括：激光光源、探测器、光纤定向耦合器、匹配液和传感探头。激光光源与光纤定向耦合器一侧的一个光纤端口光连接，探测器与光纤定向耦合器一侧的另一个光纤端口光连接，光纤定向耦合器另一侧的一个光纤端口与微梁谐振子光连接，光纤定向耦合器另一侧的另一个端口通过光纤浸入匹配液。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘月明，夏忠诚，吴刚，高晓良，
申请(专利权)人：中国计量学院，
类型：发明
国别省市：