【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自动调节电容式MEMS陀螺仪的检测端谐振频率的电路，所述电容式MEMS陀螺仪包括中心质量块、驱动端和检测端，驱动端包括驱动端电极，检测端包括检测端电极，其特征在于，所述检测端电极具有一输入端，该输入端用于输入一偏置电压(Vi)，以在所述中心质量块与该检测端电极之间形成电容，其中，所述电路根据所述驱动端输出电压信号与检测端输出电压信号的相位差别来调节该偏置电压(Vi)，从而调节所述检测端的谐振频率。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：韩国威，司朝伟，钟卫威，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。