一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法制造方法及图纸

技术编号:8763828 阅读:171 留言:0更新日期:2013-06-07 17:57
本发明专利技术提出了一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置,包括光源与聚光镜光轴同轴,聚光镜放置在光源的传播方向,分划板放在光源的像平面处,分光镜放置在分划板之后,光源提供的参考光经分光镜反射后向右传播至转折镜,物镜放置在转折镜之后,物镜和参考光的光轴同轴,参考光入射到被测反射镜后经反射先后经物镜、转折镜、分光镜后向左传播至电耦合器;一维旋转基座承载面形支撑调整机构,被测反射镜位于面形支撑调整机构上,面形支撑调整机构对被测反射镜进行局部调整,用以实现对被测反射镜在水平面内的平移和绕竖直轴的一维旋转,进而实现对被测反射镜的整个面形的扫描测量。本发明专利技术还提出一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置,其特征在于所述自准直检测装置包括:光源、聚光镜、分划板、分光镜、转折镜、物镜、面形支撑调整机构、一维旋转基座、电耦合器件,光源与聚光镜光轴同轴,聚光镜放置在光源的传播方向,分划板放在光源的像平面处,分光镜放置在分划板之后,光源提供的参考光经分光镜反射后向右传播至转折镜,物镜放置在转折镜之后,物镜和参考光的光轴同轴,参考光入射到被测反射镜后经反射先后经物镜、转折镜、分光镜后向左传播至电耦合器;一维旋转基座承载面形支撑调整机构,被测反射镜位于面形支撑调整机构上,面形支撑调整机构对被测反射镜进行局部调整,用以实现对被测反射镜在水平面内的平移和绕竖直轴的一维旋转,进而实现对被测反射镜的整个面形的扫描测量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:曹雷陈洪斌邱琪任戈亓波陈兴龙温正明
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
类型:发明
国别省市:

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