【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置,其特征在于所述自准直检测装置包括:光源、聚光镜、分划板、分光镜、转折镜、物镜、面形支撑调整机构、一维旋转基座、电耦合器件,光源与聚光镜光轴同轴,聚光镜放置在光源的传播方向,分划板放在光源的像平面处,分光镜放置在分划板之后,光源提供的参考光经分光镜反射后向右传播至转折镜,物镜放置在转折镜之后,物镜和参考光的光轴同轴,参考光入射到被测反射镜后经反射先后经物镜、转折镜、分光镜后向左传播至电耦合器;一维旋转基座承载面形支撑调整机构,被测反射镜位于面形支撑调整机构上,面形支撑调整机构对被测反射镜进行局部调整,用以实现对被测反射镜在水平面内的平移和绕竖直轴的一维旋转,进而实现对被测反射镜的整个面形的扫描测量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:曹雷,陈洪斌,邱琪,任戈,亓波,陈兴龙,温正明,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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