用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物制造技术

技术编号:8761570 阅读:153 留言:0更新日期:2013-06-06 23:12
本发明专利技术公开一种用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5-30wt%、溶剂60-85wt%,其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。本发明专利技术涂层组合物可减少气态碳硅化合物对多晶硅锭的碳污染,同时也在坩埚开裂漏锅时,保护石墨器材免受硅液的损毁。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5?30wt%溶剂??60?85wt%其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄春来薛抗美游达
申请(专利权)人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:

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