三氯氢硅全热耦合集成多效精馏生产装置及生产方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及三氯氢硅全热耦合集成多效精馏生产装置以及工艺方法。通常为了得到高纯度的三氯氢硅，需要经过多塔的分离，耗费大量的能量。而采用全热耦合集成多效精馏生产装置，在操作压力不同的全热耦合精馏塔之间设置冷凝再沸器，不但可以实现轻重杂质的完全脱除，得到超纯的三氯氢硅，并且通过塔内的热耦合以及各个塔之间的热耦合达到降低能耗的目标。本发明专利技术的优点在于集合了压差能量耦合技术以及全热耦合精馏塔的优点，在一个系统中合理安排全热耦合精馏塔的个数以及相关的操作参数，在得到高纯度三氯氢硅产品的同时大幅度降低能耗。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
三氯氢硅全热耦合集成多效精馏生产装置，包括多座全热耦合精馏塔，其特征是，在两座全热耦合精馏塔之间设置冷凝再沸器和辅助再沸器，第一个塔塔釜设置塔釜再沸器，最后一个塔塔顶设置冷凝器；每一座全热耦合塔由预分离塔和主塔组成，预分离塔的理论板数在50~80块，进料位置在预分离塔的第20~45块理论板，一级塔的操作压力不高于450kpa，最后一级塔的操作压力不低于200kpa。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘春江，郭凯，袁希钢，丁晖殿，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：