一种止推轴承及电主轴制造技术

技术编号:8758406 阅读:196 留言:0更新日期:2013-06-06 17:47
本发明专利技术提供一种止推轴承及电主轴,其中,止推轴承包括:前止推轴承和后止推轴承,分别设置于电主轴的转轴的法兰两侧,用于对所述转轴提供轴向气膜支撑。在划片机切割晶圆时,本发明专利技术公开的止推轴承提供的高稳定性气膜支撑能够抑制转轴的轴向窜动。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种止推轴承,其特征在于,包括:前止推轴承和后止推轴承,分别设置于电主轴的转轴的法兰两侧,用于对所述转轴提供轴向气膜支撑。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:贾月明王明权李战伟岳芸
申请(专利权)人:北京中电科电子装备有限公司
类型:发明
国别省市:

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