一种超精密加工用工件轴数控运动平台装置制造方法及图纸

一种超精密加工用工件轴数控运动平台装置，属于研抛加工技术领域。为了解决利用现有的工件主轴系统存在结构复杂、体积庞大，并且对于高精度直线电机不能充分满足防尘、隔磁、防切削液要求，不适于在小口径非球曲面加工机床上应用的问题。XY精密移动平台置于机床底座的容腔内，工作台安装在XY精密移动平台的X轴直线单元上，容腔的四周设有盖板，工作台的边缘与盖板之间设有风琴防护罩，工件主轴通过工件主轴支架安装在工作台上，且工件主轴的轴线与X轴直线单元的运动轴线平行，回液槽设置在工作台上用于回收加工液；CCD对刀装置安装在盖板上。充分考虑了运动部件的安全防护，设置有防切屑、防尘和切削液防护装置，确保了直线运动单元的安全运行。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超精密加工用工件轴数控运动平台装置，其特征在于：所述超精密加工用工件轴数控运动平台装置包括XY精密移动平台、机床底座(1)、盖板(2)、风琴防护罩(3)、工作台(4)、工件主轴支架(7)、工件主轴(8)、CCD对刀装置(17)和回液槽(18)；XY精密移动平台含有X轴直线单元(6)和Y轴直线单元(5)，X轴直线单元(6)置于Y轴直线单元(5)上；机床底座(1)上设有用于容纳XY精密移动平台的容腔(1?1)，XY精密移动平台置于机床底座(1)的容腔(1?1)内，工作台(4)安装在XY精密移动平台的X轴直线单元(6)的上端面上，容腔(1?1)的四周设有盖板(2)，工作台(4)的边缘与盖板(2)之间设有风琴防护罩(3)，容腔(1?1)的上部敞口通过工作台(4)、工作台(4)四周的盖板(2)以及工作台(4)与盖板(2)之间的风琴防护罩(3)盖住，将所述XY精密移动平台封装在容腔(1?1)内；工件主轴(8)通过工件主轴支架(7)安装在工作台(4)上，且工件主轴(8)的轴线与X轴直线单元(6)的运动轴线平行，回液槽(18)设置在工作台(4)上用于回收加工液；CCD对刀装置(17)安装在盖板(2)上。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明君，刘赫男，于霖，郭占玥，余波，彭慧，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：