本实用新型专利技术提供一种水位控制装置，包括一设有进液口和出液口的第一收容腔体以及装设于该第一收容腔体内的水位控制件；所述水位控制件包括固定于所述第一收容腔体底部的第二收容腔体、位于所述第二收容腔体内的活塞、一端固定在活塞上、另一端穿通所述第二收容腔体顶部与一浮标连接的连接杆以及贯通所述浮标并固定于所述第一收容腔体底部的至少一根固定导杆；所述进液口与所述第二收容腔体连通。本实用新型专利技术的水位控制装置能根据浮标固定在连接杆上的位置预先设定水位，并自动注入液体，液体被消耗时能够自动补给并保持在预设水位，保证连续供应，避免生产线上出现液体断供导致工艺失败的问题，减少不必要的浪费，提高生产效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体制造领域，涉及ー种水位控制装置。
技术介绍
在半导体集成电路的各个制造エ艺中，常需要用到各种液体。通常使用超纯水来清洗晶片及エ件；对于多种有机杂质或无机杂质还需要进行化学清洗，如对于硅片表面污染，需要用有机溶剂、碱液、合成洗涤剂等清洗有机杂质，用盐酸、硫酸、硝酸等无机酸清洗无机杂质；在抛光エ艺中需用到铬离子抛光液、铜离子抛光液等进行化学机械抛光；在扩散エ艺中还常用到液态掺杂源，如硼酸三甲酷，三氯氧磷，三氯化磷等；在光刻エ艺中使用显影液；在化学腐蚀エ艺中要用到腐蚀液等。在生产过程中，这些液体通过液体供应箱和输送管路输送至各个生产设备以供使用。实际使用过程中，为了保证生产正常，稳定、充足的液体供应非常重要，因此实际使用过程中，需要对液体供应箱里的液体进行实时监测并使液体的水位維持在在一个恒定水平。现有技术中，液体供应箱的水位控制系统通常采用传感器，其利用传感器的探针及电极对水的感应并相应对管道控制阀门或水泵进行控制达到对液体供应箱内液体水位的控制。然而，实际使用时，影响液体供给的因素非常多，其中还包括多种不能由人为进行控制的不确定因素，当传感器控制系统失灵时，会出现液体供应箱内液体流干而没有补给的情况，使生产线上出现液体断供，导致エ艺的失败，对生产造成很大影响并带来经济损失。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供ー种水位控制装置，用于解决现有技术中液体供应箱内液体流干使生产线上液体出现断供导致エ艺失败的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供ー种水位控制装置，该水位控制装置包括一设有进液口和出液ロ的第一收容腔体以及装设于该第一收容腔体内的水位控制件；所述水位控制件包括固定于所述第一收容腔体底部的第二收容腔体、位于所述第ニ收容腔体内的活塞、一端固定在活塞上、另一端穿通所述第二收容腔体顶部与一浮标连接的连接杆以及贯通所述浮标并固定于所述第一收容腔体底部的至少ー根固定导杆；所述进液ロ与所述第二收容腔体连通。可选地，所述连接杆通过设于所述第二收容腔体顶部的ー开ロ穿通所述第二收容腔体。可选地，所述开ロ的面积大于所述连接杆的横截面积。可选地，所述连接杆上设有螺纹并通过与所述螺纹相配合的至少ー个螺母固定于所述浮标上。可选地，所述活塞与所述浮标相対的一面上设有ー密封圏。可选地，所述进液ロ与所述第二收容腔体的底部或侧壁连通。 可选地，所述第二收容腔体为圆柱体或方形柱体。可选地，所述浮标在水平面上的投影为圆形、椭圆形、三角形、多边形或不规则图形。可选地，所述第二收容腔体通过焊接的方式或紧固件固定于所述第一收容腔体底部。可选地，所述固定导杆通过焊接、卡固的方式或紧固件固定于所述第一收容腔体底部。如上所述，本技术的水位控制装置，具有以下有益效果:能自动往液体供应箱内注入液体达到预设水位，并在液体使用过程中能自动补给使液体保持在预设水位，避免液体供应箱内液体流干而没有补给使生产线上出现液体断供导致エ艺失败的问题，減少不必要的浪费，提高生产效率。附图说明图1显示为本技术的水位控制装置中的水位控制件在开ロ打开时的示意图。图2显示为本技术的水位控制装置在自动注入液体时的剖面示意图。图3显示为本技术的水位控制装置中的水位控制件在开ロ关闭时的示意图。图4显示为本技术的水位控制装置在保持水位时的剖面示意图。元件标号说明110第一收容腔体111进液ロ112出液 ロ120水位控制件121第二收容腔体122活塞123浮标124连接杆125固定导杆126开ロ127螺母128密封圈具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请參阅图1至图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所掲示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所掲示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。本技术的水位控制装置包括第一收容腔体和装设于该第一收容腔体内的水位控制件。所述第一收容腔体用于储存和供应相应生产线上所需液体，所述水位控制件用于控制所述第一收容腔体内的液体的水位。首先，请參阅图1，显示为本技术的水位控制装置中的水位控制件在开ロ打开时的示意图。如图所示，所述水位控制件120包括第二收容腔体121、位于所述第二收容腔体121内的活塞122、一端固定在活塞122上、另一端穿通所述第二收容腔体121顶部与一浮标123连接的连接杆124以及贯通所述浮标123的至少ー根固定导杆125。具体的，所述连接杆124通过设于所述第二收容腔体121顶部的ー开ロ 126穿通所述第二收容腔体121。所述开ロ 126的面积大于所述连接杆124的横截面积，即所述开ロ126与所述连接杆124之间有一空间，以利于液体从此空间注入所述第一收容腔体。具体的，所述浮标123可固定于所述连接杆124的不同位置，其中不同位置对应不同的预设水位。所述浮标123与连接杆124的固定方式可为螺纹与螺母相配合，本实施例中，所述连接杆124上设有螺纹，所述连接杆124通过该螺纹及与该螺纹相配合的两个螺母127固定于所述浮标123上，两个螺母127分别位于所述浮标123的上方和下方，避免浮标沿着连接杆124上下移动。需要指出的是，所述浮标123与连接杆124的固定方式并不限于螺纹与螺母相配合，在其它实施例中，也可以为其它固定方式，如所述连接杆124上设有至少ー个锯齿，所述浮标123的材料具有弾性，可通过所述锯齿卡固于连接杆124的不同位置。具体的，所述浮标123可沿着贯通其的至少ー根固定导杆125随水位的变化上下自由移动，本实施例中，固定导杆125的数量为2根。所述浮标123随液体水位上下移动时，可通过固定于其上的连接杆124带动所述活塞122上下移动。所述活塞122与所述浮标123相対的一面上还设有一密封圈，当所述活塞122上升到与所述浮标123接触时，所述密封圈可防止液体继续从所述开ロ 126流出。具体的，所述第二收容腔体121的形状没有限制，优选为圆柱体或方形柱体，本实施例中为圆柱体。所述浮标在水平面上的投影的的形状也没有限制，可为圆形、椭圆形、三角形、多边形或不规则图形等，本实施例中优选为圆形。所述浮标采用低密度的材料制成，使其始終能够浮于液面上方。再请參阅图2，显示为本技术的水位控制装置在自动注入液体时的剖面示意图。如图所示，所述水位控制件120的第二收容腔体121固定在所述第一收容腔体110的底部，其固定方式可为焊接的方式，也可以为通过紧固件如螺丝和螺母的配合而固定。本实施例中优选为焊接的方式，使所述第一收容腔体110与所述第二收容腔体121的底部之间紧密接触，达到较好的密封效果，避免液体通过所述第二收本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种水位控制装置，其特征在于：该水位控制装置包括一设有进液口和出液口的第一收容腔体以及装设于该第一收容腔体内的水位控制件；所述水位控制件包括固定于所述第一收容腔体底部的第二收容腔体、位于所述第二收容腔体内的活塞、一端固定在活塞上、另一端穿通所述第二收容腔体顶部与一浮标连接的连接杆以及贯通所述浮标并固定于所述第一收容腔体底部的至少一根固定导杆；所述进液口与所述第二收容腔体连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：许亮，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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