一种垂直工件电化学沉积设备制造技术

技术编号:8750479 阅读:179 留言:0更新日期:2013-05-30 06:10
本实用新型专利技术公开了一种垂直工件电化学沉积设备,涉及电化学沉积技术领域。本实用新型专利技术垂直工件电化学沉积设备包括电化学沉积槽以及设置于沉积槽内用于药液流动的至少一组管道,所述每组管道包括中心线相互平行的吸管和喷管,所述吸管和喷管上开有孔洞,所述吸管与喷管垂直于水平面。本实用新型专利技术垂直工件电化学沉积设备中使用吸管吸取电化学沉积槽内的药液,配合喷管喷出补进电化学沉积槽内的药液来带动药液在工件表面的流动,使电化学沉积槽内的药液在工件表面具有均匀的药液流动速度,从而增加电化学沉积镀层的均匀性;并且垂直于水平面的吸管与喷管更利于竖直工件的电化学沉积。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种垂直工件电化学沉积设备,包括电化学沉积槽以及设置于沉积槽内用于药液流动的至少一组管道,其特征在于,所述每组管道包括中心线相互平行的吸管和喷管,所述吸管和喷管上开有孔洞。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭伟民黄迎春廖成李颖鑫郑兴平李世楚梅军刘焕明
申请(专利权)人:中物院成都科学技术发展中心
类型:实用新型
国别省市:

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