垂直式热处理炉结构制造技术

技术编号:8743373 阅读:199 留言:0更新日期:2013-05-29 20:42
一种垂直式热处理炉结构,包括:一外炉体、一内炉体、一加热机构、一供气机构,及一控制机构,通过控制机构控制进气量可有效使得,内炉体外侧流动空间中第一压力(P1),始终大于内炉体内侧反应空间中第二压力(P2)。通过此设计可使得反应气体流速可加快,增快薄膜反应速率,且提升膜质均匀度,同时也可提升降温速率,增加操作安全性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种垂直式热处理炉结构,包括:一外炉体,具有一外壁及一内壁所形成的第一容置空间,并具有一第一侧边及相对该第一侧边的一第二侧边,且于该第一侧边形成该第一容置空间的开口,而该第二侧边为一个封闭面;一个内炉体,是间隔地固设于该外炉体的第一容置空间中,该内炉体有一外侧壁及一内侧壁所形成的第二容置空间,并具有一第三侧边及相对该第三侧边的一第四侧边,部分该第三侧边由一个下封闭面与该第一侧边连接,使得第三侧边形成一个第二容置空间的开口,而该第四侧边为一个封闭面,其中,该内炉体的外侧壁与该外炉体的内壁间形成一个气体流动空间,且于该内炉体的内侧壁中形成一个反应空间;一闸门,具有外表面及内表面,通过该内表面与该第三侧边的该第二容置空间的开口接触后,使得该气体流动空间与该反应空间各自形成独立的空间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:萧盈诗吉村俊秋
申请(专利权)人:核心能源实业有限公司吉村俊秋
类型:发明
国别省市:

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